Тонкопленочный транзистор, сдвиговый регистр, схема управления шиной сигналов развертки, дисплейное устройство и способ подстройки тонкопленочного транзистора

Тонкопленочный транзистор, сдвиговый регистр, схема управления шиной сигналов развертки, дисплейное устройство и способ подстройки тонкопленочного транзистора

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Область техники

Настоящее изобретение относится к тонкопленочному транзистору, который содержит конденсатор, включенный между затвором и истоком.

Уровень техники

В последние годы с целью сокращения затрат была разработана монолитная интегральная схема формирователя затвора. Формирователь затвора в монолитной интегральной схеме выполнен из аморфного кремния на жидкокристаллической индикаторной панели. Термин "монолитный формирователь затвора" также связан с такими терминами, как "свободный формирователь затвора", "встроенный в панель формирователь затвора" и "затвор в панели". Например, в Патентном документе 1 раскрыты сдвиговые регистры монолитных формирователей затвора.

На Фиг.11 представлена схема каждой ступени сдвигового регистра, раскрытого в Патентном документе 1. Ниже описана основная структура и работа этой схемы. На Фиг.11 приведена структура n-й ступени сдвигового регистра, ступени которого каскадно включены друг за другом. На вход 12 подают выход затвора предыдущей ступени. Этот сигнал обеспечивает включение выходного транзистора 16 через сток транзистора 18. Между затвором и истоком выходного транзистора 16 включен ускоряющий конденсатор 30. При подаче тактового сигнала С1 высокого уровня на включенный выходной транзистор 16 со стороны его стока потенциал его затвора резко возрастает до уровня, превышающего напряжение источника питания, вследствие наличия емкостной связи между затвором и истоком транзистора 16 через конденсатор 30. Это по существу уменьшает сопротивление между истоком и стоком выходного транзистора 16. Далее сигнал С1 высокого уровня подают на шину 118 затвора, а выходной сигнал этого затвора подают на вход следующей ступени.

На Фиг.12 представлен вид сверху элементов, используемых при встраивании ускоряющего конденсатора в дисплейную панель.

Показанный на Фиг.12 ускоряющий конденсатор 101b выполнен в виде части тонкопленочного транзистора 101 и соединен с его корпусом 101а. В случае если дисплейная панель выполнена из аморфного кремния или аналогичного материала с малой подвижностью, на монолитно встроенных в дисплей тонкопленочных транзисторах часто формируют рельеф с получением существенно большей ширины канала в сравнении со стандартной шириной для уменьшения сопротивления между истоком и стоком корпуса 101а тонкопленочного транзистора. Таким образом, показанный на Фиг.11 корпус 101а обеспечивает большую ширину канала, а гребнео6разные электрод 102 истока и электрод 103 стока расположены друг напротив друга таким образом, что они взаимодействуют друг с другом. Снизу области взаимодействия электродов 102 и 103 расположен электрод 104 затвора. Конденсатор 101b сформирован таким образом, что первый электрод 102а конденсатора, проходящий от электрода 102 корпуса 101а, и второй электрод 104а конденсатора, проходящий от электрода 104 корпуса 101а, расположены друг напротив друга через слой диэлектрика.

Кроме того, электрод 102а соединен с выходом OUT ступени сдвигового регистра, а выход OUT, в свою очередь, соединен с шиной GL затвора через контактное отверстие 105.

На Фиг.13 показано сечение по линии Х-Х', обозначенной на Фиг.12.

Как показано на Фиг.13, на стеклянной подложке 100 по порядку уложены в стопу следующие слои: металл GM затвора, слой 106 диэлектрика затвора, кремниевый i-слой 107, кремниевый n+ слой, металл SM истока и пассивирующий слой 109. Электрод 104, электрод 104а и шина GL выполнены из слоя металла GM, сформированного в ходе параллельного производственного процесса. Электроды 102, 103 и 102а выполнены из слоя металла SM истока, сформированного в ходе параллельного производственного процесса. Слой 107 выполняет функцию каналообразующей области корпуса 101а. Слой 108 выполняет функцию контактного слоя между истоком и стоком и расположен между слоем 107 и электродом 102, а также между слоем 107 и электродом 103.

