Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Реферат

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, преимущественно диэлектрических материалов, содержащее катодный узел с магнитной системой и мишенью для распыления, анод с выступами и углублениями, увеличивающими площадь анода не менее чем в два раза, и подложкодержатель, установленный напротив мишени, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий и производительности, в выступах и углублениях выполнены сквозные отверстия, заполненные легкоплавким проводящим материалом, температура плавления которого ниже температуры нагрева анода, при этом суммарная площадь отверстий в поперечном сечении больше распыляемой площади поверхности мишени, а диаметр и глубина каждого отверстия выбраны такими, чтобы вес расплавленного легкоплавкого материала в отверстии не превышал сил внутреннего натяжения и сил сцепления этого материала с поверхностью отверстия.