2456709 - Солнечный элемент и способ и аппарат для его изготовления

Солнечный элемент и способ и аппарат для его изготовления

Иллюстрации

Показать все

Способ изготовления солнечного элемента включает в себя: формирование на кремниевой подложке, проводимость которой имеет p-тип или n-тип, кремниевого слоя, включающего в себя легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости данной кремниевой подложки, и диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью термической обработки кремниевого слоя. При этом, когда легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевую подложку, максимальный уровень температуры нагрева больше или равен 600°С и меньше или равен 1200°С. Также предложен аппарат для изготовления солнечного элемента и второй способ изготовления солнечного элемента. Изобретение обеспечивает возможность сократить длительность времени для термической обработки, когда диффузионный слой формируется в кремниевой подложке, кроме того, возможность сократить время изготовления и устранить ряд этапов путем выполнения этапов диффузии легирующей примеси и процесса прожига верхнего электрода в одно время, и, кроме того, возможность изготовить солнечный элемент, имеющий такую же эффективность фотоэлектрического преобразования, как эффективность преобразования обычного солнечного элемента. 3 н. и 16 з.п. ф-лы, 4 ил., 2 пр.

Реферат

УРОВЕНЬ ТЕХНИКИ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Область техники, к которой относится настоящее изобретение

Настоящее изобретение касается солнечного элемента и способа и аппарата для его изготовления.

Кроме того, настоящее изобретение, в частности, касается способа изготовления солнечного элемента, аппарата для изготовления солнечного элемента и солнечного элемента, где можно сокращать время термической обработки, когда диффузионный слой формируется на кремниевой подложке, и можно изготавливать солнечный элемент, имеющий эффективность фотоэлектрического преобразования, которая равна эффективности преобразования обычного солнечного элемента.

Данная заявка заявляет приоритет от японской патентной заявки № 2008-115977, зарегистрированной 25 апреля 2008 г., содержание которой включено сюда посредством ссылки во всей своей полноте.

Уровень техники

В последние годы в отношении солнечных элементов, имеющих высокий уровень способности генерации энергии с помощью солнечного света, были достигнуты различные улучшения в связи с потребностью в чистой энергии.

В качестве солнечных элементов обычно типичными являются солнечный элемент, изготовленный с использованием материала кремниевого ряда, известный монокристаллический кремниевый солнечный элемент, использующий монокристаллический кремний, поликристаллический кремниевый солнечный элемент, использующий слой поликристаллического кремния, аморфный кремниевый солнечный элемент, использующий слой аморфного кремния, и подобные.

Монокристаллический кремниевый солнечный элемент имеет структуру, в которой, например, диффузионный слой, в котором фосфор (Р), который является примесью n-типа, диффундирует в монокристалл кремния, противоотражающую пленку, сделанную из нитрида кремния (Si₃N₄), или подобное, и верхний электрод образован на верхней стороне монокристаллической кремниевой подложки р-типа в данном порядке, кроме того, BSF слой и нижний электрод образованы на обратной стороне кремниевой подложки в данном порядке.

Текстуру для противоотражения формируют на верхней стороне монокристаллической кремниевой подложки путем травления текстуры.

Кроме того, данный диффузионный слой получается путем термической диффузии фосфора (Р) в вышеописанную верхнюю поверхность кремниевой подложки; в качестве способа диффузии фосфора (Р) может быть использован способ газовой диффузии, способ нанесения и диффузии или подобный (японская нерассмотренная патентная заявка, первая публикация № Н06-29562, и нерассмотренная патентная заявка, первая публикация № 2004-247364).

Так как примеси остаются на поверхности диффузионного слоя, поверхность диффузионного слоя промывают фтороводородной кислотой или подобным, чтобы удалить данные примеси.

Затем на этапе изготовления солнечного элемента подложку удаляют из аппарата, использованного для этапа диффузии, в атмосфере воздуха и промывают; кроме того, необходимо переносить промытую подложку в вакуумный аппарат, в котором формируют противоотражающую пленку.

Кроме того, в качестве способа формирования верхнего электрода применяется так называемый прожигающий процесс (японская нерассмотренная патентная заявка, первая публикация № Н5-259488, японская нерассмотренная патентная заявка, первая публикация № Н10-233518, и японская нерассмотренная патентная заявка, первая публикация № 2000-323735). В прожигающем процессе серебряную пасту наносят на противоотражающую пленку так, чтобы образовать заданный рисунок, серебряную пасту прокаливают, тем самым формируется серебряный электрод, и данный серебряный электрод проходит сквозь противоотражающую пленку в контакт с диффузионным слоем путем прокаливания.

