Источник фильтрованной плазмы вакуумной дуги

Источник фильтрованной плазмы вакуумной дуги

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Изобретение относится к ионно-плазменной обработке материалов и, в частности, к источникам фильтрованной плазмы вакуумной дуги, применяемых для такой обработки.

Вакуумно-дуговые методы осаждения покрытия и поверхностного модифицирования материалов в последние десятилетия получили широкое признание в производстве инструментов, в машиностроении и приборостроении. Основные преимущества этих процессов обусловлены возможностью формирования с их помощью многочисленных видов покрытий и поверхностных слоев, в том числе и таких, которые не могут быть получены никаким другим известным способом. Сущность и области применения вакуумно-дуговых методов формирования покрытий и поверхностного модифицирования материалов изложены в работах: «Principles and Applications of Vacuum Arc Coatings» by R.L.Boxman, IEEE Trans, on Plasma Sci., Vol.17, No 5, October 1980; "Metal Plasma Immersion Ion Implantation and Deposition: a review" by A.Anders, Surface and Coating Technology, 93 (1997) p.158-167.

Однако присутствие макрочастиц катодного материала в плазме вакуумной дуги ухудшает качество обрабатываемой поверхности и синтезируемых покрытий. Это препятствует более широкому применению рассматриваемых технологий. Прежде всего это касается таких областей, как микроэлектроника, оптика, точная механика, медицина (хирургический инструментарий, протезирование). Проблемы, связанные с физикой процессов генерирования и переноса макрочастиц, а также с методами подавления потоков макрочастиц на пути их следования от катода до обрабатываемой поверхности, рассмотрены в работе "Macropaticle contamination in cathodic arc coating: generation, transport and control" by R.L.Boxman and S.Goldsmith, Surface and Coating Technology, 52 (1992) p.39-50.

Наиболее эффективная очистка плазмы, генерируемой катодным пятном вакуумной дуги, достигается с помощью магнитных фильтров. Действие этих фильтров основано на пространственном разделении траекторий заряженных компонентов плазмы (ионов) и траекторий макрочастиц. Между подложкой (обрабатываемым объектом) и катодом плазменного генератора, эмитирующим плазменные потоки с макрочастицами, размещают некое препятствие, устраняющее прямую видимость между катодом и подложкой. Таким препятствием могут служить, например, специальный экран или стенки изогнутого трубчатого плазмовода. В такой системе ионы, используемые для обработки подложки, с помощью электромагнитных полей направляются в обход препятствия на выход системы и далее к подложке, а тяжелые слабозаряженные макрочастицы и нейтральные атомы на магнитные и электрические поля не реагируют и, двигаясь по прямолинейным траекториям, перехватываются упомянутым экраном или стенками плазмовода.

Известен источник вакуумно-дуговой плазмы, содержащий цилиндрический или конический катод с рабочей торцевой поверхностью, испаряемой катодным пятном дуги, трубчатый цилиндрический анод, катодную катушку, которая охватывает катод и служит для создания магнитного поля, удерживающего катодного пятно на рабочем торце катода, а также анодный соленоид, охватывающий анод и служащий для магнитной фокусировки плазменного потока, эмитируемого катодным пятном [I.I.Axenov (Aksenov) et al., US Patent No. 4551221, 1985]. В этом источнике, вследствие того, что практически вся ионная компонента направляется фокусирующим магнитным полем на выход источника, а макрочастицы, двигаясь преимущественно в радиальном направлении, перехватываются стенками анода, концентрация макрочастиц в выходном потоке плазмы значительно снижена в сравнении с плазменными источниками, не имеющими фокусирующего соленоида.

Более эффективное подавление потока макрочастиц достигается в устройстве, в котором на оси трубчатого анода или плазмовода размещен экран, который перехватывает ту часть потока макрочастиц, которая движется вдоль устройства к его выходу [I.I.Axenov (Aksenov) et al., US Patent No. 1176599, 1984]. Однако коэффициент пропускания полезной (ионной) компоненты плазмы в таком устройстве невелик вследствие больших потерь ионов на упомянутом экране.

