Способ и устройство для изготовления герметизированной панели и способ и устройство для изготовления плазменной дисплейной панели

Способ и устройство для изготовления герметизированной панели и способ и устройство для изготовления плазменной дисплейной панели

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Область техники

Данное изобретение относится к способу и устройству для изготовления герметизированной панели и способу и устройству для изготовления плазменной дисплейной панели.

Притязания на приоритет утверждаются заявкой на патент Японии №2007-153291, зарегистрированной 8 июня 2007 г., содержание которой включено в данный документ посредством ссылки.

Известный уровень техники

Обычно плазменные дисплейные панели (на которые ниже делается ссылка как на «PDP») широко применяются в области устройств отображения информации, и в последнее время имеется потребность в плазменных дисплейных панелях с большим экраном, которые обладают высокими характеристиками при низкой стоимости.

Плазменные дисплейные панели формируют наслаиванием лицевой подложки и тыльной подложки одной на другую посредством герметизирующего материала, при этом в герметизированном пространстве внутри них размещается газ для электрического разряда. Обычно для плазменных дисплейных панелей используется трехэлектродный метод создания поверхностного разряда, при этом поддерживающие электроды и сканирующие электроды сформированы на лицевой подложке, а адресные электроды сформированы на тыльной подложке. Когда между сканирующими электродами и адресными электродами подается напряжение, с тем чтобы генерировать электрический разряд, герметизированный газ для электрического разряда преобразуется в плазму, и создается ультрафиолетовое излучение. Люминофоры, которые нанесены на тыльную подложку, возбуждаются ультрафиолетовым излучением, в результате чего создается излучение в видимой области спектра.

Способ изготовления плазменных дисплейных панелей включает стадию нанесения покрытия, на которой герметизирующий материал наносят на периферийную кромку тыльной подложки, и стадию герметизации, на которой наслаивают одну на другую и герметизируют лицевую подложку и тыльную подложку. На стадии нанесения покрытия из герметизирующего материала герметик, преобразованный в клейкую форму, наносят на тыльную подложку. Поэтому используется герметизирующий материал, с которым смешано связующее вещество, которое изготовлено из растворителя и компонента смолы. Кроме того, после нанесения герметизирующего материала выполняется стадия сушки (например, при температуре 120°C в течение от 10 до 20 минут), чтобы удалить растворитель, и также выполняется стадия предварительного обжига (например, см. непатентный документ 1), чтобы удалить компонент смолы. На стадии предварительного обжига тыльную подложку, которая была подвергнута обработке на стадии сушки, первоначально нагревают на воздухе или в атмосфере кислорода от температуры 120°C до 320°C при скорости увеличения температуры от 5°C до 10°C в минуту. Затем тыльную подложку нагревают от температуры 320°C до 380°C при скорости увеличения температуры 4°C в минуту. Тыльную подложку затем поддерживают при температуре 380°C в течение 10 минут. После этого тыльную подложку охлаждают до комнатной температуры при скорости снижения температуры от 5°C до 50°C в минуту. Следует заметить, что нагревание выполняется плавным образом, чтобы гарантировать разложение и сгорание связующего.

[Непатентный документ 1] “Encyclopedia of Flat Panel Displays” («Энциклопедия дисплеев с плоскими панелями»), Tatsuo Uchida et. al., Декабрь 2001, стр.752-754, 868-869.

