Способ автоматического управления п получения чистых материалов из газо'п п.ft jh-'•':•••,:оцм?ед>&мй1ой фазы" '

Способ автоматического управления п получения чистых материалов из газо'п п.ft jh-'•':•••,:оцм?ед>&мй1ой фазы" '

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

l90 580

ОП ИСАН ИЕ

ИЗОБ РЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 09Х!!.1964 (№ 904753/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 29.Xll.1966. Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 6.11.1967

Кл, 40а, 61/00

МП1(С 22Ь . у Д1(621,3,077:669.1-498.8 (088.8) Комитет по цвлаь изобретений и открытий при Совете пби". кс р:„ с

СССР

Авторы изобретения Д. И. Лисовский, В. В. 1(азакевич, А. Г. Айзенштейн и В. А. Иванов

Предмет изобретения

В известных способах автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы переменные входные параметры процесса регулируют с помощью автоматических регуляторов по заданным программам, определяемым из услоьия ведения процесса при максимальной скорости осаждения.

Особенностью описываемого способа является то, что в течение процесса непрерывно определяют скорость убывания омического сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих максимальному значению критерия производительности. Это дает возможность устранить влияние различных внешних и внутренних факторов на установленный ход процесса, в результате чего повышается его производительность.

По описываемому способу измеряемая непрерывно в ходе процесса величина, обратная омическому сопротивлению наращиваемого материала, и сигнал отклонения температуры от задания подаются в вычислительное устройство, с помощью которого в течение фиксированного промежутка времени определяется критерий производительности. Поиск оптимальных значений входных параметров, соответствующих максимуму этого критерия, осуществляется последовательно с помощью экстремального регулятора.

Способ автоматического управления процессами получения чистых материалов из газовой фазы, с осаждением на твердую под15 ложку, путем регулирования входных параметров с помощью автоматических регуляторов, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности процесса, в ходе его непрерывно определяют скорость убыва20 ния омичеокого сопротивления наращиваемого материала, в зависимости от которой производят поиск и поддержание оптимальных значений входных переменных параметров, соответствующих максимальному значению

25 критерия производительности.