Наиболее широкое распространение в производственной практике получили вакуумно-дуговые источники фильтрованной плазмы, в которых очистка эрозионной плазмы от макрочастиц осуществляется при прохождении ее вдоль криволинейного плазмовода [I.I.Aksenov et al., "Transport of plasma stream in a curvilinear plasma-optics system", Soviet Jornal of Plasma Physics, 4 (4), 1978, p 425-428]. Заряженные частицы - электроны и ионы - в таких устройствах транспортируются вдоль плазмовода магнитным полем катушек, размещенных равномерно по длине плазмовода, а тяжелые слабозаряженные макрочастицы на магнитные и электрические поля не реагируют и, двигаясь по инерции по прямым траекториям, неизбежно сталкиваются со стенками плазмоведущего канала. Вследствие того, что значительное количество макрочастиц при столкновении со стенкой не прилипает к ней и не полностью теряет свою кинетическую энергию даже после нескольких таких столкновений, заметная часть макрочастиц попадает на выход из плазмовода и на подложку. Количество таких рикошетирующих макрочастиц на выходе плазмовода существенно уменьшается, если на стенках плазмовода размещены перехватывающие экраны, например, в виде системы плоских ребер. Система таких экранов служит ловушкой микрочастиц.

Эффективность очистки плазмы от макрочастиц криволинейным магнитным фильтром может быть повышена путем удлинения плазмоведущего канала, уменьшения его ширины и/или увеличением суммарного угла изгиба этого канала [Xu Shi et al., "Filtered Cathodic Arc Source", Int. Application No. PCT/GB/00389, Int. Pub. No. WO 96/26531; S.Anders et al., "S-shaped Magnetic Macroparticle Filter for Cathodic Arc Deposition", Proc. XVIIth Int. Symp.on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum, Berkely, California, July 21-26, 1996, p.904]. Но при этом непременно возрастают потери ионной компоненты плазмы, ее поток на выходе сильно ослабевает, производительность системы снижается, а сложность и, соответственно, стоимость ее возрастает. В результате, возможность применения таких систем в производственной практике весьма ограничены.

Попытки повысить эффективность фильтров с криволинейными плазмоводами и упростить их конструкцию минимизацией длины и угла изгиба плазмоведущего канала при относительно большой площади поперечного сечения [V.I.Gorokhovsky, US Patent No. 5435900, 1995], а также путем применения простейшей магнитной системы в виде двух соленоидальных катушек, охватывающих соответственно два прямых трубчатых плазмовода, состыкованных под 45° один к другому [S.Falabella et al., US Patent No. 5279723, 1994], к желаемому результату не привели. Значительное конструктивное упрощение системы не сопровождается адекватным повышением ее эффективности. Это обусловлено тем, что упрощение магнитной системы ухудшает транспортирующие качества магнитного поля, в котором появляются участки с большими продольными и поперечными градиентами (магнитные «зеркала»), что затрудняет прохождение плазмы вдоль такого поля. Другим серьезным негативным последствием упомянутых упрощений является снижение фильтрующих качеств упрощенных систем.

Известен также вакуумно-дуговой источник плазмы, в котором содержатся цилиндрический катод с торцевой рабочей поверхностью, коаксиальный с катодом трубчатый анод, электроизолированный от анода плазмовод, образующий совместно с анодом криволинейный изогнутый под 45° плазмоведущий канал, и электромагнитные катушки, охватывающие катод, анод и плазмовод и размещенные вдоль всего плазмоведущего канала [P.J.Martin et al., US Patent No. 5433836, 1995]. Небольшой угол изгиба при равномерно распределенном вдоль канала магнитном поле обусловливает удовлетворительную эффективность прохождения ионной компоненты плазмы через фильтрующий канал: выходной ионный поток составляет 2,5 А при токе дуги 100 А. Дальнейшее повышение эффективности ограничивается потерями ионов на стенках вследствие смещения плазменного потока в результате центробежного и градиентного дрейфов. Этим явлением непременно сопровождается прохождение плазмы вдоль криволинейного магнитного поля. Таким образом, основная часть потерь плазмы приходится на криволинейную часть плазмоведущего канала.

Частичная компенсация негативного влияния упомянутых дрейфов на прохождение плазмы вдоль фильтрующего плазмовода достигается применением в фильтре электроизолированных дополнительных электродов в виде пластин, размещаемых внутри плазмовода, с подачей на них положительного напряжения смещения от индивидуального источника питания [V.I.Gorokhovsky, U.S. Patent Application No. U.S. 2002/0007796 A1, 2002]. Однако эти меры не обеспечивают кардинального решения проблемы, но усложняют фильтрующую систему, сводя на нет прежние попытки ее упростить.

