Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия
Патент 1715136
Авторы
Классы МПК
Способ для лазерно-стимулированного травления фосфида индия
Реферат
Состав для лазерно-стимулированного травления фосфида индия, содержащий водный раствор плавиковой кислоты, отличающийся тем, что, с целью снижения мощности стимулирующего излучения при одновременном повышении скорости травления, состав дополнительно содержит бромат калия при следующем количественном содержании компонентов, моль/л: Плавиковая кислота - 0,045 - 18 Бромат калия - 0,0008 - 0,32