УЛВАК, ИНК. (JP)

Использование: в области изготовления микроэлектромеханических систем и микроэлектронных устройств. Техническим результатом изобретения является достижение высокой селективности травления при использовании маски и получение анизотропного профиля и большой глубины травления. Сущность изобретения: установка травления содержит плазмогенерирующие средства для генерирования плазмы в вакуумной камере, и...

Изобретение относится к устройству для образования пленки и может найти применение в различных отраслях машиностроения. В камере (2) для образования пленки, давление в которой регулируется, во время вращения вращающегося барабана (7) с приводом от приводного двигателя (8) образуется пленка на верхней поверхности подложки (12). Подложка размещена на лотке (13) и удерживается в нем держателем (10)...

Изобретение относится к устройству плазмохимического осаждения из паровой фазы намоточного типа для образования слоя покрытия на пленке. Пленка (22) поддерживается между парой подвижных барабанов, расположенных на стороне входа и стороне выхода участка осаждения (25) по отношению к направлению перемещения пленки (22). Затем пленку (22) заставляют перемещаться линейно в место осаждения. Расстояни...

Изобретение относится к вакуумному затвору для отделения камеры осаждения и части электронной пушки вакуумного устройства и может найти применение при производстве полупроводников, тонких пленок, жидких кристаллов и других изделий с тонкопленочными покрытиями. Корпус затвора (2) имеет отверстия, каждое из которых выполнено в боковых стенках, обращенных друг к другу. Затвор содержит задвижку (3)...

Изобретение относится к способу и аппарату магнетронного распыления и позволяет значительно уменьшить аномальный разряд на поверхности мишени и неразмытые области, вызывающие отложение материала мишени. Несколько мишеней (8А, 8В, 8С, 8D) располагаются в вакууме так, чтобы быть электрически не зависимыми друг от друга, и распыление проводится путем создания магнетронного разряда вблизи мишеней (8...

Изобретение относится к медицине. Описано применение Ni-Ti сплава для биоматериала, способ предотвращения коррозии, характеризующийся биологической совместимостью. Этот способ является применяемым для биоматериалов способом предотвращения коррозии металлической подложки, в котором на металлической подложке формируют слой полиимидного покрытия полимеризацией в сконденсированном из паров слое. 3 н...

Изобретение относится к органическим дисплеям. Сущность изобретения: в органическом электролюминесцентном дисплее, содержащем органическое электролюминесцентное устройство, которое имеет первый и второй электроды дисплея и по меньшей мере один органический функциональный слой, проложенный между электродами дисплея и состоящий из органического соединения; основу для удержания органического электро...

Настоящее изобретение относится к герметичной панели и способу производства плазменной индикаторной панели. Технический результат - предоставление герметичной панели, способной подавлять повышение напряжения разряда, и способа производства плазменной индикаторной панели. Достигается тем, что предлагается герметичная панель (100), которая может подавить повышение напряжения разряда. Герметичная па...

Настоящее изобретение относится к отображающим устройствам, а более конкретно к способу предотвращения попадания газообразных примесей в плазменную отображающую панель. Плазменная отображающая панель содержит светоизлучающую область 15, окруженную герметично уплотненной деталью 17, включающей в себя металлическую пленку, плотно приклеенную к первой и второй панелям 20 и 30, уплотнительную деталь...

Изобретение относится к технической области плоского устройства отображения, а именно к устройству отображения, использующему неорганический люминесцентный слой. Техническим результатом является управление TFT (тонкопленочными транзисторами) с использованием неорганического ЭЛ элемента, который испускает свет при низком напряжении. Устройство отображения содержит подложку; пиксельный электрод, ра...

Изобретение относится к способу и устройству нанесения покрытия, способ изготовления постоянного магнита типа Fe-B-редкоземельные элементы, выполненный из спеченного магнита типа Fe-B-редкоземельные элементы. Технический результат заключается в повышении производительности изготовления постоянного магнита с обеспечением его низкой стоимости. Постоянный магнит изготавливают с помощью этапа нанесен...

Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников. Технический результат - повышение стабильности и продолжительности поддерживания плазмы. Источник ионов снабжен высокочастотной антенной (16), установленной на внешней окружной стороне ограждающей стенки (15), выполненной из диэлектрического материала и ограничивающей плазменную генераторную камеру (14), и защи...

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления. Устройство содержит источник - испаритель материала напыления, электронную пушку Пирса, расположенную напротив источника-испарителя. Снаружи вакуумной камеры, с задней стороны поверхности излучения электронного пучка, за точкой испарения источника-испарителя расположен постоя...