Кроме того, ни один из известных источников фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы не обеспечивает возможности формирования потока плазмы сложного состава с равномерным распределением концентрации компонентов по сечению путем смешения потоков, эмитируемых одновременно двумя и более генераторами. В известных устройствах [U.S. Patent Application No. U.S. 2002/0007796 A1, 2002] транспортировка плазмы от двух источников с разными материалами испаряемых катодов осуществляется в одном плазмоводе двумя параллельными путями, смещенными относительно друг друга в пространстве. Вследствие этого распределение концентрации катодных материалов по сечению суммарного плазменного потока и, следовательно, по поверхности подложки - различно (неоднородно).

Наиболее близким к заявляемому изобретению является источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы для осаждения тонких пленок по патенту США Jong-kuk Kim et al., No. US 6026763 A, C23C 14/34, 22.02.2000. Некоторое повышение эффективности магнитного плазменного фильтра в этом источнике достигается применением дополнительной электромагнитной катушки, размещаемой в области изгиба плазмовода фильтра с его выпуклой стороны. Однако проблема устранения или снижения дрейфовых потерь плазмы, в значительной мере определяющих эффективность фильтра, в источнике по упомянутому патенту также не решена.

Настоящее изобретение позволяет обеспечить решение нескольких проблем, идентифицированных в обсуждениях известных источников фильтрованной плазмы катодной дуги. Достижение улучшенной эффективности плазменного фильтра по выходному ионному току - частный аспект изобретения.

Краткое описание изобретения

Настоящее изобретение обеспечивает ионно-плазменную обработку материалов и, в частности, улучшенный источник фильтрованной плазмы вакуумной дуги для такой обработки.

Задачей изобретения является создание источника с высоким качеством фильтрованной плазмы вакуумной дуги.

Другой задачей изобретения является создание источника с высоким качеством фильтрованной плазмы вакуумной дуги, в котором плазменный фильтр работает с улучшенной эффективностью транспортировки ионов.

Еще одной задачей изобретения является создание источника фильтрованной плазмы, имеющий низкие плазменные потери при фильтрации.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, имеющего более низкие плазменные потери дрейфа, чем другие источники, использующие тороидальные фильтры с поворотом на девяносто градусов.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, включающего ловушку для макрочастиц.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, более полезной для осаждения качественных покрытий: износостойких, антифрикционных, стойких к коррозии, стойких к эрозии, оптических, декоративных, электропроводящих и электроизоляционных.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, пригодного к применению для поверхностной модификации материалов путем облучения потоками электронов, металлических и газовых ионов.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, имеющего существенное уменьшение плазменных потерь дрейфа в криволинейной части плазмовода.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, имеющего высокую степень фильтрования плазмы от макрочастиц, поступающих с поверхности катода.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, обеспечивающего формирование плазменных потоков сложного состава с равномерным распределением соотношения компонент, генерируемых несколькими вакуумно-дуговыми генераторами плазмы с катодами из различных материалов.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, имеющего первую и вторую корректирующие катушки, охватывающие плазмовод.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, который также применяется, например, для поверхностной модификации материалов, электронного нагрева, ионной очистки, поверхностного насыщения путем ионной имплантации погружением в плазму.

Задачей изобретения является также создание источника фильтрованной плазмы, который является пригодным к применению в лабораторных и промышленных условиях.

Дополнительные задачи и признаки изобретения будут поняты из последующего описания, предмета изобретения и сопровождающих чертежей.

Эти и другие задачи изобретения решаются тем, что источник очищенной плазмы вакуумной дуги включает комбинации, состоящие из:

катодно-дугового источника электронов, ионов и других частиц, генерируемых дугой;

входного элемента плазмовода, расположенного коаксиально с катодом вакуумно-дуговым источником электронов, ионов и других частиц, генерируемых катодной дугой;

первой электрической магнитной катушки, расположенной на входе плазмовода, окружающей упомянутый входной элемент плазмовода и питаемой от регулируемого источника постоянного тока;

выходного элемента плазмовода, расположенного перпендикулярно входной части упомянутого плазмовода с катодно-дуговым источником электронов и ионов и упомянутой первой электрической магнитной катушкой плазмовода;