Описание изобретения

Проблемы, подлежащие разрешению посредством данного изобретения

Однако трудно полностью удалить компонент смолы из связующего, которое содержится в герметизирующем материале, просто лишь выполнением вышеописанного предварительного обжига. Компонент смолы, который остается в герметизирующем материале, преобразуется в примесный газ, когда две подложки объединяются и взаимно герметизируются, и загрязняет внутреннее пространство панели. Загрязнение, вызванное компонентом смолы, является одним из факторов, обусловливающих необходимость очистки (т.е. сушки) внутреннего пространства панели нагреванием и вакуумированием (т.е. посредством вакуумной сушки) в течение нескольких часов во время стадии герметизации. Это является также фактором, обусловливающим необходимость приложения переменного напряжения к герметизированной панели для создания разряда и выполнения старения (т.е. предварительной обработки) в течение времени от нескольких часов до нескольких десятков часов, чтобы снизить напряжение разряда панели и стабилизировать характеристики разряда панели (см., например, непатентный документ 1). Таким образом, предотвращение того, что какой-либо компонент смолы остается в связующем в герметизирующем материале, является значительной проблемой для повышения производительности процесса изготовления плазменных дисплейных панелей и улучшения эффективности использования энергии.

Данное изобретение было создано для того, чтобы разрешить вышеуказанную проблему, и его целью является предоставление способа и устройства для изготовления герметизированной панели и также способа и устройства для изготовления герметизированной панели, которые делают возможным повышение производительности и эффективности использования энергии.

Средство для разрешения проблемы

Для достижения указанной выше цели данное изобретение использует следующее. В частности, способ изготовления герметизированной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением включает: стадию плавления герметизирующего материала, который не содержит связующего, чтобы получить герметизирующий материал в виде клея; стадию нанесения покрытия из расплавленного герметизирующего материала на поверхность второй подложки; и стадию герметизации с наслаиванием одной на другую первой подложки и второй подложки посредством герметизирующего материала, нанесенного на поверхность второй подложки.

В соответствии с описанным выше способом изготовления герметизированной панели, посредством плавления герметизирующего материала, который не содержит связующего, возможно нанесение герметизирующего материала на поверхность второй подложки. Кроме того, поскольку используется герметизирующий материал, который не содержит связующего, то возможно значительное уменьшение количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала. В результате возможно существенное уменьшение времени, требующегося, чтобы очистить (т.е. высушить) внутреннее пространство панели на стадии герметизации, или полное устранение необходимости в очистке (т.е. в сушке). Кроме того, также возможно существенное уменьшение времени, требующегося для старения (т.е. предварительной обработки) после стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в стадии старения. Кроме того, отсутствует необходимость в стадии удаления связующего, такой как та, что требуется в случае обычной технологии. Соответственно, возможно повышение производительности и эффективности использования энергии при производстве плазменных дисплейных панелей.

Это может быть достигнуто тем, что герметизирующий материал содержит стекло с низкой температурой плавления.

В этом случае возможно уменьшение количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала. Кроме того, нанесение герметизирующего материала и герметизация могут быть выполнены при сравнительно низкой температуре. В дополнение к этому, могут быть обеспечены герметичность и когезионная прочность после герметизации.

Герметизирующий материал может также содержать стекло с низкой температурой плавления и наполнитель.

В этом случае, поскольку коэффициент термического расширения герметизирующего материала становится близок к коэффициентам термического расширения первой подложки и второй подложки, могут быть обеспечены герметичность и когезионная прочность после герметизации.

Способ может также включать стадию удаления газа, содержащегося в расплавленном герметизирующем материале.

В этом случае поскольку газ, имеющийся внутри нанесенного герметизирующего материала, удаляется из него, то возможно дополнительное уменьшение количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала.

При этом способ изготовления плазменной дисплейной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением включает: стадию плавления герметизирующего материала, который не содержит связующего, чтобы получить герметизирующий материал в виде клея; стадию обжига люминофоров, нанесенных на вторую подложку; стадию нанесения покрытия из расплавленного герметизирующего материала на поверхность второй подложки; и стадию герметизации с наслаиванием одной на другую первой подложки и второй подложки посредством герметизирующего материала, нанесенного на поверхность второй подложки, при этом температура второй подложки поддерживается при 100°C или выше от стадии обжига на протяжении стадии нанесения покрытия из герметизирующего материала.

В соответствии с описанным выше способом изготовления плазменной дисплейной панели, поскольку применяется герметизирующий материал, который не содержит связующего, расплавленный герметизирующий материал может быть нанесен на поверхность второй подложки. В этом случае также возможно использование на стадии нанесения покрытия тепловой энергии, переданной второй подложке на стадии обжига. В результате возможно снижение расхода энергии.