Вышеописанный транзистор, содержащий ускоряющий конденсатор, также раскрыт в Патентном документе 2.

Патентные документы

Патентный документ 1

Патент Японии №3863215 (Дата регистрации: 6 октября 2006 г.).

Патентный документ 2

Заявка на патент Японии, Токукайхэй, №8-87897 А (Дата публикации: 2 апреля 1996 г.).

Сущность изобретения

Как описано выше, обычный тонкопленочный транзистор, содержащий ускоряющий конденсатор, должен быть большим по размеру для обеспечения большой ширины канала в корпусе. Таким образом, производство тонкопленочных транзисторов с низким процентом выхода годных транзисторов неизбежно значительно снижает долю бездефектных панелей. При этом с ростом нагрузки на выходе тонкопленочного транзистора, содержащего ускоряющий конденсатор, значение емкости, необходимое для получения достаточного ускоряющего эффекта, возрастает. Соответственно, ускоряющий конденсатор занимает большую площадь на панели. Величина значения такой емкости зависит от топологии схемы и технических характеристик дисплейной панели. Например, значение емкости для 7-дюймовой панели составляет по меньшей мере 3 пФ. С увеличением размера экрана возрастает значение емкости. Таким образом, изображенный на Фиг.12 конденсатор 101b имеет чрезвычайно большой размер. В качестве примера приведен 7-дюймовый WVGA-дисплей с монолитным формирователем затвора, который выполняет развертку трех цветных строк цветовой модели RGB, при условии что значение емкости конденсатора 101b равно 3 пФ. В случае если в конфигурации, в которой формирователь затвора расположен в одной из двух смежных с областью дисплея областей, размер точки экрана в направлении развертки составляет 63 мкм, а слой диэлектрика затвора (SiNx) имеет относительную диэлектрическую постоянную 6.9 и толщину 4100 Å, конденсатор 101b выбран таким образом, что длина его стороны Н, проходящей в направлении развертки, равна 50 мкм, а длина другой его стороны W равна 400 мкм.

Такая большая площадь, занимаемая ускоряющим конденсатором, приводит к более высокой вероятности возникновения утечки между двумя противоположными электродами ускоряющего конденсатора. Если ускоряющий конденсатор имеет утечку по меньшей мере в одном месте, тонкопленочный транзистор полностью выходит из строя. Это снижает выход годных тонкопленочных транзисторов и, следовательно, значительно снижает выход годных дисплейных панелей.

Таким образом, недостаток обычного тонкопленочного транзистора с ускоряющим конденсатором заключается в низком выходе годных изделий вследствие возникновения утечки в ускоряющем конденсаторе.

В свете вышеописанных недостатков, имеющихся в уровне техники, задачей настоящего изобретения является создание тонкопленочного транзистора, возникновение дефекта в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом транзистора. 3адачей настоящего изобретения также является создание сдвигового регистра, схемы управления шиной сигналов развертки и дисплейного устройства, которые содержат такой тонкопленочный транзистор, и способа подстройки тонкопленочного транзистора.

Для решения вышеуказанной задачи предложен тонкопленочный транзистор, который содержит первый конденсатор, имеющий область, в которой первый электрод конденсатора, соединенный с электродом истока, и второй электрод расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон первого слоя диэлектрика, сформированного между ними; второй конденсатор, имеющий область, в которой третий и четвертый электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон второго слоя диэлектрика, сформированного между ними; первую выводную шину, проходящую от первого электрода конденсатора в плоскостном направлении; вторую выводную шину, проходящую от электрода затвора в плоскостном направлении; третью выводную шину, проходящую от третьего электрода конденсатора в плоскостном направлении; четвертую выводную шину, проходящую от четвертого электрода конденсатора в плоскостном направлении; первое соединение, пересекающее вторую и четвертую выводные шины в направлении толщины; и второе соединение, пересекающее первую выводную шину и третью выводную шину в направлении толщины, причем второй электрод конденсатора и электрод затвора соединены друг с другом через вторую выводную шину, третий электрод конденсатора и электрод истока не соединены друг с другом, а четвертый электрод конденсатора и электрод затвора не соединены друг с другом.