выходной электрической магнитной катушки, окружающей упомянутый выходной элемент плазмовода и питаемой источником постоянного тока с регулируемой величиной тока;

второй входной электрической магнитной катушки, окружающей входной элемент упомянутого плазмовода в местоположении поворота плазменного потока с противоположной стороны упомянутого выходного элемента плазмовода и питаемой источником регулируемой величины постоянного тока;

первая седловидная корректирующая магнитная катушка, расположенная вокруг входного элемента упомянутого плазмовода в месте поворота плазменного потока и продолжающаяся на выходной элемент упомянутого плазмовода и частично окружающая упомянутый выходной элемент плазмовода, смежный упомянутому входному элементу плазмовода;

вторая седловидная корректирующая магнитная катушка, расположенная вокруг упомянутого входного элемента плазмовода в месте поворота плазменного потока и продолжающаяся на выходной элемент упомянутого плазмовода и частично окружающая упомянутый выходной элемент плазмовода, смежный упомянутому входному элементу плазмовода.

Краткое описание чертежей

Вышеупомянутые задачи и преимущества изобретения станут более очевидными, при описании предпочтительных его воплощений с приложенными чертежами, на которых:

Фиг.1 представляет собой схематический чертеж источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы, соответствующего настоящему изобретению, с одним генератором плазмы и двумя включенными встречно катушками, выполняющими функции устройства для регулировки магнитного поля.

Фиг.2 представляет собой трехмерное изображение заявляемого источника плазмы на фиг.1.

На Фиг.3 показано распределение магнитных силовых линий в плазмоведущем канале источника плазмы известного типа с L-образным плазмоводом.

На Фиг.4 показано распределение магнитных силовых линий в плазмоведущем канале заявляемого источника плазмы в исполнении, схематически изображенном на Фиг.1.

Фиг.5 иллюстрирует размещение дополнительной магнитной катушки 24 напротив выходного плазмовода заявляемого источника плазмы на фиг.1.

Фиг.6а иллюстрирует распределение магнитных силовых линий в плазмоводе заявляемого источника плазмы (фиг.1), с использованием (фиг.5) дополнительной магнитной катушки 24, двух входных магнитных катушек 14 и 15 и двух корректирующих магнитных катушек 17 и 18, включенных в соответствии с первым вариантом устройства.

Фиг.6b показывает распределение магнитных линий в плазмоводе заявляемого источника плазмы (фиг.1) с использованием двух входных магнитных катушек 14 и 15 и двух корректирующих магнитных катушек 17 и 18, включенных согласно в соответствии со вторым вариантом устройства.

Фиг.6с показывает распределение магнитных линий в плазмоведущем канале заявляемого источника плазмы (фиг.1), когда возбуждены только две корректирующие магнитные катушки 17 и 18.

Фиг.6d показывает распределение магнитных линий в канале заявляемого источника плазмы (фиг.1), когда только дополнительная магнитная катушка 24 возбуждена.

Фиг.6е показывает распределение магнитных линий в канале заявляемого источника плазмы (фиг.1), когда дополнительная магнитная катушка 24 и две корректирующие магнитные катушки 17 и 18 возбуждены.

Фиг.6f показывает распределение магнитных линий в канале заявляемого источника плазмы (фиг.1), когда все магнитные катушки (фиг.1) за исключением катушек 17, 18 и 24 возбуждены.

Фиг.6g показывает распределение магнитных линий в канале заявляемого источника плазмы (фиг.1), когда все магнитные катушки за исключением катушек 17, 18 и 24 возбуждены и ток возбуждения магнитной катушки 15 вдвое больше, чем в случае фиг.6f.

Фиг.7а показывает размещение щели входного плазмовода и часть экрана аппарата (фиг.1) в боковой проекции.

Фиг.7b показывает фиг.7а, вид сверху.

Фиг.7с представляет собой трехмерное изображение фиг.7а с разрезом и экраном в области щели.

Фиг.8 показывает схематическое изображение источника плазмы (фиг.1) с двумя плазменными генераторами.

Фиг.9а представляет собой схематический чертеж заявляемого источника плазмы (фиг.1) со вторым плазмоводом для формирования двух потоков плазмы.

Фиг.9b показывает аппарат по фиг.9а со вторым входом генератора плазмы.