Вторая подложка может также поддерживаться в вакууме или в контролируемой атмосфере от стадии обжига на протяжении стадии герметизации.

В этом случае поскольку используется герметизирующий материал, который не содержит связующего, то отсутствует необходимость в выполнении стадии сушки и стадии обжига на воздухе для удаления связующего. Вследствие этого возможны передача второй подложки на стадию герметизации, после того как люминофоры были обожжены, при поддержании ее в вакууме или в контролируемой атмосфере и тем самым предотвращение адсорбции какого-либо примесного газа на второй подложке. В результате возможно существенное уменьшение времени, требующегося, чтобы очистить (т.е. высушить) внутреннее пространство панели на стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в такой очистке (т.е. в сушке). Кроме того, также возможно существенное уменьшение времени, требующегося для старения (т.е. предварительной обработки) после стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в стадии старения. Соответственно, возможно повышение производительности и эффективности использования энергии при производстве плазменных дисплейных панелей.

Кроме того, другой способ изготовления плазменной дисплейной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением включает: стадию формирования пленки для формирования защитной пленки на первой подложке при размере, соответствующем первой подложке; стадию плавления герметизирующего материала, который не содержит связующего, чтобы получить герметизирующий материал в виде клея; стадию обжига, на которой обжигаются люминофоры, нанесенные на вторую подложку; стадию нанесения покрытия из расплавленного герметизирующего материала на поверхность второй подложки; и стадию герметизации, на которой наслаивают одну на другую несколько пар из первой подложки и второй подложки параллельным образом посредством герметизирующего материала, нанесенного на поверхность каждой из вторых подложек, при этом температура вторых подложек поддерживается при 100°C или выше от стадии обжига на протяжении стадии нанесения покрытия из герметизирующего материала.

В соответствии с описанным выше способом изготовления плазменной дисплейной панели, поскольку время обработки на стадии формирования пленки обычно меньше времени обработки на стадии герметизации, возможно повышение производительности производства плазменных дисплейных панелей.

Процесс может быть организован таким образом, что на стадии герметизации, когда изготавливается несколько плазменных дисплейных панелей, имеющих взаимно разные размеры, первые подложки и вторые подложки, которые соответствуют размерам соответствующих плазменных дисплейных панелей, наслаиваются одна на другую.

В этом случае возможно изготовление эффективным образом панелей разных размеров.

При этом устройство для изготовления герметизированной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением содержит: камеру для нанесения покрытия из герметизирующего материала, в которой герметизирующий материал, который не содержит связующего для образования герметизирующего материала в виде клея, наносится на поверхность второй подложки в вакууме или в контролируемой атмосфере; узел для нанесения покрытия из герметизирующего материала, который установлен в камере для нанесения покрытия из герметизирующего материала и наносит герметизирующий материал, размещенный внутри узла для нанесения покрытия из герметизирующего материала, на поверхность второй подложки; нагреватель, который установлен в узле для нанесения покрытия из герметизирующего материала и плавит размещенный внутри него герметизирующий материал; и герметизирующую камеру, в которой первая подложка и вторая подложка наслаиваются одна на другую посредством герметизирующего материала.

В соответствии с описанным выше способом изготовления герметизированной панели, хотя применяется герметизирующий материал, который не содержит связующего, возможно плавление герметизирующего материала внутри узла для нанесения покрытия из герметизирующего материала и последующее нанесение герметизирующего материала на поверхность второй подложки. Кроме того, посредством использования герметизирующего материала, который не содержит связующего, возможно значительное уменьшение количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала. В результате возможно существенное уменьшение времени, требующегося, чтобы очистить (т.е. высушить) внутреннее пространство панели на стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в такой очистке (т.е. в сушке). Кроме того, также возможно существенное уменьшение времени, требующегося для старения (т.е. предварительной обработки) после стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в этой стадии старения. Кроме того, отсутствует необходимость в стадии удаления связующего, такой как та, что требуется в случае обычной технологии. Соответственно, возможно повышение производительности и эффективности использования энергии при производстве плазменных дисплейных панелей.