В качестве способа подстройки вышеописанного тонкопленочного транзистора предложен способ, согласно которому разъединяют второй электрод конденсатора и электрод затвора путем оплавления второй выводной шины, приваривают первую и третью выводные шины ко второму соединению; и приваривают вторую и четвертую выводные шины к первому соединению.

Согласно настоящему изобретению первый конденсатор присоединен к корпусу тонкопленочного транзистора для обеспечения его работы с помощью электричества. В случае возникновения утечки в первом конденсаторе второй электрод конденсатора отделяют от второй выводной шины путем оплавления лазерным лучом или аналогичным способом таким образом, что второй электрод конденсатора и электрод затвора оказываются отделены друг от друга. Затем лазерной сваркой или аналогичным способом соединяют вторую и четвертую выводные шины с первым соединением, а первую и третью выводные шины соединяют со вторым соединением, что обеспечивает возможность соединения второго конденсатора с корпусом тонкопленочного транзистора и, следовательно, возможность работы второго конденсатора с помощью электричества.

Таким образом, возникновение утечки в первом конденсаторе тонкопленочного транзистора не приводит к общей неисправности тонкопленочного транзистора. Такой тонкопленочный транзистор годен к эксплуатации при использовании второго конденсатора в качестве дополнительного конденсатора.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи предложен тонкопленочный транзистор, который содержит первый конденсатор, выполненный таким образом, что первый электрод конденсатора, соединенный с электродом истока, и второй электрод конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон первого слоя диэлектрика, расположенного между ними; второй конденсатор, выполненный таким образом, что третий электрод конденсатора и четвертый электрод конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон второго слоя диэлектрика, расположенного между ними; первую выводную шину, проходящую от первого электрода в плоскостном направлении;

вторую выводную шину, проходящую от электрода затвора в плоскостном направлении;

третью выводную шину, проходящую от третьего электрода в плоскостном направлении;

четвертую выводную шину, проходящую от четвертого электрода в плоскостном направлении; первое соединение, пересекающее вторую и четвертую выводные шины, если смотреть в направлении толщины; и

второе соединение, пересекающее первую и третью выводные шины, если смотреть в направлении толщины, причем второй электрод конденсатора и электрод затвора не соединены друг с другом; первая и третья выводные шины соединены со вторым соединением таким образом, что третий электрод конденсатора и электрод истока соеиднены друг с другом, вторая и четвертая выводные шины соединены с первым соединением таким образом, что четвертый электрод и электрод затвора соединены друг с другом.

Согласно настоящему изобретению второй конденсатор, который выбран из первого и второго конденсаторов, соединен с корпусом тонкопленочного транзистора с возможностью обеспечения его работы с помощью электричества.

Таким образом, возникновение утечки в первом конденсаторе тонкопленочного транзистора не приводит к общей неисправности тонкопленочного транзистора. Такой тонкопленочный транзистор годен к эксплуатации при использовании второго конденсатора в качестве дополнительного конденсатора.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи, в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первый электрод конденсатора, третий электрод конденсатора, первая выводная шина, третья выводная шина, и первое соединение изготовлены из металла истока, а второй электрод конденсатора, четвертый электрод конденсатора, вторая выводная шина, четвертая выводная шина и второе соединение изготовлены из металла затвора.

Настоящее изобретение позволяет легко создать первый и второй конденсаторы с использованием материала с металлическими свойствами, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первый и второй слои диэлектрика представляют собой слои диэлектрика затвора.

Настоящее изобретение позволяет легко создать первый и второй конденсаторы с использованием изоляционного материала, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи предложен тонкопленочный транзистор, который содержит выводную шину, соединенную с электродом истока, и конденсатор, содержащий область, в которой первые электроды конденсатора и второй электрод конденсатора, соединенный с электродом затвора, расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон слоя диэлектрика, сформированного между ними, причем первые электроды конденсатора проходят от выводной шины в плоскостном направлении.

Далее, в качестве способа подстройки вышеописанного тонкопленочного транзистора предложен способ, согласно которому по меньшей мере один из первых электродов конденсатора отсоединен от выводной шины методом плавления.