Фиг.9с показывает аппарат по фиг.9а с подсоединенным к нему вторым источником фильтрованной плазмы.

Фиг.10 показывает плазменный источник по фиг.1 со вторым источником фильтрованной плазмы, используемым как плазменный генератор.

Фиг.11 представляет собой схематическое изображение варианта заявляемого источника с четырьмя генераторами фильтрованной плазмы и общим плазмоводом.

Фиг.12 показывает влияние магнитной катушки 24 на ионный ток в заявляемом источнике плазмы по Фиг.1.

Фиг.13 показывает влияние корректирующих магнитных катушек 17 и 18 на ионный ток заявляемого источника плазмы по Фиг.1.

Фиг.14 показывает влияние положительного потенциала плазмовода на ионный ток на выходе аппарата по Фиг.1.

Подробное описание

Далее настоящее изобретение описывается словесно, в основном без ссылок. За первичным словесным описанием следует более детальное описание со ссылками на чертежи.

В настоящем изобретении источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы содержит генератор плазмы, включающий в себя расходуемый катод с испаряемой рабочей поверхностью, которая под воздействием катодного пятна вакуумной дуги испускает поток плазмы катодного материала; трубчатый анод, размещенный напротив рабочей поверхности катода; катодную и анодную катушки, охватывающие катод и анод соответственно. В источник входят также прямолинейные трубчатые плазмоводы, образующие криволинейный плазмоведущий канал, имеющий, по крайней мере, одно выходное отверстие и исключающий прямую видимость между этим отверстием и катодом генератора. Электропитание вакуумной дуги и катушек осуществляется от независимых источников питания. Плазмоведущий канал служит для транспортировки плазмы от генератора плазмы до упомянутого выходного отверстия и размещаемой напротив него подложки, а также для поглощения макрочастиц, испускаемых катодом наряду с ионами, электронами и нейтральными атомами катодного материала. В состав плазменного фильтра входят также магнитные катушки, охватывающие упомянутые плазмоводы и служащие для создания магнитного поля, направляющего ионы и электроны плазмы вдоль плазмоведущего канала к подложке.

В соответствии с изобретением, к выходу генератора плазмы пристыкован входной плазмовод, к которому предпочтительно под прямым углом пристыкован выходной плазмовод. При этом полости плазмоводов соединены между собой проемом в стенке входного плазмовода, а место стыка делит входной плазмовод на две части: первую, обращенную к аноду генератора плазмы, и вторую, служащую ловушкой макрочастиц и размещенную с противоположной стороны стыка. Первая часть входного плазмовода и выходной плазмовод образуют плазмоведущий канал для транспортировки плазмы от генератора плазмы к выходному отверстию в этом канале и к подложке, размещаемой напротив выходного отверстия.

На первой и второй частях входного плазмовода размещены, соответственно, первая и вторая входные катушки, а на выходном плазмоводе размещена выходная катушка. Выходная катушка подключена к источнику питания так, что ток в его витках создает в выходном плазмоводе магнитное поле, силовые линии которого являются продолжением силовых линий поля первой входной катушки. Между первой и второй входными катушками размещены катушки корректировки магнитного поля. Катушки корректировки расположены предпочтительно в непосредственной близости друг от друга, и их части на выходной стороне плазмовода отогнуты назад, чтобы охватить плазмовод по его периметру. Эти корректирующие магнитные катушки подключены к источникам питания таким способом, что направление магнитного поля катушки 17 совпадает с направлением поля катушки 14, а направление поля катушки 18 совпадает с направлением поля катушки 15.

Дополнительным элементом средства корректировки магнитного поля является дополнительная катушка, размещенная у входного плазмовода предпочтительно соосно с выходной катушкой. Размеры поперечного сечения дополнительной катушки - не меньше диаметра входного плазмовода и не больше его длины. Необходимую напряженность магнитных полей, создаваемых корректирующими катушками и дополнительной катушкой, предпочтительно определять экспериментальным путем. Экспериментально определяются также количество витков в катушках и токи в них, необходимые для обеспечения требуемых полей. Основной функцией упомянутых катушек является корректировка магнитных полей в фильтре для получения максимального потока ионов на его выходе.

