Пленочный фоторезист для трафаретной печати и способ его изготовления
Патент 2321037
Авторы
- Абрамов Владимир Николаевич (RU)
- Арефьев Николай Михайлович (RU)
- Кочуков Алексей Викторович (RU)
- Яковлев Владимир Борисович (RU)
Правообладатели
Классы МПК
- G03F78 - Фотомеханическое изготовление рельефных (текстурированных) поверхностей или поверхностей с рисунком, например для печати, для изготовления полупроводниковых приборов; материалы для этих целей; оригиналы для этих целей; устройства, специально приспособленные для этих целей (фотонаборные устройства B41B; светочувствительные материалы или процессы для фотографических целей G03C; электрография, чувствительные слои или процессы G03G)
- C07C337/06 - Производные тиоугольных кислот, содержащие функциональные группы, отнесенные к группам C07C333/00 или C07C335/00, в которых по меньшей мере один атом азота из этих функциональных групп связан с другим атомом азота, не входящим в нитро- или нитрозогруппы
- C07C335/02 - тиомочевина
- G03C1/72 - светочувствительные составы, не отнесенные к рубрикам G03C 1/005-G03C 1/705
Пленочный фоторезист для трафаретной печати и способ его изготовления
Изобретение относится к области изготовления пленочного фоторезиста и сеткотрафаретных экранов на его основе, используемых в производстве печатных плат, керамических корпусов интегральных схем, изделий полиграфической промышленности. Описывается пленочный фоторезист для трафаретной печати, содержащий гибкую подложку и полимерный очувствляемый копировальный слой на основе пленкообразующей композиции, включающей полимерное связующее, содержащее поливиниловый спирт и сополимер винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (C2-C8) или с 2-95 мол.% этилена, или поливинилацетат, краситель из класса фталоцианиновых пигментов или трифенилметановых красителей, неионогенный смачиватель из класса полиэтиленгликолевых эфиров моно- и диалкилфенолов или бис(октаглицерин)-2-алкенсукцината, и дополнительно активатор, выбранный из группы, включающей соединения, содержащие тиокарбонильную группу, такие как тиомочевина и ряд ее производных, соль тиосемикарбазида, N,N-диэтилдитиокарбаматы натрия и аммония, тиоацетамид, соединения с меркаптогруппой, например L-цистеин, сульфитные соединения, такие как пиросульфиты калия или натрия, формальдегид-бисульфит натрия, в количестве 0,1-2,0 мас.% в сухом копировальном слое. Пленочный фоторезист получают путем полива на гибкую полимерную основу указанной водной пленкообразующей композиции с последующей сушкой политого слоя теплым воздухом. Способ позволяет увеличить фоточувствительность пленочного фоторезиста, сократить время экспонирования в 1,5-2,0 раза, повысить устойчивость сшитого копировального слоя к действию органических растворителей, а также получить на основе данного фоторезиста сеткотрафаретные экраны с защитным слоем повышенной толщины (более 100 мкм). 2 н.п. ф-лы, 2 табл.
Реферат
Изобретение относится к пленочным светочувствительным материалам для трафаретной печати и способам их изготовления и может быть использовано в полиграфической, электронной и радиотехнической промышленности.
Цель изобретения - повышение светочувствительности копировального слоя и повышение устойчивости изготовленного трафарета к органическим растворителям.
Известен пленочный фоторезист для трафаретной печати, который изготавливают нанесением на полиэтилентерефталатную основу водного раствора пленкообразующей композиции, включающей поливиниловый спирт, поливинилацетатную дисперсию, смачиватель и краситель основный синий К с последующей сушкой при 50-70°С [1].
Недостатками этого материала являются низкая светочувствительность, высокая дефектность светочувствительного слоя, низкая устойчивость изготовленного трафарета к органическим растворителям.
