Способ анализа диэлектриков

Способ анализа диэлектриков

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Использование: при физико-химическом анализе составов поверхностей твердых тел методом ионной эмиссии. Сущность изобретения: согласно способу, ведут облучением порошкового диэлектрика корпускулярным , зондом на поверхности исследуемого образца, на котором накапливается положительный заряд. Удаление заряда с поверхности образца осуществляется через электропроводящий порошок, предварительно слрессованный с порошком анализируемого диэлектрика. Отток заряда происходит за счет взаимодействия первичных ионов с электропроводящими участками исследуемого диэлектрика. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)5 G 01 N 23/225

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4923774/25 (22) 13.02.91 (46) 07,03.93. Бюл. N. 9 (71) Самарский филиал Научно-исследовательского института технологии и организации производства двигателей (72) В,Н.Титов и Н.Н.Евграфова (56) Практическая растровая электронная микроскопия/Под ред. Дж. Гоулдстейна и

Х,Яковица. — М,; Мир, 1978, С, 235 — 237.

Авторское свидетельство СССР

¹ 1409906, кл. G 01 N 23/225, 1988.

Изобретение относится к способам физико-химического анализа состава поверхности твердых тел методом вторичной ионной эмиссии.

Цель изобретения — повышение точности анализа.

Поставленная цель достигается тем, что, согласно способу, анализа диэлектриков, включающему подготовку образца, облуче-, ние исследуемого образца корпускулярным зондом, удаление заряда с поверхности образца, регистрацию спектра вторичных ионов, по которому судят о концентрации определяемых элементов, подготовку образца исследуемого вещества к анализу проводят путем прессования с электропроводящим порошком. Стекание.заряда происходит за счет взаимодействия первичных . ионов с электропроводящими участками . спрессованного образца.

„„. Ж„„1800338 Al (54) СПОСОБ АНАЛИЗА ДИЭЛЕКТРИКОВ (57) Использование: при физико-химическом анализе составов поверхностей твердых тел методом ионной эмиссии. Сущность изобретения: согласно способу, ведут облучением порошкового диэлектрика корпускулярным зондом на поверхности исследуемого образца, на котором накапливается положительный заряд. Удаление заряда с поверхности образца осуществляется через электропроводящий порошок, предварительно спрессованный с порошком анализируемого диэлектрика. Отток заряда происходит за счет взаимодействия первичных ионов с электропроводящими участками исследуемого диэлектрика. 2 ил.

Пример конкретного исполнения. Диэ лектрик в виде порошка смешивали в пропорции 1:1 с порошком свинца и спрессовывали в виде таблетки. Для анализа испольэовали масс-спектрометр типа

МС-7201М, работа которого основана на методе вторичной ионной эмиссии. Бомбардировку осуществляли ионами аргона.

На фиг.1 и 2 показаны масс-спектры диэлектрика на основе MgQ, полученные без примеси элвктропроводящего порошка свинца и с примесью соответственно. При сравнении их видно, что на фиг.2 массспектр имеет лучшие характеристики по разрешению масс, что повышает точность анализа.

Использование предложенного способа анализа диэлектриков обеспечивает, по сравнению с существующими способами, следующие преимущества; (180033S возможность анализа диэлектриков без конструктивных изменений в приборе; повышение точности анализа.

Формула изобретения

Способ анализа диэлектриков, включающий подготовку образца, облучение образца корпускулярным зондом, удаление заряда с поверхности образца, регистрацию спектра вторичных ионов, по которому

Фиг /

М 57

Ю 10 j ф

Составитель В,Титов

Техред М.Моргентал КоРРектоР С.Шекмар

Редактор

Заказ 1160 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

<Ъ

Ъ 0 б5.

tQ о

Ъ

3 судят о концентрации определяемых элементов, отличающийся тем, что, с целью повышения точности способа за счет улучшения разрешения регистрируемого спектра при анализе порошковых диэлектриков, подготовку образца исследуемого вещества к анализу проводят путем прессования с электропроводящим порошком,