Однако в обычных кремниевых солнечных элементах необходима термическая обработка в течение длительного периода времени, чтобы вызвать термическую диффузию фосфора (Р) на верхней поверхности кремниевой подложки, двукратная или более термическая обработка необходима дополнительно для формирования верхнего электрода; в результате существуют проблемы в том, что увеличиваются время изготовления, число этапов и стоимость изготовления.

Кроме того, необходимо промывать подложку после диффузии, время изготовления и чисто этапов увеличиваются, и существует проблема в том, что выход изготовленных солнечных элементов снижается.

СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Настоящее изобретение было сделано, чтобы решить вышеуказанные проблемы, и имеет целью обеспечить способ изготовления солнечного элемента, аппарат для изготовления солнечного элемента и солнечный элемент, где возможно сократить длительность времени для термической обработки, когда диффузионный слой формируется в кремниевой подложке, кроме того, возможно сократить время изготовления и устранить ряд этапов путем выполнения этапов диффузии легирующей примеси и процесса прожига верхнего электрода в одно время, кроме того, возможно изготовить солнечный элемент, имеющий такую же эффективность фотоэлектрического преобразования, как эффективность преобразования обычного солнечного элемента.

Альтернативно, настоящее изобретение имеет целью обеспечить способ изготовления солнечного элемента, аппарат для изготовления солнечного элемента и солнечный элемент, где этап промывки в атмосфере воздуха не является обязательным после этапа диффузии.

Настоящие изобретатели провели тщательное исследование солнечного элемента кремниевого ряда, и, в результате, они обнаружили следующее.

Настоящие изобретатели обнаружили, что кремниевый слой, включающий в себя легирующую примесь, образуется на кремниевой подложке, если примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке с помощью термической обработки после или одновременно с формированием кремниевого слоя, причем легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке в процессе термической обработки, и диффузионный слой может формироваться. Кроме того, можно сократить длительность времени для термической обработки, когда диффузионный слой формируется в кремниевой подложке, и полученный солнечный элемент имеет эффективность фотоэлектрического преобразования, которая равна эффективности преобразования обычного солнечного элемента. Настоящие изобретатели завершили настоящее изобретение.

Способ изготовления солнечного элемента первого аспекта настоящего изобретения включает в себя: формирование на кремниевой подложке, проводимость которой имеет р-тип или n-тип, кремниевого слоя, включающего в себя легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости данной кремниевой подложки (этап формирования кремниевого слоя); и диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью термической обработки кремниевого слоя (этап термической обработки).

Способ изготовления солнечного элемента второго аспекта настоящего изобретения включает в себя: формирование на кремниевой подложке, проводимость которой имеет р-тип или n-тип, кремниевого слоя, включающего в себя легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости данной кремниевой подложки; и диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки).

Предпочтительно, когда способ изготовления солнечного элемента первого аспекта настоящего изобретения дополнительно включает в себя: формирование противоотражающей пленки на данном кремниевом слое в состоянии, когда кремниевая подложка поддерживается в атмосфере вакуума (этап формирования противоотражающей пленки), после того, как сформирован кремниевый слой (этап формирования кремниевого слоя).

Предпочтительно, когда способ изготовления солнечного элемента первого аспекта настоящего изобретения дополнительно включает в себя: формирование противоотражающей пленки на данном кремниевом слое (этап формирования противоотражающей пленки) после того, как сформирован кремниевый слой (этап формирования кремниевого слоя); и формирование верхнего электрода на данной противоотражающей пленке (этап формирования верхнего электрода), где, когда легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевую подложку (этап термической обработки), верхний электрод является электропроводящим к данному кремниевому слою или кремниевой подложке, и легирующая примесь диффундирует в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки, в которой были сформированы кремниевый слой, противоотражающая пленка и верхний электрод.