Согласно настоящему изобретению емкости, образованные между электродами первого конденсатора и вторым электродом конденсатора (именуемые в дальнейшем частичной емкостью), включены параллельно друг другу. Эти емкости образуют суммарную емкость (именуемую в дальнейшем полной емкостью). Если частичные емкости достаточно малы по сравнению с полной емкостью, то отсоединение от выводной шины первых электродов конденсатора с утечкой путем плавления лазерным лучом или аналогичным способом приводит к незначительной разности значений полной емкости до и после отсоединения первых электродов конденсатора.

Таким образом, возникновение утечки в конденсаторе тонкопленочного транзистора не приводит к неисправности транзистора в целом. Такой тонкопленочный транзистор годен к эксплуатации после устранения неисправности в конденсаторе.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для этого в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению каждый из первых электродов конденсатора имеет парную часть, образующую пару с тем из расположенных в области конденсатора второго и третьего электродов конденсатора, который расположен ближе к выводной шине, и непарную часть, не образующую пару со вторым и третьим электродами конденсатора и проходящую от выводной шины к парной части.

Настоящее изобретение обеспечивает простое отсоединение первого электрода конденсатора с утечкой с помощью плавления лазерным лучом или аналогичным способом в непарной части.

Для этого в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению в первом электроде конденсатора на границе между непарной частью и парной частью и/или в выводной шине, в месте разветления первого электрода конденсатора и выводной шины, выполнен вырез.

В настоящем изобретении вырез использован в качестве маркировки при отсоединении первого электрода конденсатора с утечкой при помощи оплавления лазерным лучом или аналогичным способом в непарной части.

Для решения указанной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первые электроды конденсатора и выводная шина изготовлены из металла истока, а второй электрод конденсатора изготовлен из металла затвора.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием материала с металлическими свойствами, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения указанной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению в качестве слоя диэлектрика выбран слой диэлектрика затвора.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием изоляционного материала, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения указанной задачи тонкопленочный транзистор согласно настоящему изобретению содержит первый конденсатор, который имеет область, в которой первый электрод конденсатора, соединенный с электродом истока, и второй электрод конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон первого слоя диэлектрика, сформированного между ними, и область, в которой первый и третий электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон второго слоя диэлектрика, сформированного между ними, таким образом, что соединение между первым и третьим электродами конденсатора и соединение между первым и вторым электродами конденсатора выполнены на взаимно противоположных поверхностях первого электрода конденсатора; второй конденсатор, который имеет область, в которой четвертый и пятый электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон третьего слоя диэлектрика, сформированного между ними; и область, в которой четвертый и шестой электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон четвертого слоя диэлектрика, сформированного между ними, таким образом, что соединение между четвертым и шестым электродами конденсатора и соединение между четвертым и пятым электродами конденсатора выполнены на взаимно противоположных поверхностях четвертого электрода конденсатора; первую выводную шину, проходящую от первого электрода конденсатора в плоскостном направлении; вторую выводную шину, проходящую от второго электрода конденсатора в плоскостном направлении; выводную шину затвора, проходящую от электрода затвора в плоскостном направлении; третью выводную шину, проходящую от третьего электрода конденсатора в плоскостном направлении; четвертую выводную шину, проходящую от четвертого электрода конденсатора в плоскостном направлении; пятую выводную шину, проходящую от пятого электрода конденсатора в плоскостном направлении; первое соединение, пересекающее выводную шину затвора и пятую выводную шину, если смотреть в направлении толщины; ивторое соединение, пересекающее первую и четвертую выводные шины, если смотреть в направлении толщины, причем третий электрод конденсатора и электрод затвора соединены друг с другом через третью выводную шину, шестой электрод конденсатора соединен с пятой выводной шиной, второй электрод конденсатора и электрод затвора соединены друг с другом через вторую выводную шину, выводная шина затвора и пятая выводная шина не соединены с первым соединением, выводная шина затвора и четвертая выводная шина не соединены со вторым соединением.