Раскрыт способ изготовления постоянного магнита, имеющего чрезвычайно высокую коэрцитивную силу и высокие магнитные характеристики, с высокой производительностью. В частности, осуществляют: первую стадию обеспечения сцепления по меньшей мере одного из Dy и Tb с по меньшей мере частью поверхности спеченного магнита на основе железа-бора-редкоземельного элемента; и вторую стадию диффундирования по...

Изобретение относится к способам формирования защитного слоя при изготовлении плазменной индикаторной панели (PDP). При этом панель состоит из передней подложки, содержащей сканирующий электрод, поддерживающий электрод, диэлектрический слой и защитный слой, и задней подложки, содержащей адресный электрод, барьерные ребра и флуоресцентный материал, нанесенный на внутренние стенки канавок, образова...

Изобретение относится к области электротехники, в частности к способу изготовления постоянных магнитов, преимущественно на основе Nd-Fe-B, имеющих высокую степень ориентации. Сколотые поверхности кристаллов исходного молотого порошка с более одинаковым ориентационным взаимным расположением кристаллов в магнитном поле располагают собранными вместе, так что может быть обеспечен способ изготовления...

Изобретение относится к области изготовления постоянных магнитов, в частности к способу изготовления постоянного магнита с высокими магнитными свойствами, в котором Dy и/или Tb диффундируют в зернограничную фазу спеченного магнита на основе Nd-Fe-B. Предложенный способ обладает высокой производительностью при низкой стоимости и позволяет повысить магнитные свойства постоянных магнитов. Способ вкл...

Изобретение относится к способу нанесения разделителей для жидкостных устройств отображения. Способ нанесения разделителей заключается в том, что повторно выбрасывают жидкость выброса, содержащую разделители, через множество отверстий сопел, предусмотренных в головке выброса, путем подачи напряжения на пьезоэлектрические элементы в головке выброса, наносят жидкость выброса на множество позиций вы...

Изобретение относится к конвейерным устройствам для перемещения пленочной основы при вакуумной обработке, в частности вакуумном осаждении, с последовательным разматыванием и сматыванием пленочной основы. Устройство (10) содержит разматывающий (12) и сматывающий (14) ролики и механизм перемещения. Механизм перемещения включает направляющий узел (20), содержащий направляющий ролик (17А) и вспомогат...

Изобретение относится к способу и устройству для изготовления герметизированной панели и способу и устройству для изготовления плазменной дисплейной панели. Технический результат - предоставление способа и устройства для изготовления герметизированной панели и также способа и устройства для изготовления плазменной дисплейной панели, которые делают возможным повышение производительности и эффектив...

Изобретение относится к способу и устройству для производства плазменной отображающей панели. Технический результат - обеспечение способа и устройства для производства плазменной отображающей панели, которые делают возможным достигать улучшения в пропускной способности линии производства плазменных отображающих панелей и их энергетической эффективности. Достигается тем, что в способе производства...

Настоящее изобретение относится к способу нанесения декоративных покрытий и касается ламинирования декоративной металлической пленки на материале основы из смолы, имеющей на себе декоративную металлическую пленку. Полимерную выравнивающую пленку ламинируют на материале основы из смолы с помощью способа полимеризации осаждением и затем ламинируют декоративную металлическую пленку на выравнивающей...

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению спеченных магнитов системы РЗМ-Fe-B. Спеченный магнит семейства Fe-B-редкоземельные элементы, размещенного в рабочей камере, нагревают до заданной температуры. Металлический материал, содержащий по меньшей мере один из Dy и Тb, размещенный в упомянутой рабочей камере или испарительной камере, сообщающейся с упомянутой рабочей...

Изобретение относится к способу переработки отходов магнитов, преимущественно на основе железа-бора-редкоземельного элемента, в котором ранее спеченные магниты были уже использованы или отбракованы в процессе производства. Способ имеет следующие этапы: измельчение регенерируемых отходов магнитов на основе железо-бор-редкоземельного элемента с получением порошка из отходов; получение спеченной заг...

Изобретение относится к устройству для вакуумной обработки паром. Устройство содержит вакуумную камеру (12), выполненную с возможностью поддержания заранее определенного давления, технологический сосуд (2) и испарительный сосуд (3). Сосуды (2) и (3) установлены таким образом, чтобы они были изолированы от вакуумной камеры и сообщались друг с другом. Средство (6а, 6b) нагрева выполнено с возможнос...