Устройство для изготовления плазменной дисплейной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением содержит: обжиговую камеру, в которой обжигаются люминофоры, нанесенный на вторую подложку; камеру для нанесения покрытия из герметизирующего материала, в которой герметизирующий материал, который не содержит связующего для образования герметизирующего материала в виде клея, наносится на поверхность обожженной второй подложки в вакууме или в контролируемой атмосфере; узел для нанесения покрытия из герметизирующего материала, который установлен в камере для нанесения покрытия из герметизирующего материала и наносит герметизирующий материал, размещенный внутри узла для нанесения покрытия из герметизирующего материала, на поверхность второй подложки; нагреватель, который установлен в узле для нанесения покрытия из герметизирующего материала и плавит размещенный внутри него герметизирующий материал; и герметизирующую камеру, в которой первая подложка и вторая подложка наслаиваются одна на другую посредством герметизирующего материала, при этом вторая подложка перемещается из обжиговой камеры через камеру для нанесения покрытия из герметизирующего материала при поддержании ее температуры при 100°C или выше.

В соответствии с описанным выше устройством для изготовления плазменной дисплейной панели возможно использование тепловой энергии, переданной второй подложке в обжиговой камере, в камере для нанесения покрытия из герметизирующего материала. В результате возможно снижение расхода энергии.

Вторая подложка может также перемещаться из обжиговой камеры через герметизирующую камеру при поддержании в вакууме или в контролируемой атмосфере.

В этом случае поскольку используется герметизирующий материал, который не содержит связующего, то отсутствует необходимость в выполнении стадии сушки и стадии обжига на воздухе для удаления связующего на воздухе. Вследствие этого возможны передача второй подложки на стадию герметизации, после того как люминофоры были обожжены, при поддержании ее в вакууме или в контролируемой атмосфере и тем самым предотвращение адсорбции какого-либо примесного газа на второй подложке. В результате возможно существенное уменьшение времени, требующегося, чтобы очистить (т.е. высушить) внутреннее пространство панели на стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в такой очистке (т.е. в сушке). Кроме того, также возможно существенное уменьшение времени, требующегося для старения (т.е. предварительной обработки) после стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в этой стадии старения. Соответственно, возможно повышение производительности и эффективности использования энергии при производстве плазменных дисплейных панелей.

Кроме того, другое устройство для изготовления плазменной дисплейной панели, имеющей первую подложку и вторую подложку, в соответствии с данным изобретением содержит: камеру для формирования пленки, в которой защитная пленка формируется на первой подложке; обжиговую камеру, в которой обжигаются люминофоры, нанесенные на вторую подложку; камеру для нанесения покрытия из герметизирующего материала, в которой герметизирующий материал, который не содержит связующего для образования герметизирующего материала в виде клея, наносится на поверхность обожженной второй подложки в вакууме или в контролируемой атмосфере; узел для нанесения покрытия из герметизирующего материала, который установлен в камере для нанесения покрытия из герметизирующего материала и наносит герметизирующий материал, размещенный внутри узла для нанесения покрытия из герметизирующего материала, на поверхность второй подложки; нагреватель, который установлен в узле для нанесения покрытия из герметизирующего материала и плавит размещенный внутри него герметизирующий материал; и несколько герметизирующих камер, которые соединены с камерой для формирования пленки и в которых первая подложка и вторая подложка наслаиваются одна на другую посредством герметизирующего материала, при этом вторые подложки перемещаются из обжиговой камеры через камеру для нанесения покрытия из герметизирующего материала при поддержании их температуры при 100°C или выше.