В качестве способа подстройки тонкопленочного транзистора согласно настоящему изобретению предложен способ, согласно которому третий электрод конденсатора и электрод затвора разъединяют путем плавления третьей выводной шины; приваривают шестой электрод конденсатора к пятой выводной шине; второй электрод конденсатора и электрод затвора разъединяют путем плавления второй выводной шины; выводную шину затвора и пятую выводную шину приваривают к первому соединению; и первую и четвертую выводные шины приваривают ко второму соединению.

Согласно настоящему изобретению первый конденсатор подключен к корпусу тонкопленочного транзистора для обеспечения работы с помощью электричества. В случае возникновения утечки в первом конденсаторе второй электрод конденсатора отделяют от электрода затвора путем плавления лазерным лучом второй выводной шины либо аналогичным способом, а третий электрод конденсатора отделяют от электрода затвора с помощью плавления лазерным лучом третьей выводной шины либо аналогичным способом. Затем лазерной сваркой или аналогичным способом соединяют выводную шину затвора и пятую выводную шину с первым соединением, а первую и четвертую выводные шины со вторым соединением, обеспечивая подключение второго конденсатора к корпусу тонкопленочного транзистора и, следовательно, работу второго конденсатора с помощью электричества.

Таким образом, возникновение утечки в первом конденсаторе тонкопленочного транзистора не приводит к неисправности тонкопленочного транзистора в целом. Такой тонкопленочный транзистор пригоден к эксплуатации при использовании второго конденсатора в качестве дополнительного конденсатора.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для решения указанной задачи тонкопленочный транзистор согласно настоящему изобретению содержит первый конденсатор, который имеет область, в которой первый электрод конденсатора, соединенный с электродом истока, и второй электрод конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон первого слоя диэлектрика, сформированного между ними, и область, в которой первый и третий электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон второго слоя диэлектрика, сформированного между ними, таким образом, что соединение между первым и третьим электродами конденсатора и соединение между первым и вторым электродами конденсатора выполнены на взаимно противоположных поверхностях первого электрода конденсатора; второй конденсатор, который имеет область, в которой четвертый и пятый электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон третьего слоя диэлектрика, сформированного между ними; и вторую область, в которой четвертый и шестой электроды конденсатора расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон четвертого слоя диэлектрика, сформированного между ними, таким образом, что соединение между четвертым и шестым электродами конденсатора и соединение между четвертым и пятым электродами конденсатора выполнены на взаимно противоположных поверхностях четвертого электрода конденсатора; первую выводную шину, проходящую от первого электрода в плоскостном направлении; вторую выводную шину, проходящую от второго электрода в плоскостном направлении; выводную шину затвора, проходящую от электрода затвора в плоскостном направлении;

третью выводную шину, проходящую от третьего электрода в плоскостном направлении;

четвертую выводную шину, проходящую от четвертого электрода конденсатора в плоскостном направлении; пятую выводную шину, проходящую от пятого электрода в плоскостном направлении; первое соединение, пересекающее выводную шину затвора и пятую выводную шину, если смотреть в направлении толщины; и второе соединение, пересекающее первую и четвертую выводные шины, если смотреть в направлении толщины, причем третий электрод конденсатора и электрод затвора не соединены друг с другом, шестой электрод конденсатора соединен с пятой выводной шиной, второй электрод и электрод затвора не соединены друг с другом, выводная шина затвора и пятая выводная шины соединены с первым соединением таким образом, что пятый и шестой электроды конденсатора соединены с электродом затвора, первая и четвертая выводные шины соединены со вторым соединением таким образом, что четвертый электрод конденсатора и электрод истока соединены между собой.

Согласно настоящему изобретению второй конденсатор, выбранный из первого и второго конденсаторов, соединен с корпусом тонкопленочного транзистора с возможностью обеспечения работы второго конденсатора с помощью электричества.