Настоящее изобретение предусматривает вариант исполнения источника вакуумно-дуговой плазмы, в котором катушки подключены к источнику питания так, что направление токов в витках первой входной катушки и первой корректирующей катушки противоположно направлению токов в витках второй входной катушки и второй корректирующей катушки. В таком варианте источника плазмы на стыке плазмоводов имеется область с минимумом напряженности магнитного поля. Магнитные силовые линии, подходя к этой области с двух противоположных сторон, расходятся здесь подобно вееру, образуя узкую кольцевую магнитную щель, расширяющуюся со стороны выходного плазмовода. Плазма, поступающая в область с данной конфигурацией магнитных полей, покидает ее через это расширение. Остальная, более узкая часть щели и осевой канал в сторону второй секции входного плазмовода отражают плазму наподобие магнитных зеркал. Потери плазмы, обусловленные утечкой ее через эти «зеркала», в значительной мере компенсируются отсутствием дрейфовых (градиентных и центробежных) потерь в данной системе. Более низкая энергия ионов в выходном потоке плазмы является преимуществом этого варианта заявляемого источника в случаях, когда источник используется для обработки материалов, имеющих низкий порог энергии модификации, например, при нанесении покрытий на термочувствительные материалы.

С целью повышения эффективности прохождения ионов плазмы через плазмоведущий канал заявляемого источника в торце второй секции входного плазмовода целесообразно разместить изолированный электрод, например, в виде пластины, перекрывающей центральную часть торца плазмовода. Отрицательный плавающий потенциал электрода представляет собой барьер, затрудняющий утечку электронов из плазмоведущей системы. Это способствует увеличению пространственного заряда электронов, повышению плотности ионов в плазмоведущем канале и более эффективному их прохождению к выходному отверстию системы.

Для обеспечения возможности формирования потока фильтрованной плазмы, содержащей ионы двух различных материалов, и повышения интенсивности выходного потока плазмы в заявляемом источнике плазмы к торцу второй части входного плазмовода может быть пристыкован второй генератор плазмы. В зависимости от конкретной технологической задачи катоды генераторов плазмы могут быть выполнены из одного и того же материала, или из разных материалов. При формировании потока двухкомпонентной плазмы соотношение между концентрациями компонентов плазмы определяется соотношением разрядных токов в генераторах плазмы. Равномерное распределение относительной концентрации каждой составляющей потока плазмы на выходе системы определяется интенсивным перемешиванием первичных потоков, встречающихся в области минимума магнитного поля, упомянутого выше.

С целью повышения эффективности прохождения плазмы через фильтрующий плазмоведущий канал заявляемого источника плазмы в любом из рассмотренных выше исполнений, в стенке входного плазмовода между первой и второй его частями имеется поперечная щель, закрытая изолированным от плазмовода экраном. Положение этой щели совпадает с положением магнитной щели в структуре полей, создаваемых первой и второй входными катушками. Отрицательный плавающий потенциал электрода способствует увеличению пространственного заряда электронов, повышению плотности ионов в плазмоведущем канале и более эффективному их прохождению к выходному отверстию системы.

Настоящее изобретение предусматривает также вариант источника фильтрованной плазмы в любом из рассмотренных выше исполнений, в котором содержится дополнительная катушка, размещенная у упомянутого входного плазмовода напротив выходного плазмовода соосно с последним. Указанная катушка подключена к источнику питания так, что создаваемое ею магнитное поле направлено против поля, создаваемого выходной катушкой. При этом достигается симметрирование структуры магнитного поля между встречно включенными входными катушками за счет усиления его напряженности в магнитной щели напротив выходной магнитной катушки и смещения области минимума поля к центру системы. В свою очередь это снижает потери плазмы за счет ухода ее на заднюю стенку входного плазмовода (напротив выходного плазмовода) и, следовательно, повышает эффективность транспортировки плазмы к выходу системы. Положительный эффект дополнительной катушки достигается при размерах ее апертуры не менее диаметра входного плазмовода и не более его длины.

