Патеитно- техническая10киблиотека

Патеитно- техническая10киблиотека

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

232392

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства ¹â€”

Кл. 21@, 11!02

Заявлено 20.111.1961. (¹ 710344/26-25) с присоединением заявки ¹вЂ”

МПК Н 011

Приоритет—

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

УДК 621.382.3 (088.8) Опубликовано 03.Х11.1969. Бюллетень ¹ 1 за 1970

Дата опубликования описания 12Х.1970

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ВЫСОКОВОЛЪТНЫХ КРЕМНИЕВЫХ

СИЛОВЪ|Х ВЕНТИЛЕЙ

Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых мощHbtx кремниевых вентилей.

Предлагаемый способ представляет собой чисто диффузионный метод создания электронно-дырочного перехода в электронном кремнии.

Диффузионный метод получения высоковольтных вентилей основан на том, что пробивное напряжение зависит и от глубины залегания электронно-дырочного перехода. Это означает, что, увеличивая температуру и время диффузионного прогрева, можно получить вентиль с большим пробивным напряжением из сравнительно низкоомного кремния.

Предлагаемый способ делится на ряд основных операций: напыление борного ангидрида на поверхность кремниевой пластины и-типа в вакууме с целью создания источника диффундирующего вещества; прогрев кремниевой пластины с напылением борного ангидрида при температуре 1300" С в течение 15 — 30 час на воздухе для создания плавного электронно-дырочного перехода; односторонняя шлифовка кремниевой пластины на шлифовальном станке с целью удаления диффузионного слоя с одной стороны; одностороннее химическое никелирование кремниевой пластины с последующим вжиганием при 1200 С в течение 10 лшн на воздухе для получения хорошего активного контакта с базовои областью элемента; химическое никелирование кремниевой пластины и вжигание при 800 10 мин в атмосфере водорода с целью получения хороших омических контактов; обслуживание припоем отникелированных поверхностей пластинки и припайка токоотво10 дящих электродов в виде молибденовых дисков, покрытых оловом; снятие фаски на специальном приспособлении для предотвращения возможного закорачивания электронно-дырочного перехода;

15 травление в кипящей щелочи без каких-либо защитных покрытий с целью упрощения очистки области электронно-дырочного перехода от загрязнений; сборка выпрямительного элемента в корпус.

20 Следует отметить, что такая технология не ограничивает размеры получаемых выпрямительны.; элементов. Можно изготовлять выпрямительные элементы площадью от несколькиx квадратных миллиметров до максимального

2э размера, ограниченного сечением монокристалла кремния.

При изготовлении предлагаемым методом вентилей полностью исключен сплавной метод.

Это позволяет, помимо устранения недостат30 ков сплавной технологии, полностью избежать

232392

Предмет изобретения

Состаи гель О. Федюхина

Тскред Л. Я. Левина Корректор Л. Б. Бадылама

Редактор E. Мельникова

Заказ 794/4 1прагк 500 Подписное

4НИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, 5К-35. Раушская наги, д,. 4/5

Типогра(ранг, tlt) Сант IIOI3 1, 2 возникновения каких-либо механических напряжений в выпрямленном элементе, неизбежных при сплавной технологии. Диффузионный вентиль представляет собой механически весьма прочную конструкцию.

Существенным преимуществом предлагаемой технологии является возможность унификации производства всех классов силовых вентилей на заводе, начиная с вентилей на токи в несколько ампер и кончая токами до сотен ампер, получая при этом большой выход высоковольтных вентилей.

1. Способ изготовления BbIcoKQBQJIbTHblx кремниевых силовых вентилей, основанный на диффузии примеси в кремний, отличагощийся тем, что, с целью упрощения процесса изготовления вентилей и повышения величины пх пробивного напряжения, на низкоомный кремний напыляют слой борного ангидрида и проводят диффузию бора в поверхностный слой кремния в атмосфере воздуха.

2. Способ по п. 1, or,ãè÷àIoùèéñÿ тем, что, с целью упрощения очистки р-и-перехода с по10 верхности кремния от загрязнений, с поверхности кремниевой пластины снимают наклонную фаску и травят пластину в кипящей щелочи.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, 15 с целью упрощения конструкции вентиля и сокращения его габаритов, внутреннюю втулку стеклоизолятора вентиля используют для размещения гибкого вывода.