Изобретение относится к устройствам для вакуумной обработки спеченных магнитов. Устройство содержит рабочую камеру, способную вакуумироваться, нагревательное средство для рабочей камеры, удерживающее средство для испаряемого металлического материала в виде объемного элемента и обрабатываемого изделия внутри рабочей камеры. При этом нагревательное средство эксплуатируется при пониженном давлении в...

Устройство для вакуумного испарения для создания атмосферы металлических паров в технологической камере и прикрепления металла из металлических паров к поверхности обрабатываемого объекта, а также прикрепления к поверхности обрабатываемого объекта по границам кристаллических зерен атомов металла за счет диффузии. Устройство содержит технологическую печь (11), по меньшей мере, один технологический...

Установка предназначена для вакуумного осаждения металлического слоя на материал основы. Установка (10) включает в себя захватывающее заряды тело (25), размещенное между охлаждающим полым роликом (14) и блоком нейтрализации (23). Захватывающее заряды тело (25) захватывает заряженные частицы из блока нейтрализации (23) к полому ролику (14). Соответственно, натекшие из блока нейтрализации (23) заря...

Использование: для управления электронной пушкой типа Пирса. Сущность заключается в том, что состояние фокусировки электронного луча выполняют постоянным посредством измерения температуры внутри электронной пушки и осуществления обратной связи температуры по скорости выпуска вакуумной системы выпуска для регулирования давления внутри электронной пушки. Технический результат: обеспечение возможнос...

Предложен постоянный магнит, который получен путем формирования пленки Dy и/или Tb на поверхности спеченного магнита, на основе железо-бор-редкоземельный элемент, с заданной конфигурацией, с последующей диффузией элементов из пленки в кристаллическую зернограничную фазу постоянного магнита. Осаждение испарившихся атомов металлов Dy и/или Tb на поверхность спеченного магнита, для их последующей ди...

Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к изготовлению спеченных постоянных магнитов системы РЗМ-Fe-B. На поверхность спеченного магнита на основе РЗМ-Fe-B со средним размером кристаллических зерен 4-8 мкм наносят материал, содержащий Dy и/или Tb и сцепленный с по меньшей мере частью поверхности спеченного магнита. Проводят термообработку с обеспечением диспергирования по мень...

Солнечный элемент содержит: подложку, обладающую оптической прозрачностью; предусмотренный на подложке фотоэлектрический преобразователь, включающий в себя передний электрод, обладающий оптической прозрачностью, слой фотоэлектрического преобразования и тыльный электрод, обладающий светоотражающей способностью; и низкопреломляющий проводящий слой, выполненный из проводящего материала, обладающего...

Способ изготовления солнечного элемента включает в себя: формирование на кремниевой подложке, проводимость которой имеет p-тип или n-тип, кремниевого слоя, включающего в себя легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости данной кремниевой подложки, и диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью термической обработки крем...

Раскрыт способ изготовления постоянного магнита с Dy или Tb, продиффундировавшими в кристаллическую зернограничную фазу спеченного магнита (S). Этот способ не содержит предварительной стадии очистки поверхности спеченного магнита перед сцеплением Dy и/или Tb с поверхностью спеченного магнита, и поэтому производительность улучшается. Получение спеченного магнита с высокими магнитными свойствами за...

Изобретение относится к обработке подложек для получения вогнуто-выпуклой структуры. Сущность изобретения: способ обработки подложек включает в себя распыление мелких частиц вместе со сжатым газом из трубки под давлением на поверхность подложки, диспергирование частиц, заряженных посредством трения с внутренней стенкой трубки под давлением, на поверхности подложки, при этом заряженные частицы при...

Изобретение относится к получению пленок из полимочевины вакуумным осаждением из паровой фазы. Технический результат - повышение прозрачности, светостойкости и массовой продуктивности пленки. Пленку получают полимеризацией при вакуумном осаждении, осуществляемой с использованием мономера ароматического алкильного или алициклического, или алифатического диизоцианата и мономера ароматического алкил...

Изобретение относится к металлургии, в частности к получению исходного материала для спеченного магнита. Устройство для литья лент содержит тигель 21 с расплавом исходного материала, устройство 23 первичного охлаждения расплава, подаваемого из тигля, и устройство 22 вторичного охлаждения литой тонкой ленты. Устройство 23 первичного охлаждения содержит охлаждающий ролик 25. Расплав подают на охлаж...

Изобретение относится к получению Аl пленки из реагирующего с водой Аl композитного материала, наносимой на детали пленкообразующей камеры устройств образования пленок. Композитный материал для получения пленки содержит алюминиевый материал с чистотой 4NAl или 5NAl, содержащий добавленный In в количестве в диапазоне от 2 до 5 мас.% и Si, включая Si в виде примеси к Аl исходному материалу, в сумма...

