Датчик давления

Датчик давления

Реферат

 

Использование: измерительная техника. Сущность изобретения: контролируемая среда подается через штуцер 2 в измерительную полость 3, мембрана 9 при этом развивает усилие, которое воздействует на упругий элемент. Упругий элемент деформируется и происходит поворот упругой оболочки. На тензорезисторы воздействуют механические напряжения от изгиба, которые пропорциональные приложенному усилию. При изменении сопротивлении тензорезисторов происходит разбаланс моста Уинстона и на его измерительной диагонали возникает напряжение, пропорциональное воздействующему давлению, измеряемое регистрирующей аппаратурой. 9 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в контрольно-измерительных системах в качестве первичного преобразования малых давлений газовых сред, предпочтительно в оборудовании, в котором за время технологического цикла давление на разных стадиях изменяется от нескольких атмосфер иди десятков атмосфер /100.1000 кПа/ до сотых долей атмосферы и менее /10.1000 Па/.

Известен датчик давления, содержащий корпус, внутри которого размещены манометрический чувствительный элемент со штоком и упругий элемент с тензорезисторами, выполненными в виде прямоугольной рамы, консольно закрепленной в корпусе и несущей на противоположной своей стороне внутреннюю консоль, связанную со штоком /1/.

Указанный датчик давления хорошо работает в рабочем диапазоне измеряемых давлений, но совершенно не защищен от перегрузок.

Известен также датчик давления, содержащий корпус, внутри которого размещены измерительная и разделительная гофрированные мембраны, установленные с зазором относительно одна другой и соединенные по центру силопередающим элементом в виде шайбы и связанный с мембранами преобразователь усилия в электрический сигнал в виде упругой рамки с тензорезисторами причем, разделительная мембрана выполнена с калиброванными отверстиями и жесткостью в 1,5 2,5 раза большей жесткости измерительной мембраны, а центр разделительной мембраны соединен с упругой рамкой с помощью упора-шайбы /2/.

Этот датчик позволяет измерять абсолютное давление, но точность измерения давлений порядка 10/1000 Па невысока, так как мембранный узел должен воспринимать весь перепад давления контрольной среды, начиная, например, с атмосферного давления, что требует использования жесткого мембранного узла.

Известен еще датчик давления, содержащий корпус с измерительной полостью и герметичной камерой, разделенными жесткой перегородкой, размещенной в измерительной полости чувствительный элемент в виде гофрированной мембраны с жестким центром и консольно размещенный в герметичной камере тензометрический преобразователь усилия в электрический сигнал, оснащенный упругим элементом в форме балочного параллелограмма, имеющего два жестких основания, соединенных двумя упругими параллельными балочками с образованием параллелограммной подвески и тензорезисторы, сформированные на утоненных концах упругих балочек, при этом одно из оснований закреплено на корпусе, а второе основание соединено с помощью проставки с жестким центром гофрированной мембраны /3/.

Этот датчик имеет следующие недостатки: контрольное размещение параллелограммного упругого элемента увеличивает плечо между тензорезисторами и линией приложения измеряемого усилия, что увеличивает погрешности измерения давления при изменении температуры, а профилированная опорная поверхность жесткой перегородки не может быть выполнена идентичной поверхности гофрированной мембраны, что снижает предельные давления перегрузки, при которых датчик не изменяет своих характеристик во время эксплуатации.

Наиболее близким к изобретению по совокупности существенных признаков является датчик давления, содержащий корпус с измерительной полостью и герметичной камерой, разделенными жесткой перегородкой, чувствительный элемент, тензометрический преобразователь усилия в электрический сигнал и силопередающее устройство между тензометрическим преобразователем и чувствительным элементом /4/. Чувствительный элемент размещен в измерительной полости и выполнен в виде мембранной коробки, образованной первой и второй гофрированными мембранами с одинаковыми профилями и жесткими центрами. Жесткий центр первой мембраны соединен с торцом цилиндрической вставки, закрепленной в указанной перегородке, а жесткий центр второй мембраны соединен с силопередающим устройством. Герметичная камера соединена с межмембранной полостью чувствительного элемента каналом, проходящим через цилиндрическую вставку и жесткий центр первой мембраны. Тензометрический преобразователь размещен в герметичной камере и включает в себя упругий элемент с тензорезисторами. Силопередающее устройство снабжено пружиной, расположенной в указанном канале.

