Подложка панели отображения и панель отображения

Подложка панели отображения и панель отображения

Иллюстрации

Показать все

Реферат

Область техники, к которой относится изобретение

Настоящее изобретение относится к подложке панели отображения и панели отображения, а более конкретно относится к подложке панели отображения, которая включает в себя выводы на периферийном участке (то есть контактные площадки, имеющие форму полосок) для электрического соединения с кристаллом на ленточном носителе (TCP) и другими компонентами, и подложке, которая включает в себя подложку панели отображения.

Уровень техники

Обычно используемая жидкокристаллическая панель отображения включает в себя две подложки. Например, жидкокристаллическая панель отображения с активной матрицей включает в себя подложку матрицы тонкопленочных транзисторов и общую подложку (например, в качестве общей подложки может использоваться цветной фильтр). Противостоящие подложки соединены друг с другом, при этом между ними оставлен очень небольшой зазор, и жидкие кристаллы залиты между подложками.

На подложке матрицы тонкопленочных транзисторов предусмотрены область отображения (активная область) и область рамы панели, которая окружает область отображения. В области отображения расположено с образованием матрицы множество электродов пикселов и расположены переключающие элементы (например, тонкопленочные транзисторы (TFT)), выполненные с возможностью возбуждения электродов пикселов. В области отображения предусмотрены шины сканирования и шины данных (истоковые электрические шины), которые обеспечивают передачу заданных сигналов к переключающим элементам. В области рамы панели предусмотрены выводы электродов (например, контактные площадки) для соединения с кристаллом на ленточном носителе (ТСР), в котором расположены интегральные схемы драйверов (драйверов истоков и драйверов затворов). В области рамы панели предусмотрены шины, обеспечивающие соединение выводов электродов с шинами сканирования и шинами данных в области отображения.

Такая конфигурация позволяет передавать сигналы, формируемые интегральными схемами драйверов в кристалле на ленточном носителей, через выводы электродов и по шинам в области рамы панели к шинам сканирования и шинам данных в области отображения. По шинам сканирования и шинам данных сигналы распределяются по переключающим элементам.

Согласно некоторым примерам выводы электродов и шины в области рамы панели имеют следующую структуру. Множество выводов электродов и шин, которые выполнены из одного и того же материала, предусмотрено в одном слое на подложке панели отображения (слое непосредственно над прозрачной подложкой, выполненной предпочтительно из стекла). Предпочтительно, чтобы выводы электродов имели форму тонких полосок. Выводы электродов расположены с заданными интервалами и параллельны друг другу на периферийном участке области рамы панели. В области рамы панели, за исключением участка, где расположены выводы электродов, предусмотрена межслойная изолирующая пленка. Поэтому шины оказываются покрытыми межслойной изолирующей пленкой, а выводы электродов оказываются не покрытыми межслойной изолирующей пленкой и являются открытыми.

На выводах электродов предусмотрена пленка, выполненная из проводящего материала (например, пленка, выполненная из оксида индия и олова). Пленка проводящего материала нанесена на шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними. Контактные окна предусмотрены на заданных местах межслойной изолирующей пленки, что делает шины и пленку проводящего материала электрически неразрывными по отношению друг к другу через посредство контактных окон. Этой конфигурацией обеспечивается многослойная структура выводов электродов и шин, при которой снижается электрическое сопротивление выводов электродов и шин. В результате может быть уменьшено ослабление передаваемых сигналов.

Для способа формирования пленки проводящего материала, описанного выше, предпочтительно использовать фотолитографию. Будет дано краткое описание способа формирования. Сначала пленку проводящего материала формируют на почти всем протяжении подложки панели отображения, на которой образованы рисунки выводов электродов и шин и межслойная изолирующая пленка. Затем пленку материала фоторезиста формируют так, чтобы покрыть сформированную пленку проводящего материала. После этого пленку материала фоторезиста облучают световой энергией через фотошаблон, имеющий заданные рисунки экранирования света и заданные рисунки пропускания света. Если материал фоторезиста является позитивным, участки пленки материала фоторезиста, которые формируются на выводах электродов и шинах, оказываются экранированными от световой энергии, а участки пленки материала фоторезиста, которые формируются между выводами электродов и между шинами, облучаются световой энергией.