Известны пленочные фоторезисты для трафаретной печати, состоящие из полиэтилентерефталатной основы и светочувствительного копировального слоя, включающего поливиниловый спирт, поливинилацетат, полимеризационно-способный олигомер с концевыми ненасыщенными группами, фотоинициатор - 2,2-диметокси-2-фенилацетофенон, смачиватель и краситель [2]. Такие фоторезисты имеют более высокую светочувствительность и устойчивость к органическим растворителям.
Недостатками таких фоторезистов являются низкая сохраняемость из-за темновой реакции полимеризации мономеров (олигомеров), а также трудность проявления водой после экспонирования и трудность регенерации сетки восстановителями сетки для ее повторного использования. Кроме того, фотополимеризация затрудняется в присутствии кислорода воздуха в процессе экспонирования.
Наиболее близким к заявляемому объекту, выбранному в качестве прототипа, является пленочный фоторезист, состоящий из полиэтилентерефталатной основы с нанесенным на нее очувствляемым копировальным слоем, включающим полимерное связующее, краситель, пластификатор и смачиватель [3]. Известный пленочный фоторезист для трафаретной печати изготавливают путем нанесения на поливной машине методом купающего валика водной композиции, содержащей 5-10 мас.% поливинилового спирта, 20-35 мас.% водной дисперсии сополимера винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (С2-C8) или с 2-95 мол.% этилена и воду (остальное до 100%), на гибкую полимерную основу с последующей сушкой. Пленочный фоторезист может также содержать краситель и неионогенный смачиватель. Для получения сеткотрафаретного экрана пленочный фоторезист наносят на сетку, предварительно смоченную водным раствором сенсибилизатора - бихроматом аммония, сушат, экспонируют и проявляют водой.
Недостатками этого материала являются низкая светочувствительность, недостаточно высокая устойчивость к органическим растворителям, обычно используемым в трафаретной печати (бутилацетат, ксилол, изопропанол), невозможность изготавливать сеткотрафаретные экраны с защитным слоем повышенной толщины (100±5 мкм и более).
Поставленная цель достигается тем, что очувствляемый копировальный слой, нанесенный на гибкую полимерную основу, наряду с полимерным связующим, красителем и смачивателем, дополнительно содержит серосодержащий активатор, содержащий тиокарбонильную группу формулы (1):
где R1=-NH2, -N2H3, -СН3, CH2=CH-CH2-N2H2-, (Alk)2N- (где Alk - алкил C1-C2);
R2=-NH2, -NH2×HCl, -SNa, -SNH4,
а также L-цистеин, пиросульфиты калия и натрия, формальдегид-бисульфит натрия, причем в качестве красителей используют фталоцианиновые пигменты, а также трифенилметановые красители.
Поставленная цель достигается также тем, что способ изготовления пленочного фоторезиста включает приготовление водной пленкообразующей композиции на основе полимеров, способных к фотохимическому структурированию в присутствии светочувствительного сенсибилизатора, путем смешения водных растворов поливинилового спирта и пластифицированных дисперсий сополимеров винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (C2-C8) или с 2-95 мол. % этилена или поливинилацетата с красителем и смачивателем, полив этой композиции на гибкую подложку на поливной машине методом купающего валика и сушку, и отличается тем, что в указанную пленкообразующую композицию дополнительно вводят добавку активатора - соединения, содержащего тиокарбонильную группировку общей формулы (1):
где R1=-NH2, -N2H3, -СН3, CH2=CH-CH2-N2H2-, (Alk)2N- (где Alk - алкил C1-C2);
R2=-NH2, -NH2×HCl, -SNa, -SNH4,
или L-цистеин, или пиросульфиты калия или натрия, или формальдегид-бисульфит натрия, при следующем соотношении компонентов в композиции, мас.%:
| Поливиниловый спирт | 5,0-15,0 |
| Сополимеры винилацетата | |
| или поливинилацетат | 15,0-25,0* |
| Краситель | 0,02-0,40 |
| Активатор | 0,02-0,40 |
| Смачиватель | 0,10-0,50 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
Полученный после высушивания очувствляемый копировальный слой имеет следующий состав, мас.%:
| Поливиниловый спирт | 24,1-36,8 |
| Сополимеры винилацетата | |
| или поливинилацетат | 61,3-72,5 |
| Краситель | 0,08-0,98 |
| Активатор | 0,08-1,93 |
| Смачиватель | 0,48-1,94 |
Для получения сеткотрафаретного экрана пленочный фоторезист сенсибилизируют путем нанесения на сетку, предварительно смоченную водным раствором сенсибилизатора - бихроматом аммония, высушивают, экспонируют через фотошаблон, проявляют водой и высушивают полученный трафарет.