В соответствии с описанным выше устройством для изготовления плазменной дисплейной панели, поскольку время обработки в камере для формирования пленки обычно меньше времени обработки в герметизирующей камере, возможно повышение производительности производства плазменных дисплейных панелей.

Процесс может быть организован таким образом, что в нескольких герметизирующих камерах, когда изготавливается несколько плазменных дисплейных панелей, имеющих взаимно разные размеры, первые подложки и вторые подложки, которые соответствуют размерам соответствующих плазменных дисплейных панелей, наслаиваются одна на другую.

В этом случае возможно изготовление эффективным образом панелей разных размеров.

Преимущества данного изобретения

В соответствии с данным изобретением посредством плавления герметизирующего материала, который не содержит связующего, возможно нанесение герметизирующего материала на поверхность второй подложки. Кроме того, поскольку используется герметизирующий материал, который не содержит связующего, то возможно значительное уменьшение количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала. В результате возможно существенное уменьшение времени, требующегося, чтобы очистить (т.е. высушить) внутреннее пространство панели на стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в такой очистке (т.е. в сушке). Кроме того, также возможно существенное уменьшение времени, требующегося для старения (т.е. предварительной обработки) после стадии герметизации, или даже полное устранение необходимости в этой стадии старения. Кроме того, отсутствует необходимость в стадии удаления связующего, такой как та, что требуется в случае обычной технологии. Соответственно, возможно повышение производительности и эффективности использования энергии при производстве плазменных дисплейных панелей.

Краткое описание чертежей

Фиг.1 представляет собой перспективное изображение с пространственным разделением деталей, иллюстрирующее трехэлектродную плазменную дисплейную панель переменного тока.

Фиг.2A представляет собой вид сверху плазменной дисплейной панели.

Фиг.2B представляет собой вид поперечного сечения вдоль линии A-A на Фиг.2A.

Фиг.3 представляет собой блок-схему способа изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии с первым вариантом осуществления данного изобретения.

Фиг.4 представляет собой структурную схему, иллюстрирующую устройство для изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии с первым вариантом осуществления.

Фиг.5 представляет собой перспективное изображение, иллюстрирующее внутреннюю структуру камеры для нанесения покрытия из герметизирующего материала.

Фиг.6 является графиком, представляющим результаты измерений количества газа, высвобождающегося из герметизирующего материала, при использовании способа десорбции с программированием температуры.

Фиг.7 является графиком, представляющим результаты испытания на старение.

Фиг.8 представляет собой структурную схему, иллюстрирующую устройство для изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии со вторым вариантом осуществления.

Фиг.9 представляет собой структурную схему, иллюстрирующую устройство для изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии с модификацией примера второго варианта осуществления.

Описание цифровых обозначений

1 Лицевая подложка (Первая подложка)

2 Тыльная подложка (Вторая подложка)

17 Люминофор

20 Герметизирующий материал

30 Раздаточный узел (Узел для нанесения покрытия из герметизирующего материала)

34 Нагреватель

64 Камера для формирования пленки

72 Обжиговая камера

78 Камера для нанесения покрытия из герметизирующего материала

82 Герметизирующая камера

100 Плазменная дисплейная панель (Герметизированная панель)

Предпочтительный вариант осуществления данного изобретения

Теперь будут описаны варианты осуществления данного изобретения со ссылками на чертежи. Следует заметить, что на соответствующих чертежах, на которые делается ссылка в представленном ниже описании, масштаб соответствующих компонентов адекватно изменен, с тем чтобы они отображались легко распознаваемым образом. Кроме того, в представленном ниже описании «внутренняя сторона» подложки должна быть поверхностью, обращенной к другой подложке.

Плазменная дисплейная панель

Фиг.1 представляет собой перспективное изображение с пространственным разделением деталей трехэлектродной плазменной дисплейной панели переменного тока. Плазменная дисплейная панель (на которую далее делается ссылка как на «PDP») 100 содержит тыльную подложку 2 и лицевую подложку 1, которые расположены таким образом, что обращены одна к другой, и множество камер 16 для электрического разряда образовано между подложками 1 и 2.