В известном датчике силы использованы две гофрированные мембраны, имеющие одинаковые профили, что обеспечивает достаточно высокие противоперегрузочные устройства, так как мембранная коробка при перегрузке складывается в двухслойный пакет без изменения жесткостных характеристик мембран. Однако, точность определения этим датчиком малых давлений ограничена, так как консольное крепление тензометрического преобразователя и большое плечо между тензорезисторами и линией приложения измеряемого усилия приводит к увеличению температурной погрешности. Наличие пружины в силопередающем устройстве влияние только осевых температурных деформаций, но не ликвидировало погрешности, связанные с радиальными температурными деформациями. Ограничения на работу датчика при повышенных давлениях /перегрузке/ определяются сравнительно низкой жесткостью центров гофрированных мембран и большим диаметром канала, связывающего герметичную камеру с межмембранной полостью чувствительного элемента, так как в нем необходимо с гарантированным зазором разместить пружину силопередающего устройства.

Задача, на решение которой направлено настоящее изобретение, заключается в разработке датчика давления, имеющего высокую точность измерения малых абсолютных давлений или перепадов давлений и способного противостоять перегрузкам, превышающим диапазон измеренных давлений в сотни и тысяч раз.

Другой задачей изобретения является создание высокоточного датчика давления, точность измерения которого не измеряется при изменении его температуры.

Дополнительной задачей изобретения является создание датчика давления, имеющего повышенный срок эксплуатации без снижения точности измерений.

Еще одной задачей изобретения является создание датчика давления с высокими технологическими свойствами, при изготовлении узлов и деталей которого можно использовать передовые методы малоотходной технологии.

Технический результат достигается тем, что известный датчик давления содержит корпус с измерительной полость и герметичной камерой, разделенными жесткой перегородкой, чувствительный элемент, тензометрический преобразователь усилия в электрический сигнал и силопередающее устройство между тензометрическим пребразователем и чувствительным элементом, причем, чувствительный элемент размещен в измерительной полости и выполнен в виде мембранной коробки, образованной первой и второй гофрированными мембранами с одинаковыми профилями и жесткими центрами, жесткий центр первой мембраны соединен с торцом цилиндрической вставки, закрепленной в указанной перегородке, жесткий центр второй мембраны соединен с силопередающим устройством, герметичная камера соединена с межмембранной полостью чувствительного элемента каналом, проходящим через цилиндрическую вставку и жесткий центр первой мембраны, тензометрический преобразователь размещен в герметичной камере и включает в себя упругий элемент с тензорезисторами, а силопередающее устройство снабжено пружиной, расположенной в указанном канале, согласно изобретению герметичная камера выполнена вакуумированной, в жестком центре второй мембраны выполнено резьбовое гнездо, силопередающее устройством снабжено головкой с шаровой опорой и резьбовым хвостовиком, взаимодействующим с указанным резьбовым гнездом, пружина силоспередающего устройства размещена между головкой и резьбовым хвостовиком и жестко соединена с ними, упругий элемент тензометрического преобразователя выполнен в форме параллелограмма, имеющего два параллельных жестких основания с боковыми полками и параллельные основаниям упругие балочки, соединяющие боковые полки с образованием параллелограммной подвески, ось симметрии которой совмещена с продольной осью силопередающего устройства, тензорезисторы сформированы на утоненных концах по крайней мере, одной упругой балочки, одно из оснований упругого элемента взаимодействует с шаровой опорой, а другое основание соединено с перегородкой двумя стойками, параллельными боковым полкам.

Упругий элемент тензометрического преобразователя может быть снабжен тремя параллельными упругими балочками, а тензорезисторы сформированы на утоненных концах средней балочки.

Канал в цилиндрической вставке может быть выполнен ступенчатым, участок канала с большим диаметром обращен к герметичной камере и в нем размещена пружина силопередающего устройства, а резьбовой хвостовик пропущен через участок канала с меньшим диаметром.

Пружина силопередающего устройства может быть выполнена в виде пакета кольцевых упругих элементов, установленных с зазором относительно друг другу и жестко соединенных между собой перемычками, по две диаметрально расположенные перемычки в каждом зазоре, при этом перемычки в смежных зазорах смещены относительно друг друга на 90^o.

Пакет кольцевых упругих элементов и резьбовой хвостовик силопередающего устройства могут быть выполнена за одно целое в виде тонкостенного стакана с указанным резьбовым хвостовиком, а зазоры между кольцевыми упругими элементами образованы поперечными прорезями в стенках стакана.

В головке силопередающего устройства может быть выполнена цилиндрическая расточка, в которой размещена шаровая опора.