Предпочтительно, что в способе изготовления солнечного элемента первого аспекта настоящего изобретения, когда формируют данный кремниевый слой (этап формирования кремниевого слоя), кремниевый слой, включающий в себя примесь n-типа, формируется на верхней стороне кремниевой подложки р-типа; после того, как сформирован данный кремниевый слой (этап формирования кремниевого слоя), нижний электрод, включающий в себя алюминий, формируется на обратной стороне кремниевой подложки (этап формирования нижнего электрода); и когда легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевую подложку (этап термической обработки), данная легирующая примесь диффундирует в кремниевой подложке, и часть алюминия нижнего электрода диффундирует в кремниевой подложке с помощью нагрева кремниевой подложки, в которой были сформированы кремниевый слой и нижний электрод.

Предпочтительно, что в способе изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения, когда легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке (этап термической обработки), максимальный уровень температуры нагрева больше или равен 600°С и меньше или равен 1200°С и время нагрева больше или равно 1 минуте и меньше или равно 120 минутам.

Предпочтительно, что в способе изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения, когда легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки), максимальный уровень температуры нагрева больше или равен 600°С и меньше или равен 1200°С и время нагрева больше или равно 1 минуте и меньше или равно 120 минутам.

Предпочтительно, когда способ изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения дополнительно включает в себя: взаимодействие кремниевой подложки с плазмой в вакууме (этап обработки плазмой) перед диффузией легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки); и затем диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя в состоянии, когда кремниевая подложка поддерживается в атмосфере вакуума (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки), после того, как кремниевая подложка провзаимодействовала с плазмой (этап обработки плазмой).

Предпочтительно, что в способе изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения кремниевый слой формируется с помощью способа плазменного осаждения из газовой фазы, кремниевая подложка взаимодействует с плазмой (этап обработки плазмой), и кремниевый слой формируется (этап формирования кремниевого слоя) путем применения того же аппарата плазменного осаждения из газовой фазы.

Предпочтительно, что в способе изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения кремниевый слой формируется с помощью способа плазменного осаждения из газовой фазы, кремниевая подложка взаимодействует с плазмой (этап обработки плазмой), и легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки) путем применения того же аппарата плазменного осаждения из газовой фазы.

Предпочтительно, когда способ изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения дополнительно включает в себя: формирование текстуры путем сухого травления верхней стороны кремниевой подложки в вакууме (этап травления) перед диффузией легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки); и затем диффузию легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя в состоянии, когда кремниевая подложка поддерживается в атмосфере вакуума (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки) после травления.

Предпочтительно, когда способ изготовления солнечного элемента первого и второго аспектов настоящего изобретения дополнительно включает в себя: формирование текстуры путем сухого травления верхней стороны кремниевой подложки в вакууме (этап травления) перед диффузией легирующей примеси, включенной в кремниевый слой, в кремниевую подложку с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя (этап формирования кремниевого слоя и термической обработки); и затем взаимодействие кремниевой подложки с плазмой в состоянии, когда кремниевая подложка поддерживается в атмосфере вакуума (этап обработки плазмой) после травления.

Кроме того, аппарат для изготовления солнечного элемента третьего аспекта настоящего изобретения включает в себя: устройство формирования первой пленки, формирующее кремниевый слой на подложке при подаче газа, содержащего легирующую примесь, на подложку; устройство формирования второй пленки, формирующее противоотражающую пленку на кремниевом слое; устройство формирования электрода, формирующее электрод на подложке или противоотражающей пленке; и нагревающее устройство, нагревающее подложку.

Предпочтительно, когда в аппарате для изготовления солнечного элемента третьего аспекта настоящего изобретения устройство формирования первой пленки содержит нагревающую секцию, нагревающую подложку.

Предпочтительно, когда в аппарате для изготовления солнечного элемента третьего аспекта настоящего изобретения устройство формирования первой пленки содержит секцию обработки плазмой, подвергающую подложку действию плазмы.

Предпочтительно, когда аппарат для изготовления солнечного элемента третьего аспекта настоящего изобретения дополнительно включает в себя: механизм переноса подложки, переносящий подложку в устройство формирования первой пленки, устройство формирования второй пленки, устройство формирования электрода и нагревающее устройство в данном порядке.

Кроме того, солнечный элемент четвертого аспекта настоящего изобретения включает в себя: кремниевую подложку с проводимостью р-типа или n-типа; диффузионный слой, сформированный в кремниевой подложке и смежный с верхней поверхностью кремниевой подложки, в котором диффундирует легирующая примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости кремниевой подложки; и кремниевый слой, уложенный на диффузионный слой послойно, включающий легирующую примесь.

