Устройство для микроанализа образца

Устройство для микроанализа образца

Реферат

Изобретение относится к устройствам для микроанализа образца, Целью изобретения является расширение диапазона изменении и точности микроанализа образца зи счет изменения в ходе эксперимента выхода вторичного излучения в двух или более противоположно-симметричных направлениях относительно точки возбуждения. Устройство содержит источник 1 излучения , камеру 2 объектов, состоящую из нитней часли 3 со столом 4 объектов и верхней части 5. В верхней час- I и 5 камеры 2 размещены детекторы 6, внутри камеры 1 размещены диа- 7 : . глоин-цг апспгурамн 8, гапгэв.тчч Г - 5 13, перьатель 10, r.Mt 11 и 5 у шов, силь- ci 01- 12, приводы 1 . О, патруоок J г I ил. О е