В головке силопередающего устройства может быть выполнено центральное отверстие, кромка которого взаимодействует с шаровой опорой.

Основание упругого элемента, возникающее с шаровой опорой силопередающего устройства, может быть снабжено опорной вставкой с отверстием, кромка которого взаимодействует с шаровой опорой, при этом опорная вставка изготовлена из износостойкого материала и закреплена в поперечном пазу, выполненном в указанном основании.

Упругий элемент и стойки для соединения его основания с перегородкой могут быть выполнены за одно целое.

Упругий элемент и указанные стойки могут быть выполнены из кремниевой пластины.

Сущность изобретения заключается в том, что снабжение силопередающего устройства головкой с шаровой опорой, резьбовым хвостовиком, взаимодействующим с резьбовым гнездом в жестком центре второй гофрированной мембраны и пружиной, размещенной между указанными головкой и хвостовиком, дает возможность ликвидировать технологические погрешности сборки датчика, связанные с допусками на изготовление отдельных узлов и деталей и отрегулировать предварительный натяг между чувствительным элементом и тензометрическим преобразователем, что обеспечивает стабильные прочностные характеристики при упругой деформации гофрированных мембран во время измерения давлений и устойчивую работу тензометрического преобразователя.

Оснащение тензометрического преобразователя упругим элементом параллелограммного типа, образованным основаниями с боковыми полками и соединяющими боковые полки балочками, по крайней мере, на одной из которых размещены тензорезисторы, дает возможность уменьшить погрешности, связанные с изменением температуры за счет двухстороннего размещения тензорезисторов относительно направления измеряемого усилия на тензорезисторы.

Совмещение осей параллелограммной подвески с продольной осью силопередающего устройства способствует уменьшению погрешностей измерения давления, так как все тензорезисторы оказываются на одинаковом удалении от линии приложения измеряемого усилия. Совмещение указанных осей обеспечивается креплением тензометрического преобразователя на перегородке, отделяющей измерительную полость от герметичной камеры, двумя стойками, параллельными боковыми полками оснований.

Наличие в упругом элементе трех параллельных упругих балочек и размещение тензорезисторов на средней упругой балочке способствует повышению точности измерений, так как средняя балочка разгружена от воспроизведения силовых нагрузок вдоль балочки и работает только на изгиб.

Наличие шаровой опоры в силопередающем устройстве гарантирует, что при любых случайных деформациях в зоне контакта силопередающего устройства с основанием упругого элемента касательные напряжения и поперечные усилия не будут передаваться на упругий элемент, что облегчает юстировку и регулирование датчика при сборке и повышает точность измерения давления при эксплуатации.

Датчик давления имеет повышенную стойкость к перегрузкам даже при использовании тонких гофрированных мембран, так как при выполнении в жестком центре второй гофрированной мембраны резьбового гнезда этот жесткий центр выполняют с большей толщиной, чем саму мембрану, что повышает прочность как жесткого центра гофрированной мембраны, так и мембранной коробки в целом. Кроме того, резьбовой хвостовик в любом случае имеет меньший диаметр, чем пружина и следовательно, канал, соединяющий межмембранную полость чувствительного элемента с герметичной камерой, можно выполнять с меньшим диаметром, что также увеличивает возможность противостоять повышенным давлениям в измерительной полости. Это особенно важно при наличии вакуумированной герметичной камеры и при измерении малых абсолютных давлений контролируемой среды, так как прочность измерения малых абсолютных давлений повышается с уменьшением толщины гофрированной мембраны и использование тонких мембран с жестким центром, в котором перегрузка воздействует только на ограниченную центральную зону, расширяет диапазон применения датчика в области малых абсолютных давлений без опасности разрушения его при давлениях перегрузки.

Способность противостоять повышенным давлениям дополнительно возрастает при выполнении канала, соединяющего межмембранную полость чувствительного элемента с герметичной камерой, ступенчатым, так как при повышенных давлениях гофрированные мембраны складываются, их жесткие центры прижимаются друг к другу и к торцевой стенке вставки и не компенсируется только перепад давления на жестком центре второй гофрированной мембраны при минимальном диаметре канала в жестком центре первой гофрированной мембраны.

Точность измерения давления дополнительно повышается при изготовлении пружины в виде пакета кольцевых упругих элементов, установленных с зазором относительно друг друга и жестко соединенных между собой двумя диаметрально расположенными перемычками со смещением перемычек в смежных зазорах на 90^o относительно друг друга, так как при этом осевые усилия передаются без появления крутящего момента, что характерно для пружин кручения.