Сущность изобретения состоит в том, что изготовленный таким образом сеткотрафаретный экран, наряду со светочувствительным сенсибилизатором - бихроматом аммония, проявляющим окислительные свойства, дополнительно содержит серосодержащий активатор, проявляющий восстановительные свойства и ускоряющий процесс фотовосстановления солей шестивалентного хрома. Результатом этого является сокращение времени экспонирования и улучшение эксплуатационных свойств трафаретов (в частности, повышение их устойчивости к органическим растворителям). Так, минимальное время экспонирования (т.е. такое, при котором в процессе проявления трафарета не происходит повреждения защитного слоя) удается сократить в 1,5-2 раза. Это позволяет уменьшить вклад побочных процессов в ходе фотозадубливания и улучшить качество трафарета. Наконец, поскольку применяемые агенты-восстановители хорошо растворимы в воде, их присутствие в копировальном слое облегчает процесс вымывания незадубленных участков.
В качестве полимерного связующего используют композицию, включающую поливиниловый спирт, сополимеры винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (С2-С8) или с 2-95 мол.% этилена или поливинилацетат.
В качестве активаторов используют такие органические и неорганические серосодержащие соединения, как тиокарбонильные соединения: тиосемикарбазид солянокислый (ТСК), аллилтиомочевина (ATM), тиоацетамид (ТАА), тиомочевина (ТМ), N,N-диэтилдитиокарбамат натрия (ДЭТК) или аммония; соединения, содержащие меркаптогруппу, например аминокислота с SH-группой L-Цистеин; сульфитные соединения, такие как пиросульфиты калия (К-ПС) и натрия (Na-ПС) или формальдегидбисульфит натрия (Na-ФБ). В состав водной композиции для изготовления пленочного фоторезиста вводят 0,02-0,40 мас.% (0,08-1,93% от массы сухого остатка). Увеличение их содержания приводит к заметному ухудшению темновой сохраняемости материала, а уменьшение - к снижению эффективности их действия.
В качестве красителей, используемых для лучшей визуализации проявленного слоя, можно применять различные водорастворимые трифенилметановые (Бриллиантовый Зеленый, Метиловый Фиолетовый, Основной синий К и др.) и вододиспергируемые красители (Фталоцианиновые пигменты), однако наилучшие результаты по темновой сохраняемости материала обеспечивают вододиспергируемые красители (пигменты), которые инертны ко всем компонентам очувствляемого копировального слоя. Красители (пигменты) вводятся в состав водной композиции для изготовления пленочного фоторезиста в количестве 0,02-0,40 мас.% (0,08-0,98% от массы сухого остатка).
Для улучшения качества очувствляемого копировального слоя и снижения его дефектности в состав водной композиции для изготовления пленочного фоторезиста вводят неионогенный смачиватель из класса полиэтиленгликолевых эфиров моно- и диалкилфенолов или бис(октаглицерин)-2-алкенсукцинат (СВ-104П, СВ-105, ОП-10 или аналогичный) в количестве 0,10-0,50 мас.% (0,48-1,94% от массы сухого остатка).
Дополнительно очувствляемые копировальные слои могут содержать пластификаторы, такие как диалкилфталаты, триалкил(арил)фосфаты, полиэтиленгликоли и др. в количестве, достаточном для достижения необходимых физико-механических свойств.
Сравнительные характеристики прототипа и полученных по описанному способу образцов фоторезиста даны в табл.1 и 2.
Изобретение иллюстрируется следующими примерами.