Еще одно исполнение источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы отличается тем, что фильтр источника содержит дополнительный плазмовод, пристыкованный к входному плазмоводу напротив выходного плазмовода соосно с последним. При этом сегменты упомянутых первой и второй катушек со стороны дополнительного плазмовода отогнуты в противоположные стороны ортогонально плазмоводу, так что каждый из них огибает дополнительный плазмовод по его периметру. Дополнительный плазмовод снабжен дополнительной катушкой, которая подключена к источнику питания так, что создаваемое им магнитное поле направлено против поля, создаваемого выходной магнитной катушкой. В рассматриваемом исполнении заявляемый источник обеспечивает возможность формирования двух потоков фильтрованной плазмы, направленных в противоположные стороны. Для обеспечения возможности формирования потока фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы сложного, например, двухкомпонентного состава к упомянутому дополнительному плазмоводу, согласно изобретению, пристыковывается источник фильтрованной плазмы в одном из рассмотренных выше исполнений.

Согласно изобретению еще одно исполнение источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы с одним или двумя генераторами плазмы, пристыкованными соответственно к одному или обоим торцам входного плазмовода, отличается тем, что в нем в качестве упомянутых генераторов плазмы использованы любые из рассмотренных выше исполнений источника фильтрованной плазмы. В таком исполнении заявляемое изобретение сочетает следующие преимущества: возможность формировать фильтрованные потоки вакуумно-дуговой плазмы, содержащей несколько компонентов; повышенную степень очистки (фильтрации) формируемого потока от макрочастиц; однородное распределение соотношения концентраций входящих в состав плазмы компонент по сечению формируемого потока; повышенная интенсивность формируемого потока фильтрованной плазмы.

Учитывая, что несколько вариантов устройств, соответствующих изобретению, в общем уже описаны, считаем, что теперь можно перейти к более подробному описанию изобретения.

В соответствии с изобретением изображенный на Фиг.1 источник фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы содержит генератор плазмы 1 и плазменный фильтр 2. Генератор плазмы 1 включает в себя цилиндрический расходуемый катод 3 с испаряемой торцевой поверхностью 3′ (в дальнейшем - рабочая поверхность), трубчатый анод 4, размещенный напротив рабочей поверхности 3′ катода 3, а также катодную 5 и анодную 6 катушки, охватывающие катод 3 и анод 4 соответственно. К выходному торцу 7 анода 4 через изолятор 32 изолированными болтами 33 пристыкован входной плазмовод 8, к которому пристыкован выходной плазмовод 9.

Полости плазмоводов соединены между собой проемом 10 в стенке входного плазмовода 8. Проем 10 служит как входной проем плазмовода 9. Место стыка плазмоводов делит входной плазмовод 8 на две части: первую часть 11, обращенную к аноду 4, и вторую часть 12 - с противоположной стороны стыка. Первая часть 11 входного плазмовода и выходной плазмовод 9 образуют плазмоведущий канал с выходным отверстием 13, напротив которого обычно размещается подложка 34 - обрабатываемый объект. На первой 11 и второй 12 частях входного плазмовода 8 размещены первая 14 и вторая 15 магнитные катушки соответственно. На выходном плазмоводе 9 размещена выходная магнитная катушка 16. Между первой 14 и второй 15 входными катушками размещено средство регулировки магнитного поля, выполненное в виде первой 17 и второй 18 катушек и размещенных почти вплотную друг к другу так, что каждая охватывает входной плазмовод, принимая форму, которую мы называем «седлообразной».

Сегменты первой и второй корректирующих магнитных катушек 17 и 18, охватывающие по периметру плазмовод 9, отогнуты назад в противоположные стороны (17′ и 18′) и обычно располагаются ортогонально к плазмоводу 9. Сегменты 17′ и 18′, можно сказать, дополняют магнитные катушки 17 и 18 с подобной «седлу» конфигурацией, что в результате придает катушкам сложную изогнутую форму, которая возможно лучше всего изображена на Фиг.2. У противоположного входного конца плазмовода 8, закрытого крышкой 19, находится электрод 20, который электрически изолирован от плазмовода 8 и предпочтительно подключен к отрицательному выводу источника напряжения 37. Типичный диапазон напряжений источника 37 - от 5 до 40 Вольт. Выходной фланец 13 плазмовода связан с вакуумной камерой 39 с размещенной в ней подложкой 34. Размеры (длина и диаметры) анода 4 и плазмоводов 8 и 9 выбраны так, чтобы исключить прямую видимость между рабочей поверхностью 3′ катода 3 и выходным отверстием 13 плазмоведущего канала. Плазмоводы 8 и 9 соединены герметично с анодом 4 и вакуумной камерой 39 соответственно через изоляторы, которые на Фиг.1 не показаны. На стенках плазмоводов 8 и 9 размещены поперечные пластины (ребра) 21, предназначенные для подавления рикошетирования макрочастиц от стенок плазмоводов. При необходимости фильтр 2 может быть снабжен удлиняющей секцией 9а выходного плазмовода с магнитной катушкой 16а. Удлиняющая секция 9а полезна, когда выход плазмовода с большого расстояния должен быть приближен к вакуумной камере 39 и подложке 34 или введен внутрь вакуумной камеры 39.