Дисплейные электроды 12 (т.е. сканирующие электроды 12a и поддерживающие электроды 12b) сформированы в виде полосчатого рисунка при заданных интервалах на внутренней стороне лицевой подложки 1. Дисплейные электроды 12 сформированы из прозрачного электропроводного материала, такого как оксид индия-олова (ITO), и электродов в виде шины. Диэлектрический слой 13 сформирован таким образом, чтобы покрывать дисплейные электроды 12, и защитная пленка 14 сформирована таким образом, чтобы покрывать диэлектрический слой 13. Защитная пленка 14 предохраняет диэлектрический слой 13 от положительных ионов, которые образуются вследствие конверсии разрядного газа в плазму, и сформирована оксидом щелочноземельного металла, таким как MgO и SrO.

В противоположность этому, адресные электроды 11 сформированы в виде полосчатого рисунка при заданных интервалах на внутренней стороне тыльной подложки 2. Адресные электроды 11 расположены таким образом, что они перпендикулярны дисплейным электродам 12. Точки пересечения адресных электродов 11 и дисплейных электродов 12 образуют пиксели плазменной дисплейной панели 100.

Диэлектрический слой 19 сформирован таким образом, что покрывает адресные электроды 11. В дополнение к этому, разделительные перегородки (т.е. ребра) 15 сформированы параллельно адресным электродам 11 на верхней стороне диэлектрического слоя 19 между соответствующими соседними адресными электродами 11. Кроме того, люминофоры 17 размещены на верхней стороне диэлектрического слоя 19 между соответствующими соседними разделительными перегородками 15 и на боковых сторонах разделительных перегородок 15. Люминофоры 17 эмитируют какое-либо одно, красное, зеленое или синее, излучение.

Фиг.2A представляет собой вид сверху плазменной дисплейной панели. Лицевая подложка 1 и тыльная подложка 2, описанные выше, наслоены одна на другую посредством герметизирующего материала 20, который размещен на участках периферийных кромок внутренних сторон подложек.

Фиг.2B представляет собой вид поперечного сечения вдоль линии A-A на Фиг.2A. Как показано на Фиг.2B, в результате того, что лицевая подложка 1 и тыльная подложка 2 наслоены одна на другую, между соответствующими соседними разделительными перегородками 15 образованы камеры 16 для электрического разряда. Внутри камер 16 для электрического разряда герметизирован газ для электрического разряда, такой как смесь газообразных Ne и Xe.

Посредством приложения постоянного напряжения между адресными электродами 11 и сканирующими электродами 12a плазменной дисплейной панели 100, генерируется противоразряд. Кроме того, посредством приложения переменного напряжения между сканирующими электродами 12a и поддерживающими электродами 12b, генерируется поверхностный разряд. В результате из газа для электрического разряда, герметизированного внутри камеры 16 для электрического разряда, образуется плазма, и эмитируется вакуумное ультрафиолетовое излучение. Люминофоры 17 возбуждаются ультрафиолетовым излучением, и тем самым эмитируется излучение в видимой области спектра от лицевой подложки 1.

Герметизирующий материал

В качестве описанного выше герметизирующего материала 20 необходимо применять материал, который имеет величину коэффициента термического расширения, близкую к его величине для стеклянных подложек, образующих лицевую подложку 1 и тыльную подложку 2, который обладает достаточной текучестью при температуре герметизации и который не размягчается при температуре эмиссии газа/температуре обжига. Также для данного материала необходимо, чтобы он мог поддерживать герметичность внутреннего пространства панели после герметизации и обеспечивать силу адгезии панели, однако чтобы при этом он не высвобождал примесный газ. В качестве такого материала подходит стекло с низкой температурой плавления. Конкретным примером такого стекла с низкой температурой плавления является некристаллическое стекло (т.е. аморфное стекло) на базе PbO·B₂O₃, имеющее температуру плавления примерно 400°C.