Пример 1 (прототип):
Готовят жидкую полимерную композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 (ГОСТ 10779-78) | 10 |
| Сополимер винилацетата (81 мол.%) с | |
| дибутилмалеинатом | (19 мол.%) |
| марки ДПМ 5035 (ОСТ 6-05-617-78) | 20*) |
| Краситель Бриллиантовый зеленый | 0,05 |
| Смачиватель СВ 104 П | 0,15 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
Композицию после фильтрации через три слоя бязи наносят на полиэтилентерефталатную основу на поливной машине с купающим валиком и сушат 10-15 мин при 50-70°С, получая пленочный фоторезист с толщиной копировального слоя 40 мкм. Аналогичным образом в несколько приемов, чередуя нанесение композиции и сушку, получают образец пленочного фоторезиста с толщиной слоя 95 мкм.
Полученный фоторезист накатывают копировальным слоем на полиамидную сетку, смоченную 2%-ным водным раствором бихромата аммония, и сушат при 45°С в течение 15 мин. Полимерную основу удаляют путем отслаивания и сборку экспонируют через фотошаблон ртутной газоразрядной лампой ДРТ-250 на расстоянии 20 см. Затем сборку промывают струей воды с температурой 20-25°С для проявления рисунка, сушат в потоке теплого воздуха и проводят дальнейшие испытания трафаретов.
Контролируемыми параметрами являются минимальное время экспонирования (т.е. светочувствительность), четкость края элемента рисунка и устойчивость к органическим растворителям (бутилацетат, ксилол, изопропанол). Качество полученного сеткотрафаретного экрана оценивают с помощью микроскопа МБС-9 с микрометрической шкалой. Для оценки устойчивости к растворителям поверхность трафарета многократно (не менее 10 раз) протирают тампоном, смоченным соответствующим растворителем. Степень набухания копировального слоя контролируют микроскопическим методом.
Характеристики данного образца пленочного фоторезиста и трафаретов, изготовленных на его основе, приведены в табл.1 и 2. Для фоторезиста с толщиной 95 мкм качественный трафарет получить не удается, т.к. происходит либо повреждение рисунка при проявлении из-за недостаточной степени сшивки, либо переэкспонирование (задубливание пробельных участков рисунка).
Пример 2
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 10,0 |
| Сополимер винилацетата (81 мол.%) с | |
| дибутилмалеинатом (19 мол.%) | |
| марки ДПМ 5035 В | 20,0*) |
| Краситель Бриллиантовый зеленый | 0,05 |
| Смачиватель СВ 104 П | 0,15 |
| Тиомочевина | 0,30 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 41 и 102 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 3
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки «Мовиол 18-88» | |
| фирмы Kuraray Specialities Europe GmbH (Германия) | 8,0 |
| Поливинилацетат марки ДБ 48/4С, пластифицированный | |
| 10% дибутилфталата | 17,0*) |
| Краситель Метиловый фиолетовый | 0,02 |
| Смачиватель СВ 104 П | 0,5 |
| Тиомочевина | 0,25 |
| Вода | остальное |
*)- в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 38 мкм, изготавливают и испытывают сеткотрафаретный экран. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 4
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки «Мовиол 40-88» | |
| фирмы Kuraray Specialities Europe GmbH (Германия) | 5,0 |
| Сополимер винилацетата с дибутилмалеинатом | |
| марки ДПМ 5035 В | 25,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый | 0,40 |
| Смачиватель ОП-10 | 0,20 |
| Тиомочевина | 0,20 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 40 и 98 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 5
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки ВР-17 фирмы | |
| Chang Chun Petrochemical Co. Ltd (Тайвань) | 6,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| диоктилмалеинатом (50 мол. %) | 15,0*) |
| Краситель Бриллиантовый зеленый | 0,02 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,15 |
| Тиоацетамид | - 0,02 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 40 и 95 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 6
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 5,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 15,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый | 0,20 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,10 |
| N,N-диэтилдитиокарбамат натрия (Na-ДЭТК) | 0,40 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
Указанную композицию методом полива наносят на полиэтиленированную бумагу, обработанную коронным разрядом, по методике, приведенной в примере 1, получают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 38 и 100 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 7
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с диэтилмалеинатом (2 мол. %) | 17,0* |
| Краситель Бриллиантовый зеленый | 0,05 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,25 |
| Тиосемикарбазид солянокислый | 0,02 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 40 и 103 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 8
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель ОП-7 | 0,25 |
| L-Цистеин | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочные фоторезисты с толщиной слоя 41 и 98 мкм, изготавливают сеткотрафаретные экраны и проводят их испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1 и 2.