Наиболее технологично изготовить такую пружину за одно целое с резьбовым хвостовиком в виде тонкостенного стакана с резьбовым хвостовиком и поперечными прорезями в стенках стакана.

Выполнение цилиндрической расточки и центрального отверстия в головке силопередающего устройства облегчает монтаж датчика и повышает его долговечность, так как при наличии отверстия точечный контакт на шаровой опоре заменяется на линейный, что уменьшает напряжение в зоне контакта.

Долговечность датчика давления также повышается при изготовлении тензометрического преобразователя из полупроводниковых материалов, например, из кремния, и введением опорной вставки с отверстием, изготовленной из износостойкого материала и закрепленной в поперечном пазу, выполненным в основании упругого элемента.

Кроме того, снижению температурных погрешностей и повышению технологичности изготовления датчика давления способствует изготовление за одно целое упругого элемента и стоек, соединяющих его с перегородкой, отделяющей измерительную полость от герметичной камеры.

Изготовление указанных стоек и упругого элемента из кремниевой пластины позволяет обеспечить высокую точность измерения усилия, уменьшать температурные погрешности и получить высокотехнологичную конструкцию.

На фиг. 1 изображен датчик давления, на фиг. 2 силопередающее устройство, на фиг. 3 вид А фиг. 2, на фиг. 4 тензометрический преобразователь, на фиг. 5 вид Б фиг. 4, на фиг. 6 схема соединения тензорезисторов.

Датчик давления содержит корпус 1 со штуцером 2, имеющий измерительную полость 3 и герметичную камеру 4, разделенные жесткой перегородкой 5 с цилиндрической вставкой 6. В полости 3 размещен чувствительный элемент 7 виде мембранной коробки, образованной соединенными по периметру гофрированными мембранами 8 и 9 с одинаковыми профилями и жесткими центрами. Жесткий центр мембраны 8 соединен с торцом вставки 6, а в жестком центре мембраны 9, образованном ее плоской центральной частью с накладкой 10, выполнено резьбовое гнездо 11. Камера 4 соединена с межмембранной полостью 12 чувствительного элемента 7 каналом 13, проходящим через вставку 6 и центральное отверстие в жестком центре мембраны 8. В камере 4 размещен тензометрический преобразователь 14, закрепленный на перегородке 5 посредством шайб 15 и винтов 16.

Тензометрический преобразователь 14 содержит упругий элемент 17 с тензорезисторами 18, 19, 20, 21, опорную вставку 22 и стойки 23 для крепления тензометрического преобразователя 14 на перегородке 5. Упругий элемент 17 выполнен в форме параллелограмма, имеющего два параллельных жестких основания 24 и 25 с боковыми полками 26 и 27 и параллельные основаниям упругие балочки 28, 29, 30, соединяющие боковые полки 26 и 27 с образованием параллелограммной подвески. В основании 24 выполнен поперечный паз, в котором закреплена с помощью клея опорная вставка 22 с отверстием 31, ось которого совмещена с продольной осью параллелограммной подвески. Полки 26 и 27 соединены со смежными основаниями 24 и 25 с помощью двух замков с возможностью перемещения оснований относительно друг друга в направлении действия силы в пределах гарантированного зазора "а". Основание 25 снабжено двумя стойками 23, параллельными полками 26 и 27. Основания 24 и 25, балочки 28 и 30, а также стойки 23 выполнены за одно целое из кремниевой пластины, а средняя балочка из монокристаллического кремния с диффузионными тензорезисторами 18, 19, 20, 21 на наружных поверхностях в зоне уточнений 32. Концы 33 балочки 29 вклеены в пазы полок 26 и 27. Тензорезисторы 18, 19, 20, 21 соединены в мост Уинстона, который одной своей диагональю подключен через разъем 34 к источнику стабилизированного питания U_п, а другая диагональ является измерительной и подключена через разъем 34 к известной регистрирующей аппаратуре.

Между чувствительным элементом 7 и тензометрическим преобразователем 14 размещено силопередающее устройство состоящее из жестко соединенных между собой резьбового хвостовика 35, пружины 36 и головки 37 с шаровой опорой 38.

