Патент ссср 247001
Иллюстрации
Реферат
2470 Ol
ОПИСАН И Е
ИЗОЫ ЕТ ЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Совтз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”
Кл. 48b, 13/08
3 а явлено 09.1.1968 (K 1209104!22-1 ) с присоединением заявки №вЂ”
Приоритет
МПК С 23с
УДК 621.793.14.002.52 (088.8) Комитет оо делам изобретений и открытий ори Совете Министров
СССР
Опубликовано 26 1.1970. Бюллетень № 6
Дата опубликования описания 9.V1.1970. .Втор изобретения
В. А. Злотин
Заявитель
УСТАНОВКА ДЛЯ ИОННО-ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий.
Известна установка для ионно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионизационную систему.
Предложенная установка отличается тем, что ионизационная система выполнена в виде двух одинаковых электродов-термокатодов.
Такая установка обеспечивает равномерность толщины осаждаемой пленки, проста по конструкции и компактна.
На чертеже изображена схема описываемой установки.
Установка состоит из вакуумной камеры 1, подложки 2, мишснн 8 из распыляемого материала и ионнзационной системы, выполненной
В Виде двух одинаковых электродов-термокатодов 4 и 5, накал которых осуществляется от источников б и 7. К термокатодам 4 и 5 приложено переменное напряжение, создаваемое источником 8. Мишень 3 связана с источником высокого отр|ицательного напряжения 9. Когда один из термокатодов имеет отрицательный потенциал, эмиттируемые им электроны ускоряются по направлению ко второму термокатоду, имеющему в это время .положительный потенциал и служащему анодом. В следующем полупериоде термокатоды меняются ролями. Таким образом, хотя в каждый данный момент электростатическое поле в системе не является симметричным, в среднем за время процесса
10 поле анода не влияет на скорость распыления и не нарушает равномерности толщины плен. ки.
Предмет изобретения
15 Установка для понно-плазменного распыления, содержащая вакуумную камеру, подложку, мишень из распыляемого материала и ионнзационную систему, отличающаяся тем, что, с целью обеспечения равномерности тол20 щины осаждаемой пленки и упрощения конструкции, ионизационная сисгема выполнена р виде двух одинаковых электродов-термокато,дов.
247001
Составитель В. Злотии
Техред А. А, Камышникова Корректор В. В. Комарова
Редактор В. Сорокин
Заказ 1292/7 Тираж 50Р Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва 5Ê-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2