Затем заданные участки экспонированной пленки материала фоторезиста удаляют обработкой. Если пленка материала фоторезиста является позитивной, участки, облученные световой энергией, удаляются, а участки, экранированные от световой энергии, остаются. Таким образом, пленка материала фоторезиста на выводах электродов и на шинах остается, а пленка материала фоторезиста между выводами электродов и между шинами удаляется. В результате участки пленки проводящего материала между выводами электродов и между шинами открываются.

Затем травлением выполняют структурирование пленки проводящего материала, используя пленку материала фоторезиста с заданным рисунком в качестве маски. При структурировании экспонированная пленка проводящего материала удаляется. Более конкретно, остаются участки пленки проводящего материала, нанесенные на шины, при включении выводов электродов между ними, и межслойная изолирующая пленка, а участки пленки проводящего материала между выводами электродов и между шинами удаляются. В результате получается многослойная структура выводов электродов и шин.

В последнее время возникла необходимость уменьшения количества интегральных схем драйверов ради снижения стоимости. Чтобы уменьшить количество интегральных схем драйверов, необходимо использовать интегральные схемы драйверов, каждая из которых имеет большое количество выходных выводов. Если количество выходных выводов интегральных схем драйверов в кристалле на ленточном носителе возрастает, количество выводов, подлежащих соединению между кристаллом на ленточном носителе и подложкой панели отображения, увеличивается. Поэтому интервал между выводами электродов и интервал между шинами подложки панели отображения следует уменьшать. Уменьшенный интервал между выводами электродов или уменьшенный интервал между шинами может приводить к возникновению цепи короткого замыкания между выводами электродов или между шинами. Особенно велика возможность возникновения цепи короткого замыкания через пленку проводящего материала, нанесенного на выводы электродов и шины.

Рассмотрим причину этого. Как описано выше, пленку проводящего материала формируют фотолитографией. Более конкретно, пленку проводящего материала формируют первой, а пленку материала фоторезиста формируют на ней. Затем пленку материала фоторезиста подвергают структурированию, а пленку проводящего материала подвергают структурированию, используя пленку материала фоторезиста, подвергнутую структурированию, в качестве маски.

Пленку материала фоторезиста также формируют на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки. Толщина пленки материала фоторезиста на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки зависит от толщины межслойной изолирующей пленки. Иначе говоря, толщина пленки материала фоторезиста является почти такой же, как высота шероховатых поверхностей на периферийном участке межслойной изолирующей пленки. Поэтому толщина пленки материала фоторезиста на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки больше, чем толщина других участков. На этапе экспонирования более значительная толщина пленки материала фоторезиста может приводить к недостаточному экспонированию.

Если материал фоторезиста является позитивным, недостаточно экспонированные участки могут не полностью удаляться при обработке. Поскольку остающуюся пленку материала фоторезиста используют в качестве маски при структурировании пленки проводящего материала, то если остается пленка материала фоторезиста, остается и пленка проводящего материала, покрытая оставшейся пленкой материала фоторезиста. В результате пленка проводящего материала остается между выводами электродов или между шинами на периферийном участке межслойной изолирующей пленки, а остающаяся пленка проводящего материала является причиной образования цепи короткого замыкания между выводами электродов или между шинами.

В патентной литературе 1 и 2 даны рекомендации по исключению цепи короткого замыкания между выводами электродов или между шинами, обусловленной пленкой проводящего материала. В патентной литературе 1 раскрыто, что цепь короткого замыкания между выводами исключается при наличии стенки межслойной изолирующей пленки между выводами. В патентной литературе 2 раскрыто, что цепь короткого замыкания между выводами исключается сглаживанием межслойной изолирующей пленки для управления режимом травления пленки проводящего материала, формируемой на межслойной изолирующей пленке. В этих конфигурациях можно исключать цепь короткого замыкания между выводами, исключая формирование пленки проводящего материала между выводами. Однако в патентной литературе 1 и 2 ничего не сказано относительно предотвращения образования остатка пленки материала фоторезиста на периферийном участке межслойной изолирующей пленки.

Перечень цитируемых источников

Патентная литература

Патентная литература 1: JP2000-180890A.

Патентная литература 2: JP2000-155335A.

Раскрытие изобретения

Задача изобретения

Задача настоящего изобретения заключается в разрешении проблем, описанных выше, и в создании подложки панели отображения, в которой исключена цепь короткого замыкания между выводами электродов, и панели отображения. Другая задача настоящего изобретения заключается в создании подложки панели отображения, в которой исключена цепь короткого замыкания между выводами электродов, обусловленная пленкой проводящего материала, нанесенной на выводы электродов и шины, и панели отображения. Еще одна задача настоящего изобретения заключается в создании подложки панели отображения, в которой исключена цепь короткого замыкания между выводами электродов, обусловленная пленкой материала фоторезиста, остающейся на периферийном участке межслойной изолирующей пленки, и панели отображения.

