Способ выявления неоднородностей

Способ выявления неоднородностей

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l9l98l

Союэ Саеетснин

Социалистичеснин

Ресау0лин

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 16.VI.1965 (№ 1013098/22-2) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 26.1.1967. Бюллетень ¹ 4

Дата опубликования описания 15.III.1967

Кл. 48а, 1/06

МПК С 23Ь

УДК 621.357.7:621.315. .592.3 (088.8) Комитет по делам иэобретеиий и открытий ари Саэетв Мииистраа ссср

Авторы изобретения

Л. Я. Кроль, В. С. Векшина и Л."Г. Еланская

Заявитель

СПОСОБ ВЫЯВЛЕНИЯ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ

В РАСПРЕДЕЛЕНИИ ПРИМЕСЕЙ В МОНОКРИСТАЛЛАХ

ПОЛУПРОВОДНИКОВ

Способ выявления неоднородностей и распределении примесей в монокристаллах полупроводников путем аиодного травления известен.

Особенностью предложенного способа является то, что травление осуществляют в электролите, состоящем из насыщенного хлористым аммоиием раствора одного объема концентрированной соляной кислоты в трех об.ьемах воды в течение 8 — 10 л ин при плотности тока 180 — 220 а/см- . Это дает возможность выявить неоднородности в распределении примесей в кристаллах антимонида галлия.

По описываемому способу травлению подвергали монокристаллы антимонида галлия, ограниченные плоскими поверхностями, или образцы, шлифованные окисью алюминия. Исследуемый образец и пластинку из тантала, служащу10 катодом, по(ружали В электролит, представляющий собой насыщенный хлориcTbIM аммонием раствор одного объема концентрированной соляной кислоты в трех обьемах воды. Травление производили при плотности тока 180 — 220 лта/слт - в течение d—

10 мин при комнатной температуре, после чего образцы промывали водой.

Предмет изобретения

10 Способ выявления неоднородностей в распределении примесей в моиокристаллах полупроводников путем анодного травления, 0Тличающийся тем, что, с целью определения неоднородностей в кристаллах антимонида

15 галлия, образцы антимонида галлия подвергают травлению в насыщенном хлористым аммонием растворе одного объема концентрированной соляной кислоты в трех объемах воды в течение 8 — 10 мин при плотности то20 ка 180 — 220 лта/сле.