Фотомишень видикона
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
218214
Со(оз Советских
Социалистических
Республик
Г
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 24.VI.1965 (№ 1014217/26-25) с присоединением заявки M
Приоритет
Опубликовано 10.VII.1969. Бюллетень ¹ 23
Дата опубликования описания 11.XII.1969
Кл. 2la>, 32/35
21 ь, 29/30
:1ПК Н 04п
Н Oll
УДК 621.383.8(088.8) Комитет по делам ивобретвиий и открытий при Совете Мииистров
СССР
Автор изобретения
Б. В. Корнилов
Заявитель
ФОТОМИШЕНЬ ВИДИКОНА
Изобретение относится к области инфракрасной техники и может найти применение в промышленном телевидении и других областях
Известные фотомишени из различных матен а у ки и техн и ки. риалов и их комбинаций имеют ограниченный спектральный интервал в инфракрасной области спектра.
Для увеличения пороговой чувствительности фотомишеней и расширения предела спектральной чувствительности предложено изготавливать фотомишени из монокристаллического кремния, легированного цинком, концентрация которого не меньше 10« см :, и бором, концентрация которого не выше 0,1 à концентрации цинка.
Такое соотношение между концентрацией цинка и бора, которые ооа являются акцепторами, обусловлено тем, что цинк вводит дополнительно доноры в концентрации
)10» см, Эти доноры компенсируют бор.
Получаемые фотомишени имеют удельное сопротивление порядка 10>- ом ам при температуре жидкого азота, область спектральной чувствительности 0,6 — 4 мк, чувствительность лжвт при температуре черного тела 130 С 1 м Р
Компенсация уровня бора донорами цинка возможна лишь в том случае, если концентрация доноров цинка несколько больше концентрапии бора.
Для изготовления фотомишени используют кремний р-типа, легированный бором с удельным сопротивлением порядка 1000 ом см.
Цинк вводят в кристаллы кремния методом диффузионного отжига.
Использование монокристаллического крем1п ния, легированного цинком и бором, для фотомишеней видиконов, работающих в инфракрасной области спектра, позволяет расширить спектральную характеристику видиконов, повысить чувствительность в области спектра
15 2,2 — 4 л к и стабильность фотомишеней и упростить технологшо изготовления видиконов.
Предмет изобретения
20 Фотомишень видпкона, работающего в инфракрасной области спектра, выполненная из легированного кремния, от,тича(ощаяся тем, что, с целью увеличения пороговой чувствительности и расширения предела спектральной
25 чувствительности, кремний легирован цинком, концентрация которого не меньше 10«см, и бором, концентрация которого не выше 0,1% концентрации цинка.