Решение задачи

Согласно предпочтительным вариантам осуществления настоящего изобретения предложена подложка панели отображения, включающая в себя вывод электрода для соединения с внешней схемной платой, выводящую шину, электрически неразрывную по отношению к выводу электрода, межслойную изолирующую пленку, покрывающую выводящую шину, пленку проводящего материала, нанесенную на вывод электрода и электрически неразрывную по отношению к выводу электрода, и пленку проводящего материала, нанесенную на выводящую шину, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, и электрически неразрывную по отношению к выводящей шине, в которой пленка проводящего материала, нанесенная на вывод электрода, и пленка проводящего материала, нанесенная на выводящую шину, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, отделены на периферийном участке межслойной изолирующей пленки.

Предпочтительно, чтобы пленка проводящего материала, нанесенная на выводящую шину, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, и электрически неразрывная по отношению к выводящей шине, была электрически неразрывной по отношению к выводящей шине через посредство окна, предусмотренного в межслойной изолирующей пленке.

Предпочтительно, чтобы участок пленки проводящего материала, нанесенный на выводящую шину, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, который находится вблизи периферийного участка межслойной изолирующей пленки, имел меньшую ширину, чем ширина другого участка.

Согласно предпочтительным вариантам осуществления настоящего изобретения предложена подложка панели отображения, включающая в себя множество выводов электродов для соединения с внешней схемной платой, множество выводящих шин, каждая из которых электрически неразрывна по отношению к одному из множества выводов электродов, межслойную изолирующую пленку, покрывающую множество выводящих шин, пленки проводящего материала, каждая из которых нанесена на один из множества выводов электродов и электрически неразрывна по отношению к одному из множества выводов электродов, и пленки проводящего материала, каждая из которых нанесена на множество выводящих шин, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, и электрически неразрывна по отношению к одной из выводящих шин, в которой выводящие шины из множества являются параллельными друг другу, и пленки проводящего материала, нанесенные на множество выводов электродов, и пленки проводящего материала, нанесенные на множество выводящих шин, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, отделены на периферийном участке межслойной изолирующей пленки, и отделены пленки проводящего материала, нанесенные на соседнее множество выводящих шин.

Предпочтительно, чтобы пленки проводящего материала, нанесенные на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, и электрически неразрывные по отношению к выводящим шинам, были электрически неразрывными по отношению к выводящим шинам через посредство окон, предусмотренных в межслойной изолирующей пленке.

Предпочтительно, чтобы участки пленок проводящего материала, нанесенные на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, которые находятся вблизи периферийного участка межслойной изолирующей пленки, имели меньшую ширину, чем ширина других участков.

Предпочтительно, чтобы участки пленок проводящего материала, нанесенные на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, которые находятся вблизи периферийного участка межслойной изолирующей пленки, имели меньшую ширину, чем ширина других участков, и интервал между участками, имеющими меньшую ширину пленок проводящего материала, нанесенными на соседние выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, был больше, чем интервал между другими участками пленок проводящего материала, нанесенными на соседние выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними.

Предпочтительно, чтобы толщина участков на периферийном участке межслойной изолирующей пленки между множеством выводящих шин была меньше, чем толщина участков межслойной изолирующей пленки, нанесенных на множество выводящих шин.

Согласно предпочтительным вариантам осуществления настоящего изобретения предложена панель отображения, включающая в себя панель отображения, описанную выше, и общую подложку, в которой подложка панели отображения и общая подложка расположены против друг друга, при этом между ними остается заданный зазор, а жидкие кристаллы залиты между подложкой панели отображения и общей подложкой.

Полезные эффекты изобретения

Согласно настоящему изобретению пленки проводящего материала, нанесенные на выводы электродов, и пленки проводящего материала, нанесенные на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, отделены на периферийном участке межслойной изолирующей пленки. Иначе говоря, пленки проводящего материала не образованы на периферийном участке межслойной изолирующей пленки. Поэтому цепь короткого замыкания между соседними выводами электродов, обусловленная пленками проводящего материала, нанесенными на выводы электродов, или цепь короткого замыкания между соседними выводящими шинами, обусловленная пленками проводящего материала, нанесенными на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, может быть минимизирована или исключена.