Кроме того, чтобы иметь величину коэффициента термического расширения герметизирующего материала 20, близкую к его величине для стеклянной подложки, и достаточную текучесть при температуре герметизации, желательно смешивать со стеклом с низкой температурой плавления наполнитель. Примером такого наполнителя являются керамические порошковые материалы, такие как оксид алюминия или т.п.

Следует заметить, что может быть использовано стекло, которое имеет еще более низкую температуру плавления (например, стекло на базе оксидов олова и фосфора), чтобы смягчить влияние разности между коэффициентом термического расширения герметизирующего материала 20 и коэффициентом термического расширения стеклянной подложки. Более того, также может быть использовано кристаллическое стекло с коэффициентом термического расширения, близким к коэффициенту термического расширения стеклянной подложки (например, с коэффициентом термического расширения 85×10^-7/K), даже если его температура плавления выше, чем у стекла с низкой температурой плавления. Кроме того, желательно улучшение смачиваемости подложки стеклом с низкой температурой плавления для того, чтобы повысить его текучесть при температуре герметизации.

Следует заметить, что в случае обычной технологии с герметизирующим материалом смешивают связующее, чтобы получить герметизирующий материал в виде клея. Связующее образовано растворителем и компонентом смолы. Растворитель используется, чтобы получить герметик в виде клея, и представляет собой α-терпинеол или т.п. Компонент смолы используется, чтобы диспергировать твердые частицы в клее, и представляет собой этилцеллюлозу, нитроцеллюлозу, акриловую смолу или т.п. Необходимо полное удаление связующего после нанесения герметизирующего материала.

Этот вид связующего не смешивается с герметизирующим материалом 20 в данном варианте осуществления изобретения.

Способ изготовления плазменной дисплейной панели и устройство для ее изготовления

Фиг.3 представляет собой блок-схему, иллюстрирующую способ изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии с первым вариантом осуществления данного изобретения. Способ изготовления плазменной дисплейной панели в общих чертах разделяется на две стадии, а именно стадию изготовления панели (S50) и стадию установки модуля (S52). Стадия изготовления панели (S50) разделяется на стадию формирования лицевой подложки (S60), стадию формирования тыльной подложки (S70) и стадию формирования панели (S80).

На стадии формирования лицевой подложки (S60) первоначально формируют (S62) прозрачные электроды, используемые в качестве дисплейных электродов 12. А именно прозрачную электропроводную пленку, например, из оксида индия-олова (ITO) или SnO₂ или т.п. формируют напылением или другим способом и затем формируют рисунок, с тем чтобы образовать дисплейные электроды 12. Затем, чтобы уменьшить электрическое сопротивление дисплейных электродов 12, которые сформированы из прозрачной электропроводной пленки, вспомогательные электроды (т.е. электроды в виде шины) формируют из металлического материала напылением или другим способом (S63). Затем печатным способом или иным образом формируют диэлектрический слой 13 толщиной от 20 до 40 мкм, чтобы защитить соответствующие электроды и чтобы сформировать заряд на стенке, и затем обжигают его (S64). Затем, чтобы защитить диэлектрический слой 13 и улучшить эффективность эмиссии вторичных электронов, формируют защитную пленку 14 толщиной от 700 до 1200 нм способом с электронно-лучевым испарением (S66).

Фиг.4 представляет собой структурную схему, иллюстрирующую устройство для изготовления плазменной дисплейной панели в соответствии с первым вариантом осуществления данного изобретения. В устройстве 50 для изготовления плазменной дисплейной панели задний конец линии 60 для лицевой подложки, задний конец линии 70 для тыльной подложки и передний конец линии 80 формирования панели соединены с перемещающей камерой 55. Устройство 50 для изготовления плазменной дисплейной панели непрерывным образом выполняет задачи в пределах зоны 50, которая обозначена пунктирной линией с двойными точками в способе изготовления плазменной дисплейной панели, представленном на Фиг.3, в вакууме или в контролируемой атмосфере.

