Полупроводниковое устройство
Иллюстрации
Показать всеРеферат
О Л И С А Н И Е 243676
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства ¹
Заявлено 15.1Х.1967 (№ 1184032/26-25) с присоединением заявки №
Приоритет 16.XI.1966
Опубликовано 05.V.1969, Бюллетень № 16
Дата опубликования опчсания 18. IX.1969
Кл. 21g, 11/02
МПК Н 011
УДК 621.382(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Иностранец
Дитрих Армгарт (Германская Демократическая Республика) Заявитель
ПОЛУПРОВОДНИКОВОЕ УСТРОЙСТВО
Предмет изобретения
Изобретение относится к полупроводниковым приборам, в особенности к активным и пассивным структурным элементам в микроминиатюрных полупроводниковых функциональных блоках.
Известные полупроводниковые устройства со слоями различной проводимости не выдерживают больших пробивных напряжений из-за того, что р — n-переходы искривлены вблизи места выхода на поверхность.
С целью повышения надежности полупроводниковых устройств в интегральном микроминиатюрном исполнении, в предлагаемом устройстве критические р — и-переходы выполнены перпендикулярно к изоляционному слою, В полупроводниковой пластине делают односторонние углубления, осаждают тонкий непроводящий слой, прерываемый в зоне активных структурных элементов, с последующим наращиванием высоколегированного полупроводникового слоя, который отделяют по крайней мере в тех местах, где нет активного элементаа.
Полупроводниковое устройство изображено на чертеже.
Оно содержит непроводящий слой 1 ЯОг, контактные площадки 2, высоколегированный
5 полупроводниковый слой 8, толстый непроводящий слой 4 и поликристаллический кремниевый слой б.
B такой конструкции критические р — и-пе10 реходы расположены перпендикулярно к изоляционному слою SION, что позволяет повысить их пробивное напряжение. Таким образом могут быть изготовлены как триодные, так и четырехслойные структуры.
Полупроводниковое устройство со слоями
20 различной проводимости, отличающееся тем, что, с целью повышения пробивного напряжения переходов, критические р — n-переходы выполнены перпендикулярно к изоляционному слою.
243076
Составитель О. Б. Федюкина
Редактор Б. Б. Федотов Техред А. А. Камышникова Корректор А. С. Колабин
Заказ 2379/11 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2