Участки пленок проводящего материала, нанесенные на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними, которые находятся вблизи периферийного участка межслойной изолирующей пленки, имеют меньшую ширину, чем ширина других участков. Поэтому интервал между соседними пленками проводящего материала на периферийном участке межслойной изолирующей пленки больше, что минимизирует или исключает цепь короткого замыкания между соседними выводящими шинами на периферийном участке межслойной изолирующей пленки, обусловленную пленками проводящего материала, нанесенными на выводящие шины, при включении межслойной изолирующей пленки между ними.

Толщина участков на периферийном участке межслойной изолирующей пленки между множеством выводящих шин меньше, чем толщина участков межслойной изолирующей пленки, нанесенной на множество выводящих шин. В случае такой конфигурации при формировании фотолитографией пленок проводящего материала на межслойной изолирующей пленке толщина пленки материала фоторезиста, формируемой на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки, может быть сделана меньшей. Иначе говоря, на этапе формирования пленки материала фоторезиста на межслойной изолирующей пленке пленку материала фоторезиста также формируют на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки. Толщина пленки материала фоторезиста на шероховатых поверхностях на периферийном участке межслойной изолирующей пленки зависит от толщины межслойной изолирующей пленки. Поэтому, когда толщина участков межслойной изолирующей пленки между выводящими шинами меньше, чем толщина других участков, толщина пленки материала фоторезиста между выводящими шинами также меньше. При меньшей толщине пленки материала фоторезиста можно исключить недостаточное экспонирование пленки материала фоторезиста на этапе экспонирования. В соответствии с этим, если пленка материала фоторезиста является позитивной, на этапе обработки исключается сохранение остатка пленки материала фоторезиста между выводящими шинами. Соответственно, исключается сохранение остатков пленок проводящего материала между выводящими шинами на этапе выполнения структурирования пленок проводящего материала с использованием пленки материала фоторезиста в качестве маски. В результате цепь короткого замыкания между соседними выводящими шинами, обусловленная пленками проводящего материала, минимизируется или исключается.

Краткое описание чертежей

На чертежах:

фиг.1 - перспективный внешний вид, схематично показывающий конфигурацию подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.2 - вид в плане, схематично показывающий конфигурацию пикселов и шин в области отображения;

фиг.3 - увеличенный вид в плане участка области выводов из подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.4А - поперечное сечение по линии А-А на фиг.3, фиг.4В - поперечное сечение по линии В-В на фиг.3, фиг.4С - поперечное сечение по линии С-С на фиг.3;

фиг.5А-5С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.5А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.5В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.5С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.6А-6С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.6А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.6В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.6С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.7А-7С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.7А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.7В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.7С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.8А-8С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.8А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.8В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.8С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.9А-9С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.9А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.9В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.9С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.10А-10С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.10А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.10В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.10С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.11А-11С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.11А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.11В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.11С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.12А-12С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.12А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.12В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.12С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.13А-13С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе формирования выводов электродов, выводящих шин, межслойной изолирующей пленки и других компонентов; фиг.13А соответствует поперечному сечению по линии А-А на фиг.3, фиг.13В соответствует поперечному сечению по линии В-В на фиг.3, фиг.13С соответствует поперечному сечению по линии С-С на фиг.3;

фиг.14А-14С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.15А-15С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.16А-16С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.17А-17С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.18А-18С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.19А-19С - поперечные сечения, схематично показывающие определенный этап в способе изготовления подложки панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения;

фиг.20А-20С - виды, схематично показывающие конфигурацию цветного фильтра; фиг.20А представляет собой перспективный вид, схематично показывающий общую структуру цветного фильтра; фиг.20В представляет собой вид в плане конфигурации одного пиксела в цветном фильтре; фиг.20С представляет собой поперечное сечение, показывающее в поперечном сечении структуру пиксела по линии F-F на фиг.20В;

фиг.21 - поперечное сечение, схематично показывающее в поперечном сечении структуру участка панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления изобретения.

Осуществление изобретения

Теперь с обращением к сопровождающим чертежам будет дано подробное описание предпочтительных вариантов осуществления настоящего изобретения. Подложка панели отображения согласно предпочтительным вариантам осуществления настоящего изобретения представляет собой подложку матрицы тонкопленочных транзисторов, которая используется в жидкокристаллической панели отображения с активной матрицей.