Пример 9
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,25 |
| Аллилтиомочевина | 0,25 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 42 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 10
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,25 |
| Натрия пиросульфит (Na-ПС) | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 40 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 11
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,20 |
| Калия пиросульфит (К-ПС) | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 42 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 12
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с | |
| дибутилмалеинатом марки ДПМ 5035 В | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,20 |
| Натрия формальдегидбисульфит (Na-ФБ) | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 44 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 13
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с этиленом (50 мол.%) | 17,0*) |
| Пигмент голубой фталоцианиновый В | 0,25 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,20 |
| Тиосемикарбазид солянокислый | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 38 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
Пример 14
Готовят жидкую композицию следующего состава, мас.%:
| Поливиниловый спирт марки 18/11 | 8,0 |
| Сополимер винилацетата с этиленом (15 мол. %) | |
| марки СВЭД (ТУ 6-05-1898-80) | 17,0*) |
| Краситель Бриллиантовый зеленый | 0,05 |
| Смачиватель СВ-104 П | 0,20 |
| Аммония N,N-Диэтилдитиокарбамат (NH4-ДЭТК) | 0,025 |
| Вода | остальное |
*) - в пересчете на сухой остаток.
По методике, приведенной в примере 1, поливают пленочный фоторезист с толщиной слоя 38 мкм, изготавливают сеткотрафаретный экран и проводят его испытания. Результаты испытаний приведены в табл.1.
| Таблица 1 | ||||||
| Влияние серосодержащих активаторов на характеристики пленочного фоторезиста с толщиной слоя 40±2 мкм | ||||||
| № примера | Активатор, (мас.% от сухого остатка) | Краситель (пигмент) | Минимальное время экспонирования, мин. | Устойчивость трафарета к органическим растворителям | ||
| Бутилацетат | Ксилол | Изопропанол | ||||
| 1 | - | БЗ | 3,0 | - | + | - |
| 2 | ТМ (0,98) | БЗ | 1,5 | + | + | + |
| 3 | ТМ (0,97) | МФ | 1,0 | + | + | + |
| 4 | ТМ (0,49) | ПГФ | 1,0 | + | + | + |
| 5 | ТАА (0,09) | БЗ | 1,0 | + | + | + |
| 6 | Na-ДЭТК(1,93) | ПГФ | 1,0 | + | + | + |
| 7 | TCK (0,08) | БЗ | 1,0 | + | + | + |
| 8 | Цистеин (0,10) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 9 | ATM (0,97) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 10 | Na-ПС (0,10) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 11 | К-ПС (0,10) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 12 | Na-ФБ (0,10) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 13 | TCK (0,10) | ПГФ | 0,5 | + | + | + |
| 14 | NH4-ДЭТК (0,10) | БЗ | 1,0 | + | + | + |
| Обозначения: БЗ - Бриллиантовый зеленый, МФ - Метиловый фиолетовый, ПГФ - Пигмент голубой фталоцианиновый |
| Таблица 2 | |||
| Сравнительная эффективность серосодержащих активаторов для толстых копировальных слоев (100±5 мкм) | |||
| №примера | Активатор, (мас.% от сухого остатка) | Краситель (пигмент) | Минимальное время экспонирования, мин |
| 1 | - | БЗ | - |
| 2 | ТМ (0,97) | БЗ | 3,0 |
| 4 | ТМ (0,49) | ПГФ | 3,0 |
| 5 | ТАА (0,09) | БЗ | 2,0 |
| 6 | Na-ДЭТК (1,93) | ПГФ | 3,5 |
| 7 | ТСК (0,08) | БЗ | 3,0 |
| 8 | Цистеин (0,10) | ПГФ | 2,0 |
Источники информации
1. Авторское свидетельство СССР №1084717, МКИ5 G03F 7/04, опубл.07.04.1984 г., бюл. №13.
