Способ локального полирующего растворения кремниевых структур n+-n- или p-n-типа

Способ локального полирующего растворения кремниевых структур n+-n- или p-n-типа

Реферат

Способ локального полирующего растворения кремниевых структур n⁺-n- или p-n-типа, включающий помещение образца, используемого в качестве анода, и катода в электролит - водный раствор плавиковой кислоты - и последовательное электролитическое растворение слоев структуры, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа, после растворения n⁺- или p-слоя поверхность структур промывают дистиллированной водой, а растворение n-слоя проводят при концентрации электролита, определяемой из выражения C = 1,6/d², где d - диаметр участка локального растворения (мм), при этом величину прикладываемого между анодом и катодом напряжения определяют по формуле V = 2,7 + 1,32 lg C.