На фиг.1 представлен перспективный внешний вид, схематично показывающий конфигурацию подложки 1 панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения. Как показано на фиг.1, подложка 1 панели отображения включает в себя область 11 отображения (активную область). Область 12 рамы панели предусмотрена с наружной стороны области 11 отображения и окружает область 11 отображения.

На фиг.2 представлен вид в плане, схематично показывающий конфигурацию пикселов и шин в области 11 отображения. Как показано на фиг.2, область 11 отображения имеет множество пикселов, расположенных с образованием матрицы. Каждый пиксел включает в себя один из электродов 109 пикселов, а переключающие элементы (например, тонкопленочные транзисторы (TFT)) 105 выполнены с возможностью возбуждения электродов 109 пикселов. Электроды 109 пикселов и электроды 108 стоков переключающих элементов 105 являются электрически неразрывными через посредство стоковых шин 104. Следует заметить, что электроды 109 пикселов могут включать в себя щели, выполненные для управления ориентацией жидких кристаллов, которые не включены в изображение на фиг.2.

В области 11 отображения расположено множество шин сканирования (затворных электрических шин) 101, почти параллельных друг другу. Соответственно, между шинами 101 сканирования предусмотрены шины 103 вспомогательных емкостей (шины накопительных конденсаторов), почти параллельные шинам 101 сканирования. Предусмотрено множество шин данных (истоковых электрических шин) 102, почти параллельных друг другу и почти перпендикулярных к шинам 101 сканирования и шинам вспомогательных 103 емкостей.

Вблизи точек пересечения шин 101 сканирования и шин 102 данных предусмотрены переключающие элементы 105, выполненные с возможностью возбуждения электродов 109 пикселов. Каждый из переключающих элементов 105 включает в себя один из электродов 106 затворов, один из электродов 107 истоков и один из электродов 108 стоков. Электроды 106 затворов являются электрически неразрывными по отношению к шинам 101 сканирования. Электроды 107 истоков являются электрически неразрывными по отношению к шинам 102 данных. Электроды 108 стоков являются электрически неразрывными по отношению к электродам 109 пикселов через посредство стоковых шин 104. Шинами 103 вспомогательных емкостей обеспечиваются вспомогательные емкости (накопительные конденсаторы) для электродов 109 пикселов. Такая конфигурация позволяет шинам 101 сканирования передавать заданные сигналы данных (селекторные импульсы) к электродам 106 затворов переключающих элементов 105. Такая конфигурация также позволяет шинам 102 данных передавать заданные сигналы данных к электродам 107 истоков переключающих элементов 105.

Описание продолжается при обращении еще раз к фиг.1. Область 12 рамы панели окружает область 11 отображения. По периферии области 12 рамы панели предусмотрена область 13 выводов. Область 13 выводов предусмотрена для подключения кристалла на ленточном носителе (ТСР), в котором предусмотрены интегральные схемы драйверов (или большие интегральные схемы драйверов), а анизотропная проводящая пленка (ACF) присоединена к области 13 выводов.

В области 13 выводов предусмотрены выводы 121 электродов. Выводы 121 электродов представляют собой выводы, которые электрически соединены с шинами или выводами кристалла на ленточном носителе (ТСР), в котором предусмотрены интегральные схемы драйверов (или большие интегральные схемы драйверов). Выводы 121 электродов представляют собой площадки, которые имеют форму тонкой полоски и выполнены из проводящего материала. Выводы 121 электродов расположены параллельно друг другу с заданными интервалами.

В отличие от области 13 выводов в области 12 рамы панели предусмотрены шины 122, расположенные так, что делают выводы 121 электродов электрически неразрывными по отношению к шинам 101 сканирования, шинам 102 данных и шинам 103 вспомогательных емкостей (с целью пояснения шины 122 названы «выводящими шинами 122»).

Анизотропная проводящая пленка присоединена к области 13 выводов, и эта присоединенная анизотропная проводящая пленка закрепляет кристалл на ленточном носителе, в котором предусмотрены интегральные схемы драйверов, в области 13 выводов. Когда кристалл на ленточном носителе закреплен в области 13 выводов анизотропной проводящей пленкой, шины и выводы кристалла на ленточном носителе являются электрически неразрывными по отношению к выводам 121 электродов в области 13 выводов. Такая конфигурация позволяет передавать заданные сигналы, формируемые интегральными схемами драйверов в кристалле на ленточном носителе, на заданные шины (шины 101 сканирования, шины 103 вспомогательных емкостей и шины 102 данных) в области 11 отображения через выводы 121 электродов и выводящие шины 122 в области 12 рамы панели.