Предпочтительно, когда в солнечном элементе четвертого аспекта настоящего изобретения концентрация легирующей примеси диффузионного слоя меньше, чем концентрация легирующей примеси кремниевого слоя.

Согласно способу изготовления солнечного элемента первого аспекта настоящего изобретения данный способ включает в себя этап формирования кремниевого слоя, где кремниевый слой, включающий легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости кремниевой подложки, формируется на кремниевой подложке с проводимостью р-типа или n-типа, и этап термической обработки, где кремниевый слой обрабатывается с помощью нагрева, и легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке; следовательно, также возможно сделать его эффективность фотоэлектрического преобразования равной эффективности преобразования обычного солнечного элемента.

Кроме того, по сравнению с обычным способом, можно формировать диффузионный слой за короткое время, следовательно, можно сократить время изготовления, устранить ряд этапов и снизить расходы на изготовление.

Согласно способу изготовления солнечного элемента второго аспекта настоящего изобретения данный способ включает в себя этап формирования кремниевого слоя и термической обработки, где кремниевый слой, включающий легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости кремниевой подложки, формируется на кремниевой подложке с проводимостью р-типа или n-типа, и легирующая примесь, включенная в кремниевый слой, диффундирует в кремниевой подложке с помощью нагрева кремниевой подложки во время формирования кремниевого слоя; следовательно, также возможно сделать его эффективность фотоэлектрического преобразования равной эффективности преобразования обычного солнечного элемента.

Согласно аппарату для изготовления солнечного элемента третьего аспекта настоящего изобретения, так как данный аппарат обеспечен: устройством формирования первой пленки, формирующим кремниевый слой на подложке при подаче газа, содержащего легирующую примесь, на подложку; устройством формирования второй пленки, формирующим противоотражающую пленку на кремниевом слое; устройством формирования электрода, формирующим электрод на подложке или противоотражающей пленке; и нагревающим устройством, нагревающим подложку, можно изготавливать солнечный элемент, имеющий эффективность фотоэлектрического преобразования, которая равна эффективности преобразования обычного солнечного элемента, за короткое время по сравнению с обычным аппаратом.

Следовательно, можно сократить время изготовления в этапе изготовления солнечного элемента, устранить ряд этапов и снизить расходы на изготовление.

Согласно солнечному элементу четвертого аспекта настоящего изобретения диффузионный слой формируется в кремниевой подложке и соседствует с верхней поверхностью кремниевой подложки, где данная подложка имеет проводимость р-типа или n-типа, где легирующая примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости кремниевой подложки, диффундирует в диффузионном слое, и кремниевый слой, включающий легирующую примесь, уложен на диффузионный слой послойно; следовательно, можно обеспечить солнечный элемент, имеющий эффективность фотоэлектрического преобразования, которая равна эффективности преобразования обычного солнечного элемента, кроме того, обеспечить недорогой солнечный элемент за короткое время по сравнению с обычным солнечным элементом.

КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ ЧЕРТЕЖЕЙ

Фиг.1 представляет собой вид в разрезе, показывающий солнечный элемент первого варианта осуществления настоящего изобретения.

Фиг.2 представляет собой схематичный вид аппарата для изготовления солнечного элемента первого варианта осуществления настоящего изобретения.

Фиг.3A-3D представляют собой вид в разрезе, показывающий способ изготовления солнечного элемента первого варианта осуществления настоящего изобретения.

Фиг.4A-4D представляют собой вид в разрезе, показывающий способ изготовления солнечного элемента второго варианта осуществления настоящего изобретения.

ОПИСАНИЕ ПРЕДПОЧТИТЕЛЬНЫХ ВАРИАНТОВ ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ

Будут описаны предпочтительные варианты осуществления, чтобы выполнить способ изготовления солнечного элемента, аппарат для изготовления солнечного элемента и солнечный элемент настоящего изобретения.

Вариант осуществления, в особенности, объясняется для надлежащего понимания объема настоящего изобретения и не ограничивает настоящее изобретение, если иное не указано особо.

Первый вариант осуществления

На фиг.1 численная позиция 1 обозначает кремниевую подложку, численная позиция 2 обозначает диффузионный слой, численная позиция 3 обозначает кремниевый слой, численная позиция 4 обозначает противоотражающую пленку, численная позиция 5 обозначает BSF слой, численная позиция 6 обозначает первые нижние электроды, численная позиция 7 обозначает второй нижний электрод и численная позиция 8 обозначает верхний электрод.