1. Авторское свидетельство СССР №1621737, МКИ5 G03F 7/025, опубл.20.09.2000 г., бюл. №26.
3. Авторское свидетельство СССР №1618157, МКИ6 G03F 7/004, опубл.27.10.1998 г., бюл. №30.
1. Пленочный фоторезист для трафаретной печати, содержащий гибкую подложку и полимерный очувствляемый копировальный слой на основе пленкообразующей композиции, включающей полимерное связующее, способное к фотохимическому структурированию в присутствии светочувствительного сенсибилизатора, краситель, неионогенный смачиватель и воду, отличающийся тем, что пленкообразующая композиция для очувствляемого копировального слоя включает полимерное связующее, содержащее поливиниловый спирт и сополимер винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (C2-C8) или с 2-95 мол.% этилена или поливинилацетат, краситель из класса фталоцианиновых пигментов или трифенилметановых красителей, неионогенный смачиватель из класса полиэтиленгликолевых эфиров моно- и диалкилфенолов или бис(октаглицерин)-2-алкенсукцината и дополнительно активатор, выбранный из группы, включающей соединения, содержащие тиокарбонильную группу, формулы (1)
где R1=-NH2, -N2H3, -СН3, CH2=CH-CH2-N2H2-, (Alk)2N-,
где Alk - алкил C1-C2;
R2=-NH2, -NH2×HCl, -SNa, -SNH4,
или L-цистеин, или пиросульфит калия или натрия, или формальдегид-бисульфит натрия, при следующем соотношении компонентов пленкообразующей композиции, мас.%:
| поливиниловый спирт | 5,0-15,0 |
| указанные сополимеры винилацетата | |
| или поливинилацетат | 15,0-25,0 |
| краситель | 0,02-0,40 |
| активатор формулы (1) | 0,02-0,40 |
| указанный смачиватель | 0,10-0,50 |
| вода | остальное |
2. Способ изготовления пленочного фоторезиста, включающий приготовление водной пленкообразующей композиции на основе полимеров, способных к фотохимическому структурированию в присутствии светочувствительного сенсибилизатора, полив этой композиции на гибкую подложку и сушку, отличающийся тем, что пленкообразующую композицию готовят путем смешения водных растворов поливинилового спирта и пластифицированной дисперсии сополимера винилацетата с 2-50 мол.% диалкилмалеината (C2-C8) или с 2-95 мол.% этилена или поливинилацетата с красителем из класса фталоцианиновых пигментов или трифенилметановых красителей и неионогенным смачивателем из класса полиэтиленгликолевых эфиров моно- и диалкилфенолов или бис(октаглицерин)-2-алкенсукцината с дополнительным введением в указанную пленкообразующую композицию добавки активатора, выбранного из группы, включающей соединения, содержащие тиокарбонильную группировку, общей формулы (I)
где R1=-NH2, -N2Н3, -СН3, CH2=CH-CH2-N2H2, (Alk)2N-,
где Alk-алкил C1-C2;
R2=-NH2, -NH2×HCl, -SNa, -SNH4,
или L-цистеин, или пиросульфит калия или натрия, или формальдегид-бисульфит натрия, при следующем соотношении компонентов в пленкообразующей композиции, мас.%:
| поливиниловый спирт | 5,0-15,0 |
| указанные сополимеры винилацетата | |
| или поливинилацетат | 15,0-25,0 |
| краситель | 0,02-0,40 |
| активатор формулы (1) | 0,02-0,40 |
| указанный смачиватель | 0,10-0,50 |
| вода | остальное |