Пружина 36 представляет собой пакет кольцевых упругих элементов 39, установленных с зазором относительно друг друга и жестко соединенных между собой перемычками 40 /по две диаметрально расположенные перемычки в каждом зазоре/. Перемычки 40 в смежных зазорах смещены относительно друг друга на 90^o. Пакет кольцевых упругих элементов 39 и резьбовой хвостовик 35 выполнены за одно целое в виде тонкостенного стакана 41 с резьбовым хвостовиком 35, при этом зазоры между кольцевыми упругими элементами образованы поперечными прорезями 42 в стенке стакана 41. В головке 37 выполнена цилиндрическая расточка 43 и центральное отверстие 44. В расточке 43 размещена шаровая опора 38: взаимодействующая с кромкой центрального отверстия 44 с кромкой отверстия 31 опорной вставки 22. Канал 13 в цилиндрической вставке 6 выполнен ступенчатым. Участок канала с большим диаметром обращен к камере 4 и в нем размещена пружина 36 силопередающего устройства, а резьбовой хвостовик 35 пропущен через участок канала с меньшим диаметром и ввернут в резьбовое гнездо 11 жесткого центра мембраны 9.

Датчик давления юстируется в положении штуцером 2 вниз. Для этого вворачиваем резьбовое гнездо 11 хвостовик 35 силового передающего устройства до упора в дно вставки 6. Устанавливает в цилиндрическую расточку 43, шаровую опору 38. Устанавливает тензометрический преобразователь 14 в перегородку 5 и закрепляем его над шаровой опорой 38 посредством шайб 15 и винтов 16. Вращая головку 37, выворачиваем силопередающее устройство до контакта шаровой опоры 38 с основанием 24 упругого элемента 17. Контакт регистрируется по появлению сигнала с тензометрического преобразователя 14. Проверяем совмещение осей силопередающего устройства и тензометрического преобразователя, замеряя суммарное сопротивление тензорезистора 18, 19, 20, 21. При совмещении осей силопередающего устройства и тензометрического преобразователя сумматоре сопротивление тензорезисторов моста Уинстона до и после приложения нагрузки равны между собой. Неравенство суммарных сопротивлений тензорезисторов моста Уинстона до и после приложения нагрузки указывает на несовмещение осей силопередающего устройства и тензометрического преобразователя. В этом случае определяем наклон оси тензометрического преобразователя 14 и устраняем его, например, путем изменения длины одной из стоек 23. Нагружаем повторно упругий элемент 17 юстировочным усилием, меньшим рабочего усилия и контролируемым совпадение указанных осей. Закрепляем окончательно тензометрический преобразователь 14 в совмещенном положении. Вращая головку 37, раздвигаем мембраны 8 и 9 в рабочее положение. Контроль за проведением датчика в рабочее состояние осуществляется по сигналу с тензометрического преобразователя.

После юстировки камера 4 вакуумируется, а затем герметизируется. Посредством штуцера 2 датчик подсоединяется к объекту с контролируемой средой.

Устройство работает следующим образом.

Контролируемая среда подается через штуцер 2 в измерительную полость 3. Мембрана 9 под действием давления контролируемой среды развивает усилие, которое через силопередающее устройство воздействует на упругий элемент 17 тензометрического преобразователя 14. Упругий элемент 17 деформируется под действием приложенного усилия, при этом происходит поворот упругой балочки 29 на некоторый угол относительно утонений 32. На тензорезисторы 18, 19, 20, 21 воздействуют механические напряжения от изгиба, которые пропорциональны приложенному усилию, причем, на парах тензорезисторов 18, 19 и 20, 21 изгибные напряжения имеют разный знак. При изменении сопротивления тензорезисторов 19, 20, 21 происходит разбаланс поста Уинстона и на его измерительной диагонали возникает напряжение, пропорциональной воздействующему давлению, измеряемое известной регистрирующей аппаратурой. При превышении давления контролируемой среды в измерительной полости 3 измеряемого диапазона давлений мембрана 9 ложится на мембрану 8. Поскольку профили мембран совпадают, то мембраны совмещаются полностью, образуя двухслойный пакет. Жесткий центр мембраны 9 прижимается давлением среды к жесткому центру мембраны 8 и торцу вставки 6. Незащищенный от перепада давлений остается центральная зона жесткого центра мембраны 9 под каналом, соединяющим межмембранную полость чувствительного элемента с герметичной камерой, окружающая резьбовой хвостовик 35. Так как резьбовое гнездо 11, взаимодействующее с резьбовым хвостовиком 35, имеет достаточно толстые стенки, а диаметр канала относительно мал /примерно 2 4 мм, в зависимости от диапазона измеряемых давлений/, то практически, любое давление перегрузки не может разрушить чувствительный элемент и датчик давления сохраняет работоспособность при эксплуатации в любом технологическом оборудовании.