В качестве кремниевой подложки 1 любая из подложек, то есть монокристаллическая кремниевая подложка р-типа, в которой легирующая примесь р-типа, такая как бор (В), галлий (Ga), алюминий (Al), индий (In) или подобная, диффундирует в монокристаллическом кремнии, монокристаллическая кремниевая подложка n-типа, в которой легирующая примесь n-типа, такая как фосфор (Р), мышьяк (As), сурьма (Sb) или подобная, диффундирует в монокристаллическом кремнии, необязательно выбирается соответственно ее применению.

Микронерегулярная структура текстуры (не показано на фигуре) формируется на верхней стороне кремниевой подложки 1 путем травления текстуры.

В качестве кремниевой подложки 1 может быть приготовлена подложка, на которой текстура предварительно сформирована; текстура может быть сформирована на подложке путем сухого травления подложки в данном варианте осуществления.

В солнечном элементе, если применяется кремниевая подложка 1, на которой формируют текстуру, можно увеличить его эффективность фотоэлектрического преобразования.

В качестве кремниевой подложки 1 предпочтительно используют вышеуказанную монокристаллическую кремниевую подложку, а также поликристаллическую кремниевую подложку в зависимости от предполагаемого применения. Следовательно, подложка может соответствующим образом выбираться и использоваться.

В случае, когда кремниевая подложка 1 является кремниевой подложкой р-типа, слой тонкой толщины, который получается благодаря легирующей примеси n-типа, такой как фосфор (Р), мышьяк (As), сурьма (Sb) или подобной, диффундирующей вблизи верхней стороны кремниевой подложки 1, представляет собой диффузионный слой 2.

Кроме того, в случае, когда кремниевая подложка 1 является кремниевой подложкой n-типа, слой тонкой толщины, который получается благодаря легирующей примеси р-типа, такой как бор (В), галлий (Ga), алюминий (Al), индий (In) или подобной, диффундирующей вблизи верхней стороны кремниевой подложки 1, представляет собой диффузионный слой 2.

Кремниевый слой 3 представляет собой слой тонкой толщины, который образован из поликристаллического кремния, в котором часть или вся его кристаллическая структура сделана из поликристаллического кремния или аморфного кремния.

Легирующая примесь, тип проводимости которой является таким же, как тип проводимости диффузионного слоя 2, включена в кремниевый слой 3, то есть, если диффузионный слой 2 имеет n-тип, легирующая примесь n-типа, такая как фосфор (Р), мышьяк (As), сурьма (Sb) или подобная, включена в кремниевый слой 3.

Кроме того, если диффузионный слой 2 имеет р-тип, легирующая примесь р-типа, такая как бор (В), галлий (Ga), алюминий (Al), индий (In) или подобная, включена в кремниевый слой 3.

Диффузионный слой 2 представляет собой область, которая получается путем диффузии легирующей примеси, включенной в кремниевый слой 3, в верхнюю поверхность кремниевой подложки 1 с помощью термической обработки кремниевого слоя 3.

Концентрацию легирующей примеси диффузионного слоя 2 задают так, чтобы генерировать р-n-переход, который необходим для солнечного элемента.

Так как концентрацию легирующей примеси диффузионного слоя 2 задают на основании, например, величины диффузии из кремниевого слоя, данная концентрация легирующей примеси меньше, чем концентрация легирующей примеси кремниевого слоя, в котором диффузия завершилась в большинстве случаев.

Обычно концентрацию легирующей примеси формируемого кремниевого слоя 3 устанавливают выше, чем концентрация легирующей примеси, которая требуется для диффузионного слоя 2.

В случае, когда многослойные пленки, в которых пленка, имеющая высокий показатель преломления, и пленка, имеющая низкий показатель преломления, уложены послойно, их применяют в качестве противоотражающей пленки 4, например нитрид кремния (SiN_x), оксид титана (TiO₂), оксид ниобия (Nb₂O₅), фторид магния (MgF₂), оксид магния (MgO), оксид кремния (SiO₂) или подобные, имеющие показатель преломления от 1,0 до 4,0, и предпочтительно используют в качестве материалов, составляющих многослойные пленки.

В других случаях нитрид кремния (SiN_x) или оксид титана (TiO₂) предпочтительно используют в качестве пленок, когда выполняют прожигающий процесс.