Изобретение относится к реагирующему с водой Al композитному материалу, к реагирующей с водой Al пленке, к способу получения данной Al пленки и составляющему элементу из реагирующей с водой Al пленки на основе пленкообразующей камеры для получения пленки из драгоценных или редких металлов. Реагирующий с водой Al композитный материал для получения пленки на основе содержит исходный Al материал чис...

Изобретение относится к способу получения реагирующей с водой алюминиевой пленки и составляющего элемента для пленкообразующей камеры, который покрыт этой алюминиевой пленкой. Расплавляют композитный материал, содержащий в качестве исходного алюминиевого материала алюминий чистотой 4N или 5N и введенный в него индий в количестве от 2 до 5% мас. в расчете на массу исходного алюминиевого материала,...

Изобретение относится к реагирующему с водой алюминиевому композитному материалу, реагирующей с водой алюминиевой пленке и способу получения данной алюминиевой пленки. Реагирующий с водой алюминиевый композитный материал для получения пленки на основе содержит исходный алюминиевый материал, выбранный из группы, состоящей из алюминиевых материалов чистотой 2N, 3N, 4N, 5N, каждый из которых содержи...

Изобретение относится к реагирующему с водой алюминиевому композитному материалу, реагирующей с водой алюминиевой пленке, способу получения данной алюминиевой пленки и составляющему элементу для пленкообразующей камеры. Реагирующий с водой алюминиевый композитный материал для получения пленки на основе содержит исходный алюминиевый материал чистотой 4N или 5N, введенный в него висмут в количестве...

Изобретение относится к способу получения реагирующей с водой алюминиевой пленки и составляющего элемента для пленкообразующей камеры. Расплавляют композитный материал, содержащий в качестве исходного алюминиевого материала алюминий чистотой 4N или 5N и индий, введенный в него в количестве от 2 до 5 мас.% в расчете на массу исходного алюминиевого материала, который равномерно диспергирован или ра...

Изобретение относится к области металлургии, в частности к плавильным печам индукционного нагревательного типа. Плавильная печь включает герметичный контейнер, содержащий атмосферу инертного газа, тигель, который помещается внутри герметичного контейнера и осуществляет плавление сырья путем индукционного нагрева, и механизм охлаждения тигля. Механизм охлаждения тигля включает трубчатую часть с вх...

Изобретение относится к устройству для вакуумной плазменной обработки гибкого обрабатываемого целевого изделия. Камера (15) способна поддерживать состояние вакуума. Первый электрод (18) в форме ролика установлен в камере (15) с возможностью вращения. Электрод (18) имеет часть, с которой гибкое обрабатываемое целевое изделие (5) находится в контакте, и часть, с которой изделие (5) не находится в...

Изобретение относится к устройству для каталитического химического осаждения из паровой фазы и может быть использовано для формирования пленки на подложке. Устройство содержит реакционную камеру, установленное в реакционной камере средство поддержки, предназначенное для поддержки подложки, подлежащей обработке, источник введения газа, предназначенный для введения в реакционную камеру исходного г...

Изобретение относится к способу производства пластины держателя для электростатического держателя приемлемой продуктивности, который лишен неудовлетворительного высвобождения полупроводниковой пластины, которая является подложкой, которая должна быть обработана, с начального момента предоставления электростатического держателя для нового использования. Способ производства пластины держателя для...

Изобретение относится к испаряющемуся материалу и способу его получения, который может быть использован при изготовлении магнитов с повышенной коэрцитивной силой. Упомянутый испаряющийся материал содержит сердцевину, выполненную из тугоплавкого металла с теплоемкостью на единицу объема по меньшей мере 2 МДж/К·м3 и имеющую сквозные отверстия. Сердцевина покрыта редкоземельным металлом или его спл...

Предложенное изобретение относится к способу производства постоянного магнита, который включает в себя: помещение металлического испаряющегося материала (v), содержащего по меньшей мере один из диспрозия и тербия, и спеченного магнита (S) в коробку для обработки; помещение этой коробки для обработки в вакуумную камеру; последующее нагревание коробки для обработки до заданной температуры в разреж...

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность. Сущность: устройство включает в себя: масс-спектрометрическую трубку (2), выполненную с возможностью обнаружения газа для поиска утечки, и турбомолекулярный насос (3). Турбомолекулярный насос (3) имеет множество ступеней роторов (33) и статоров (34), поочередно размещенных в корпусе (31), причем роторы (33) прикреплены к...