Таким образом, возникновение утечки в первом конденсаторе тонкопленочного транзистора не подразумевает неисправности транзистора в целом. Такой тонкопленочный транзистор пригоден к эксплуатации при использовании второго конденсатора в качестве дополнительного конденсатора.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи, в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первый и четвертый электроды конденсатора, первая и четвертая выводные шины, а также первое соединение выполнены из материала истока, второй и пятый электроды конденсатора, вторая и пятая выводные шины, а также второе соединение выполнены из металла затвора, а третий и шестой электроды конденсатора и третья выводная шина выполнены из прозрачных электродов.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием материала с металлическими свойствами, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первый и третий слои диэлектрика представляют собой слой диэлектрика затвора, а второй и четвертый слои диэлектрика представляют собой пассивирующий слой.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием изоляционного материала, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи тонкопленочный транзистор согласно настоящему изобретению содержит: выводную шину, соединенную с электродом истока; и конденсатор, который имеет область, в которой первые электроды конденсатора, проходящие от выводной шины в плоскостном направлении, и второй электрод, соединенный с электродом затвора, расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон первого слоя диэлектрика, сформированного между ними, и область, в которой первые электроды конденсатора и третий электрод конденсатора, соединенный с электродом затвора, расположены друг над другом в направлении толщины с противоположных сторон второго слоя диэлектрика, сформированного между ними, таким образом, что соединение между первым и третьим электродами конденсатора и соединение между первыми и вторым электродами конденсатора выполнены на взаимно противоположных поверхностях первого электрода конденсатора.

Далее, в качестве способа подстройки вышеупомянутого тонкопленочного транзистора предложен способ, согласно которому по меньшей мере один из первых электродов конденсатора отсоединяют от выводной шины путем плавления.

Согласно настоящему изобретению емкости, образованные между первыми электродами конденсатора и вторым электродом конденсатора (именуемые в дальнейшем первой частичной емкостью) соединены параллельно между собой, а емкости, образованные между первыми электродами конденсатора и третьим электродом конденсатора (именуемые в дальнейшем второй частичной емкостью) соединены параллельно между собой. Эти емкости образуют суммарную емкость (именуемую в дальнейшем полной емкостью). Если сумма первой и второй частичных емкостей достаточно мала по сравнению с полной емкостью, то отсоединение первых электродов конденсатора с утечкой от выводной шины путем плавления лазерным лучом или аналогичным способом приводит к незначительной разности значений полной емкости до и после отсоединения первых электродов конденсатора.

Таким образом, возникновение утечки в конденсаторе тонкопленочного транзистора не приводит к неисправности тонкопленочного транзистора в целом. Такой тонкопленочный транзистор годен к эксплуатации после устранения неисправности в конденсаторе.

Как описано выше, настоящее изобретение позволяет создать тонкопленочный транзистор, возникновение неисправности в котором может быть предотвращено даже в случае утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению каждый первый электрод конденсатора содержит: участок; образующий пару со вторым или третьим электродами конденсатора, вблизи выводной шины, электроды которой расположены в области конденсатора; и участок, не образующий пару со вторым и третьим электродами, который проходит от выводной шины до участка, образующего пару.

Настоящее изобретение обеспечивает простое отсоединение первого электрода конденсатора с утечкой с помощью плавления лазерным лучом или аналогичным способом на непарной части.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению в первом электроде конденсатора на границе между непарной частью и парной частью и/или в выводной шине, в месте разветления первого электрода конденсатора и выводной шины, выполнен вырез.

В настоящем изобретении вырез использован в качестве маркировки при отсоединении первого электрода конденсатора с утечкой с помощью плавления лазерным лучом или аналогичным способом на непарной части.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению первый электрод конденсатора и выводная шина выполнены из металла истока, второй электрод конденсатора выполнен из металла затвора, а третий электрод конденсатора выполнен из прозрачного электрода.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием материала с металлическими свойствами, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи в тонкопленочном транзисторе согласно настоящему изобретению в качестве первого слоя диэлектрика использован слой диэлектрика затвора, а в качестве второго слоя использован пассивирующий слой.

Настоящее изобретение позволяет создать первый и второй конденсаторы с использованием изоляционного материала, который является основным материалом тонкопленочного транзистора.

Для решения поставленной выше задачи тонкопленочный транзистор согласно настоящему изобретению изготовлен с использованием аморфного кремния.

Настоящее изобретение позволяет избежать значительного уменьшения выхода годных тонкопленочных транзисторов за счет увеличения выхода годных конденсаторов, ввиду того что тонкопленочные транзисторы, изготовленные из аморфного кремния, имеют большую ширину канала, что может приводить к меньшему выходу годных изделий.