BSF слой 5 представляет собой слой тонкой толщины, который образуется благодаря химическому элементу, составляющему нижний электрод, или подобному кремниевой подложки 1, диффундирующему в кремниевой подложке с помощью термической обработки.

BSF слой 5 формируют путем, например, формирования нижнего электрода, содержащего алюминий, на обратной стороне кремниевой подложки р-типа и путем диффузии алюминия в кремниевой подложке вследствие термической обработки.

Первые нижние электроды 6, второй нижний электрод 7 и верхние электроды 8 представляют собой металлические электроды, которые получают путем прокаливания пасты, содержащей электропроводящий металл, такой как серебро или алюминий.

Второй нижний электрод 7 формируют на обратной стороне кремниевой подложки 1 так, чтобы иметь рисунок в виде полосы, и обеспечивают так, чтобы пересекать центральную часть обратной стороны.

Первые нижние электроды 6 обеспечивают у обеих сторон второго нижнего электрода 7 и формируют на обратной стороне кремниевой подложки 1 так, чтобы иметь прямоугольный рисунок.

Верхние электроды 8 формируют на верхней стороне кремниевой подложки 1.

Верхние электроды 8 имеют структуру, которая сформирована вдоль продольного направления второго нижнего электрода 7, в которой выстроено множество кусков электрода (например, пятьдесят кусков электрода), сформированных в ориентации полосы.

Верхние электроды 8 соединяют с кремниевым слоем 3 или диффузионным слоем 2 с помощью прожигающего процесса.

Этап термической обработки для формирования вышеописанного диффузионного слоя 2, этап термической обработки для формирования BSF слоя 5 и этап термической обработки верхних электродов 8 с помощью прожигающего процесса могут выполняться индивидуально.

С другой стороны, если любые два из данных этапов или все данные этапы выполняются в одно время, можно сократить время изготовления, устранить ряд этапов и уменьшить число аппаратов.

Далее способ изготовления солнечного элемента согласно данному варианту осуществления будет описан со ссылкой на чертежи.

Фиг.2 представляет собой схематичный вид аппарата для изготовления солнечного элемента согласно данному варианту осуществления.

На фиг.2 численная позиция 11 обозначает устройство формирования первой пленки, формирующее кремниевый слой на подложке при подаче газа, содержащего легирующую примесь, на подложку, численная позиция 12 обозначает устройство формирования второй пленки, формирующее противоотражающую пленку на кремниевом слое, численная позиция 13 обозначает устройство формирования электрода, формирующее электрод на подложке или противоотражающей пленке, и численная позиция 14 обозначает нагревающее устройство, нагревающее подложку.

Устройство 11 формирования первой пленки обеспечено нагревающей секцией 15, нагревающей подложку, и секцией 16 обработки плазмой, подвергающей подложку действию плазмы.

Механизм 17 переноса подложки, переносящий подложку, обеспечен при устройстве 11 формирования первой пленки, устройстве 12 формирования второй пленки, устройстве 13 формирования электрода и нагревающем устройстве 14 так, что подложка проходит через данные устройства.

Состояние вакуума поддерживается в устройстве 11 формирования первой пленки и устройстве 12 формирования второй пленки. Устройство 11 формирования первой пленки и устройство 12 формирования второй пленки применяются в состоянии, когда их внутренняя часть находится при заданном давлении.

Атмосферное давление поддерживается в устройстве 13 формирования электрода и нагревающем устройстве 14. Устройство 13 формирования электрода и нагревающее устройство 14 применяют при атмосферном давлении.

Следовательно, загрузочная шлюзовая камера (не показана на фигуре) может быть обеспечена между устройством 12 формирования второй пленки и устройством 13 формирования электрода.

Кроме того, подложка переносится между устройством 11 формирования первой пленки и устройством 12 формирования второй пленки в состоянии, когда поддерживается вакуум.

Кроме того, устройство травления (не показано на фигуре), которое выполняет сухое травление, может быть обеспечено со стороны выше по ходу от устройства 11 формирования первой пленки на пути, по которому переносится подложка.

В этом случае подложка переносится в состоянии, когда поддерживается вакуум, между устройством травления, устройством 11 формирования первой пленки и устройством 12 формирования второй пленки.

Далее способ изготовления солнечного элемента данного варианта осуществления путем использования данного аппарата для изготовления будет описан со ссылкой на фиг.3A-3D.

Как показано на фиг.3A, верхняя поверхность кремниевой подложки 21, которая имеет р-тип или n-тип, подвергается действию плазмы и, тем самым, очищается (обработка плазмой).