Взаимное расположение основных составных частей описанного источника фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы дополнительно поясняется трехмерным изображением его внешнего вида, представленным на Фиг.2. Из этого чертежа, в частности, становится более понятной форма катушек 17 и 18. Вид корректирующих катушек 17 и 18 и примыкающих к ним центральных частей источника дополнительно поясняется также на фиг.7с. На фиг.2 и 7 и на других чертежах данного документа каждой части дан тот же самый идентификационный номер. Дополнительная удлиняющая секция 9а на трехмерном изображении не показана.

Изображенный на Фиг.1 источник фильтрованной плазмы вакуумной дуги работает следующим образом. При заданном вакууме в камере (в диапазоне от 10^-4 до 10 Па) и при включенных источниках питания дуги и магнитных катушек 35 и 38 с помощью поджигающего устройства (не показанный) зажигают дуговой разряд между катодом 3 и анодом 4. При этом на рабочей поверхности катода 3' возникает хаотично перемещающееся катодное пятно, удерживаемое на поверхности магнитным полем магнитной катушки 5. Катодное пятно испускает плазменный поток, который распространяется в полость анода 4. Здесь, в присутствии магнитного поля, создаваемого магнитной катушкой 6, плазма фокусируется и направляется к плазмоводам 8 и 9. Типичные значения тока катодной дуги лежат в диапазоне от 50 до 200 Ампер, при напряжении от 25 до 50 Вольт. Значительная энергия рассеивается на поверхностях катода 3′ и анода 4. Практически эта тепловая энергия предпочтительно отводится, например, водяным охлаждением. Система такого охлаждения хорошо известна в литературе и поэтому в интересах простоты и ясности здесь она на фиг.1 и других чертежах не показана.

Теоретический принцип действия

Транспортировка плазмы от катода 2 до выходного торца 13 (Фиг.1) обеспечивается следующим образом. С помощью катушек, охватывающих анод и плазмоводы, в плазмоведущем канале создается магнитное поле, напряженность которого выбирают так, чтобы выполнялось условие ρ_е<<α<ρ_i (ρ_е и ρ_i - ларморовские радиусы электронов и ионов соответственно, α - радиус плазмоведущего канала).

Понятие ларморовского радиуса и движение по спирали заряженных частиц, включая электроны и ионы, в магнитном поле известны в науке и описаны, например, в "Физическом Энциклопедическом Словаре", М., "Советская Энциклопедия", 1984, стр.352-536 и в Английском руководстве Д.Роуза и М.Кларка "Плазма и управляемый термоядерный синтез", изданном совместно Технологическим Институтом Штата Массачусетс и издательством Джона Уилей с сыновьями, Нью-Йорк - Лондон. В этом ларморовском движении частица перемещается по магнитной силовой линии с продольным компонентом скорости V_II, вращаясь одновременно вокруг магнитной линии с ларморовской частотой w. Для электронов и ионов, соответственно, эти частоты следующие:

w_e=eB/m_e и w_e=ZeB/m_i.

Радиусы круговых оборотов по спирали, Ларморовские радиусы, для электронов и ионов, соответственно, равны

ρ_е=m_eV_e⊥/eB и ρ_i=m_iV_e⊥/Ze_iB

Здесь е - заряд электрона, Z - кратность заряда иона, m_е и m_i - масса электрона и масса иона, V_e⊥ и V_i⊥ - поперечные скорости электрона и иона, В - индукция магнитного поля, создаваемого магнитными катушками в предлагаемом изобретении.

В данном изобретении магнитное поле отвечает условиям ρ_e<<α<ρ_i

или

При выполнении условия (1) движение электронов полностью контролируется магнитным полем. В таком случае говорят, что электроны замагничены. С другой стороны, напряженность магнитного поля соответствует неравенству (2). Это означает, что магнитное поле такой ин