Линия 60 для лицевой подложки включает загрузочную камеру (т.е. вакуумную камеру) 61, которая принимает лицевую подложку 1, непосредственно после завершения стадии формирования на ней диэлектрического слоя 13, нагревательную камеру 62, которая нагревает лицевую подложку 1 до температуры примерно от 150 до 350°C, камеру 64 для формирования пленки, которая формирует защитную пленку 14 способом с электронно-лучевым испарением, и нагревательную/буферную камеру 66, которая нагревает тыльную подложку 2 до той же самой температуры, до которой нагрета лицевая подложка 1 (примерно 380°C).

В противоположность этому, на стадии формирования тыльной подложки (S70), представленной на Фиг.3, формируются адресные электроды 11 из Ag, Cr/Cu/Cr или Al (S72). Затем формируется диэлектрический слой 19 для того, чтобы защитить адресные электроды 11 (S74). После этого формируются разделительные перегородки 15 способом с пескоструйной обработкой или другим способом для того, чтобы увеличить пространство для электрического разряда и площадь светоизлучающей поверхности люминофоров 17 (S75). Способ с пескоструйной обработкой включает нанесение на подложку стеклянной пасты, являющейся материалом для разделительных перегородок 15, сушку стеклянной пасты и последующее размещение на ней маскирующего материала, имеющего рисунок, и затем пескоструйную обработку с использованием такого шлифовального средства, как глинозем, стеклянные гранулы или т.п., таким образом, чтобы сформировать разделительные перегородки 15 заданного профиля. Затем наносят люминофоры 17 способом трафаретной печати или т.п. и затем выполняют сушку. После этого высушенные люминофоры 17 обжигают при примерно 500°C (S76). Затем на поверхность тыльной подложки 2 наносят герметизирующий материал 20 при поддержании тыльной подложки 2 в нагретом состоянии (S78).

Линия 70 для тыльной подложки включает обжиговую камеру 72, которая принимает тыльную подложку 2 с нанесенными на нее люминофорами 17 и в которой обжигается тыльная подложка 2, и камеру 78 для нанесения покрытия из герметизирующего материала 20 на поверхность тыльных подложек 2, как показано на Фиг.4. Между обжиговой камерой 72 и камерой 78 для нанесения покрытия герметизирующего материала предусмотрены тепловой туннель 74 и загрузочная камера 76 для тыльной подложки. Туннель 74 и загрузочная камера 76 для тыльной подложки перемещают тыльную подложку 2, которая обожжена в обжиговой камере 72, в камеру 78 для нанесения покрытия из герметизирующего материала при поддержании температуры подложки при 100°C или выше, так что тыльная подложка 2 может быть покрыта в камере 78 для нанесения покрытия из герметизирующего материала герметизирующим материалом 20. Соответственно, возможно использование тепловой энергии, переданной тыльным подложкам 2 в обжиговой камере 72, в камере 78 для нанесения покрытия из герметизирующего материала. В результате возможно снижение расхода энергии.

Тепловой туннель 74 представляет собой камеру для перемещения подложки, которая снабжена механизмом сохранения тепла для поддержания температуры тыльной подложки 2 после обжига. Следует заметить, что вместо теплового туннеля 74 возможно перемещение тыльной подложки при использовании контейнера в виде накопителя. Кроме того, тепловой туннель 74 может быть снабжен выпускной системой для отделения от атмосферы. В загрузочной камере 76 для тыльной подложки вакуумирование выполняется при поддержании температуры тыльной подложки 2 после обжига при 100°C или выше. Следует заметить, что тыльная подложка 2 может быть нагрета в загрузочной камере 76 для тыльной подложки.

Камера для нанесения покрытия из герметизирующего материала, устройство для нанесения покрытия из герметизирующего материала и способ нанесения

Фиг.5 представляет собой перспективное изображение, иллюстрирующее внутреннюю структуру камеры для нанесения покрытия из герметизирующего материала. В нижней части камеры 78 для нанесения покрытия из герметизирующего материала располо