В качестве кремниевой подложки 21, которая имеет р-тип или n-тип, монокристаллическую кремниевую подложку или поликристаллическую кремниевую подложку выбирают согласно ее применению.

Кроме того, выбирают кремниевую подложку, которая имеет р-тип или n-тип, в которой структуру текстуры (не показано на фигуре) формируют на верхней стороне кремниевой подложки 21.

Более конкретно, кремниевую подложку помещают в аппарат плазменного химического осаждения из газовой фазы, формирующий кремниевый слой, давление внутри аппарата плазменного химического осаждения из газовой фазы снижают, затем генерируют плазму при подаче аргона внутрь аппарата плазменного химического осаждения из газовой фазы.

По этой причине подложку подвергают действию плазмы, выполняют очистку подложки (обработка плазмой).

Указанная обработка плазмой может выполняться путем применения аппарата генерации плазмы для исключительного использования.

В других случаях этап сухого травления в вакууме может выполняться, чтобы образовать структуру текстуры на верхней стороне подложки перед очисткой.

Кроме того, после выполнения сухого травления, если затем кремниевый слой формируется на подложке при поддержании атмосферы вакуума, можно опустить составной этап перемещения подложки из атмосферы вакуума в атмосферу воздуха и очистки подложки.

Затем, как показано на фиг.3B, формируют кремниевый слой 22 на верхней стороне кремниевой подложки 21, где кремниевый слой 22 содержит легирующую примесь, тип проводимости которой отличается от типа проводимости кремниевой подложки 21.

Кремниевый слой 22 представляет собой поликристаллический кремний, аморфный кремний, микрокристаллический кремний или образованную из них смесь.

В случае, когда кремниевая подложка 21 представляет собой, например, кремниевую подложку р-типа, формируется кремниевый слой 22, в который включена легирующая примесь n-типа, такая как фосфор (Р), мышьяк (As) или сурьма (Sb).

Кроме того, в случае, когда кремниевая подложка 21 представляет собой кремниевую подложку n-типа, формируется кремниевый слой 22, в который включена легирующая примесь р-типа, такая как бор (В), галлий (Ga) или алюминий (Al).

Затем противоотражающую пленку 4, образованную из нитрида кремния (SiN_x), оксида титана (TiO₂), оксида ниобия (Nb₂O₅), фторида магния (MgF₂), оксида магния (MgO), оксида кремния (SiO₂) или подобного, формируют на кремниевом слое 22 с помощью способа химического осаждения из газовой фазы, способа магнетронного распыления, способа высокочастотного (ВЧ) магнетронного распыления или подобного.

Противоотражающую пленку 4 формируют при нагреве кремниевой подложки 21. Затем, как показано на фиг.3C, верхние электроды 8, образованные из серебра и имеющие заданную форму, формируют на противоотражающей пленке 4 с помощью способа трафаретной печати.

Затем первые нижние электроды 6 и второй нижний электрод 7, имеющие заданную форму, формируют на обратной стороне кремниевой подложки 21 с помощью способа трафаретной печати.

В случае кремниевой подожки 21 р-типа материалом первых нижних электродов 6 является алюминий, а материалом второго нижнего электрода 7 является серебро.

Затем, как показано на фиг.3D, кремниевую подложку 21, в которой сформированы кремниевый слой 2, противоотражающая пленка 4, верхние электроды 8, первые нижние электроды 6 и второй нижний электрод 7, подвергают термической обработке.

При данной термической обработке, в качестве ее условия, ее атмосфера является восстановительной атмосферой или инертной атмосферой, температура больше или равна 600°С и меньше или равна 1200°С, и ее время больше или равно 1 минуте и меньше или равно 120 минутам.

Согласно данной термической обработке легирующая примесь, включенная в кремниевый слой 22, диффундирует в кремниевую подложку 21, и, тем самым, формируется диффузионный слой 2.

Кроме того, в случае кремниевой подожки 21 р-типа, алюминий, включенный в первые нижние электроды 6, диффундирует в кремниевую подложку 21 с помощью данной термической обработки, и, тем самым, BSF слой 5 формируется на обратной стороне кремниевой подложки 21.

Кроме того, верхние электроды 8 проникают сквозь противоотражающую пленку 4 с помощью прожига и соединяются с кремниевым

Солнечный элемент и способ и аппарат для его изготовления

Патент 2456709