При снижении давления перегрузки до диапазона измерений датчика давления мембрана 9 под воздействием пружины 36 отделяется от мембраны 8 и датчик начинает измерять давление контрольной среды.

Изобретение может быть изготовлено промышленным способом с использованием современных материалов и технологий, что подтверждает его промышленную применимость.

Формула изобретения

1. Датчик давления, содержащий корпус с измерительной полостью и герметичной камерой, разделенными жесткой перегородкой, чувствительный элемент, тензометрический преобразователь усилия в электрический сигнал и силопередащее устройство между тензометрическим преобразователем и чувствительным элементом, причем чувствительный элемент размещен в измерительной полости и выполнен в виде мембранной коробки, образованной первой и второй гофрированными мембранами с одинаковыми профилями и жесткими центрами, жесткий центр первой мембраны соединен с торцом цилиндрической вставки, закрепленной в указанной перегородке, жесткий центр второй мембраны - с силопередающим устройством, герметичная камера соединена с межмембранной полостью чувствительного элемента каналом, проходящим через цилиндрическую вставку и жесткий центр первой мембраны, тензометрический преобразователь размещен в герметичной камере и включает в себя упругий элемент с тензорезисторами, а силопередающее устройство снабжено пружиной, расположенной в указанном канале, отличающийся тем, что герметичная камера выполнена вакуумированной, в жестком центре второй мембраны выполнено резьбовое гнездо, силопередающее устройство дополнительно снабжено головкой с шаровой опорой и резьбовым хвостовиком, взаимодействующим с указанным резьбовым гнездом, пружина силопередающего устройства размещена между головкой и резьбовым хвостовиком и жестко соединена с ними, упругий элемент тензометрического преобразователя выполнен в форме параллелограмма, имеющего два параллельных жестких основания с боковыми полками и параллельные основаниям упругие балочки, соединяющие боковые полки с образованием параллелограммной подвески, ось симметрии которой совмещена с продольной осью силопередающего устройства, тензорезисторы сформированы на утоненных концах, по крайней мере одной упругой балочки, одно из оснований упругого элемента взаимодействует с шаровой опорой, а другое основание соединено с перегородкой двумя стойками, параллельными боковым полкам.

2. Датчик по п.1, отличающийся тем, что упругий элемент тензометрического преобразователя снабжен тремя параллельными упругими балочками, а тензорезисторы сформированы на утоненных концах средней балочки.

3. Датчик по пп. 1 и 2, отличающийся тем, что канал в цилиндрической вставке выполнен ступенчатым, участок канала с большим диаметром обращен к герметичной камере и в нем размещена пружина силопередающего устройства, а резьбовой хвостовик пропущен через участок канала с меньшим диаметром.

4. Датчик по п.3, отличающийся тем, что пружина силопередающего устройства выполнена в виде пакета кольцевых упругих элементов, установленных с зазором относительно друг друга и жестко соединенных между собой перемычками, по две диаметрально расположенные перемычки в каждом зазоре, при этом перемычки в смежных зазорах смещены одна относительно другой на 90^o.

5. Датчик по п.4, отличающийся тем, что пакет кольцевых упругих элементов и резьбовой хвостовик силопередающего устройства выполнены за одно целое в виде тонкостенного стакана с указанным резьбовым хвостовиком, а зазоры между кольцевыми упругими элементами образованы поперечными прорезями в стенке стакана.

6. Датчик по пп. 1 5, отличающийся тем, что в головке силопередающего устройства выполнена цилиндрическая расточка, в которой размещена шаровая опора.

7. Датчик по пп.1 6, отличающийся тем, что в головке силопередащего устройства выполнено центральное отверстие, кромка которого взаимодействует с шаровой опорой.

8. Датчик по пп.1 7, отличающийся тем, что основание упругого элемента, взаимодействующее с шаровой опорой силопередащего устройства, снабжено опорной вставной с отверстием, кромка которого взаимодействует с шаровой опорой, при этом опорная вставка изготовлена из износостойкого материала и закреплена в поперечном пазу, выполненном в указанном основании.

9. Датчик по пп.1 8, отличающийся тем, что упругий элемент и стойки для соединения его основания с перегородкой выполнены за одно целое.

10. Датчик по п. 9, отличающийся тем, что упругий элемент и указанные стойки выполнены из кремниевой пластины.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6