Устройство для выращивания кристаллов из расплава

Устройство для выращивания кристаллов из расплава

Реферат

 

Изобретение относится к технике получения искусственных кристаллов и обеспечивает сокращение времени ремонтных работ. Устройство содержит охлаждаемую камеру с тиглем и нагревателем. В нижней части камеры размещен сливной патрубок, соединенный с емкостью для сбора пролитого расплава, установленной вне камеры. Емкость имеет предохранительную мембрану. 1 ил.

Изобретение относится к оборудованию для получения полупроводниковых материалов и может быть использовано в установках для выращивания монокристаллов на затравку, например, кремния методом Чохральского. Известно устройство для выращивания кристаллов из расплава на затравку, содержащее охлаждаемую камеру с тиглем, нагревателем тигля и емкость для сбора пролитого расплава, расположенную под тиглем. Недостатком известного решения является то, что в большегрузных устройствах большое количество пролитого расплава остается в емкости внутри камеры, что вызывает увеличение камеры, кроме того, требуется значительное время на остывание пролитого расплава, что увеличивает время ремонтных работ. Целью изобретения является сокращение времени ремонтных работ. На чертеже изображено устройство для выращивания, разрез в зоне сливного патрубка и дополнительной емкости. Устройство для выращивания монокристаллов содержит плавильную камеру 1, камеру 2 для выращивания монокристалла, тигель 3 с расплавом 4, шток 5 вращения тигля, привод 6 вращения и перемещения тигля, нагреватель 7, поддон 8 плавильной камеры, теплозащиту 9, герметичную емкость 10, теплозащиту 11 емкости, мембрану 12, дренажную систему 13. Внутренняя полость плавильной камеры 1 сообщается с внутренней полостью герметичной емкости 10 через патрубок 14. При возникновении аварийной ситуации, вызванной проливом расплава при разрушении тигля или в другом случае, расплав, стекая по наклонной поверхности теплозащиты 9 поддона 8 и не задерживаясь на нем, попадает через сливной патрубок 14 в емкость 10. Поскольку емкость 10 отвакуумирована и заполнена инертным газом одновременно с плавильной камерой 1 и имеет теплозащиту 11, то попадание расплава внутрь этой емкости не вызывает нежелательных последствий, выделившийся газ прорывает предохранительную мембрану 12 и стравливается в дренажную систему 13. Расплав и емкости 10 затвердевает, емкость демонтируется и заменяется новой, и установка вновь готова к работе. Положительный эффект состоит в сокращении времени ремонтно-восстановительных работ за счет быстрого удаления расплава из объема плавильной камеры и остывания его вне камеры.

Формула изобретения

Устройство для выращивания кристаллов из расплава на затравку, содержащее охлаждаемую камеру с тиглем, нагревателем тигля и емкость для сбора пролитого расплава, отличающееся тем, что, с целью сокращения времени ремонтных работ, нижняя часть камеры снабжена сливным патрубком, соединенным с емкостью, установленной вне камеры и имеющей предохранительную мембрану.

РИСУНКИ

Рисунок 1