Способ получения износостойкого покрытия
Патент 1779073
Авторы
- Баертуев Э.А.
- Водопьянов А.В.
- Кашапов Р.Г.
- Кожевников Д.В.
- Козик В.В.
- Нестеренко В.П.
- Покушалов А.Е.
Классы МПК
Способ получения износостойкого покрытия
Реферат
Способ получения износостойкого покрытия, включающий последовательное осаждение на изделие первого слоя из нитрида переходного металла, промежуточного оксидного слоя и второго слоя из нитрида переходного металла, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытия, слои из нитрида переходного металла наносят ионно-плазменным методом, толщиной 2 - 3 мкм, промежуточный слой наносят методом термолиза металлоорганического соединения, причем в качестве оксида промежуточного слоя используют оксид кремния, толщиной 0,25 - 1,0 мкм, а после нанесения второго слоя нитрида полученную структуру облучают гамма-квантами дозой (1 - 5)1015 см-2 с энергией 1,33 МэВ при температуре 373 - 423 К.