Для решения поставленной выше задачи тонкопленочный транзистор согласно настоящему изобретению изготовлен с использованием микрокристаллического кремния.

Тонкопленочный транзистор из микрокристаллического кремния имеет более высокую подвижность по сравнению с транзистором из аморфного кремния. Ввиду этого настоящее изобретение позволяет изготовить транзистор, размеры которого малы по сравнению с транзистором из аморфного кремния. Кроме того, использование микрокристаллического кремния позволяет получить тонкопленочный транзистор, который занимает малую площадь, что удобно при его использовании в тонких кадрах изображения. Это также позволяет ограничить перепады пороговых напряжений, вызванных смещениями постоянным током.

Для решения поставленной выше задачи сдвиговый регистр согласно настоящему изобретению содержит ступени, состоящие из транзисторов, по меньшей мере один из которых представляет собой вышеупомянутый тонкопленочный транзистор.

Настоящее изобретение обеспечивает производство сдвиговых регистров с высоким выходом годных изделий.

Для решения поставленной выше задачи схема управления шиной сигналов развертки согласно настоящему изобретению содержит вышеупомянутый сдвиговый регистр, используемый для создания сигнала развертки для дисплейного устройства.

Настоящее изобретение обеспечивает производство схем управления шиной сигналов развертки с высоким выходом годных изделий.

Для решения упомянутой выше задачи схема управления шиной сигналов развертки согласно настоящему изобретению выполнена с возможностью использования тонкопленочного транзистора в качестве выходного транзистора, который выдает сигнал развертки.

Настоящее изобретение обеспечивает возможность изготовления тонкопленочного транзистора, для использования которого в качестве выходного транзистора, выдающего сигнал развертки, необходима высокая управляющая способность.

Для решения поставленной выше задачи дисплейное устройство согласно настоящему изобретению содержит вышеупомянутую схему управления шиной сигналов развертки.

Настоящее изобретение позволяет изготовлять дисплейные устройства с высоким выходом годных изделий.

Для решения поставленной выше задачи в дисплейном устройстве согласно настоящему изобретению схема управления шиной сигналов развертки выполнена на дисплейной панели и монолитно объединена с дисплейной областью.

Настоящее изобретение позволяет компенсировать недостатки, вызванные тем, что дисплейное устройство требует использования большой эмкости, а тонкопленочный транзистор неизбежно должен иметь широкий канал. Следовательно, можно изготовлять дисплейные устройства с высоким выходом годных изделий, в котором схема управления шиной сигналов развертки выполнена на дисплейной панели и монолитно объединена с дисплейной областью.

Для решения поставленной выше задачи дисплейное устройство согласно настоящему изобретению содержит дисплейную панель, содержащую вышеупомянутый тонкопленочный транзистор.

Настоящее изобретение позволяет создать дисплейное устройство, неисправность которого может быть предотвращена даже при возникновении утечки в конденсаторе, соединенном с корпусом тонкопленочного транзистора.

В приведенном ниже описании со ссылкой на прилагаемые чертежи представлено дополнительное разъяснение задач, признаков и преимуществ настоящего изобретения.

Краткое описание чертежей

На Фиг.1 показан вид сверху одного из вариантов реализации настоящего изобретения, а также структура тонкопленочного транзистора согласно первому примеру.

На Фиг.2 показано сечение по линии А-А', обозначенной на Фиг.1.

На Фиг.3 показан вид сверху одного из вариантов реализации настоящего изобретения, а также структура тонкопленочного транзистора согласно второму примеру.

На Фиг.4 показан вид сверху одного из вариантов реализации настоящего изобретения, а также структура тонкопленочного транзистора согласно третьему примеру.

На Фиг.5 показаны сечения тонкопленочного транзистора, изображенного на Фиг.4, причем (а) - сечение по линии В-В', a (b) - сечение по линии С-СУ.

На Фиг.6 показан вид сверху одного из вариантов реализации настоящего изобретения, а также структура тонкопленочного транзистора согласно четвертому примеру.

На Фиг.7 приведена принципиальная схема одного из вариантов реализации настоящего изобретения, на которой показана конструкция дисплейного устройства.