На фиг.3 представлен увеличенный вид в плане участка области 13 выводов подложки 1 панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения. На фиг.4А представлено поперечное сечение по линии А-А на фиг.3, на фиг.4В представлено поперечное сечение по линии В-В на фиг.3, на фиг.4С представлено поперечное сечение по линии С-С на фиг.3.

Как показано на фиг.3, в области 12 рамы панели из подложки 1 панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения полосковые выводы 121 электродов и выводящие шины 122 расположены почти параллельно друг другу с заданными интервалами. Выводы 121 электродов не покрыты межслойной изолирующей пленкой 209, а выводящие шины 122 покрыты межслойной изолирующей пленкой 209. Пленки 210 проводящего материала предусмотрены на выводах 121 электродов. Пленки 211 проводящего материала предусмотрены на межслойной изолирующей пленке 209 на участках, нанесенных на выводящие шины 122, при включении межслойной изолирующей пленки 209 между ними.

Как показано на фиг.4А и 4С, выводы 121 электродов и выводящие шины 122 имеют монолитную структуру из одинакового материала и расположены на подложке 1 панели отображения согласно предпочтительному варианту осуществления настоящего изобретения. Выводы 121 электродов и выводящие шины 122 покрыты первой изолирующей пленкой 203. Подшины 123 расположены на первой изолирующей пленке 203 так, что они оказываются нанесенными на выводы 121 электродов и выводящие шины 122, при включении первой изолирующей пленки 203 между ними.

Окна (контактные окна) образованы в первой изолирующей пленке 203 и подшинах 123 на участках, нанесенных на выводы 121 электродов. Выводы 121 электродов оказываются открытыми сквозь отверстия. Пленки 210 проводящего материала нанесены на выводы 121 электродов. В частности, пленки 210 проводящего материала образованы на выводах 121 электродов, открытых через посредство окон в первой изолирующей пленке 203 и подшинах 123, и перемыкают края окон. Поэтому выводы 121 электродов и подшины 123 являются электрически неразрывными через посредство пленок 210 проводящего материала.

Окна (контактные окна) образованы так, что они проходят сквозь все первые изолирующие пленки 203, подшины 123 и межслойные изолирующие пленки 209, которые нанесены на выводящие шины 122. Поэтому участки выводящих шин 122 оказываются открытыми через посредство окон. Пленки 211 проводящего материала образованы на межслойной изолирующей пленке 209 и нанесены на выводящие шины 122, при включении между ними первой изолирующей пленки 203, подшин 123 и межслойной изолирующей пленкой 209. Пленки 211 проводящего материала также образованы внутри окон, проходящих через первую изолирующую пленку 203, подшины 123 и межслойную изолирующую пленку 209. В соответствии с этим выводящие шины 122 и подшины 123 являются электрически неразрывными по отношению друг к другу через посредство пленок 211 проводящего материала.

В соответствии с этой конфигурацией заданные электрические сигналы могут передаваться через выводы 121 электродов и по выводящим шинам 122 и также по подшинам 123 и пленкам 210 и 211 проводящего материала, при этом достигаются механизм и результат, аналогичные снижению электрического сопротивления вследствие повышения площади поперечного сечения выводов 121 электродов и выводящих шин 122. Поэтому ослабление электрических сигналов, передаваемых через выводы 121 электродов и по выводящим шинам 122, может быть минимизировано.

Как показано на фиг.3 и 4А, пленки 210 проводящего материала не предусмотрены на периферийных участках межслойной изолирующей пленки 209. Поэтому пленки 210 проводящего материала, образованные на выводах 121 электродов, физически отделены от пленок 211 проводящего материала, образованных на межслойной изолирующей пленке 209. В этой конфигурации исключается цепь короткого замыкания между соседними выводами 121 электродов, обусловленная пленками 210 проводящего материала на периферийном участке межслойной изолирующей пленки 209. В этой конфигурации также исключается цепь короткого замыкания между соседними выводящими шинами 122, обусловленная пленками 211 проводящего материала.

Как показано на фиг.4В и 4С, толщина участков межслойной изолирующей пленки 209, образованных между выводящими шинами 122 (то есть участков, не нанесенных на выводящие шины 122), меньше, чем толщина участков межслойной изолирующей пленки 209, образованных на выводящих шинах 122 (то есть участков, нанесенных на выводящие шины 122). Поэтому толщина периферийного участка межслойной изолирующей пленки 209 уменьшается ступенчато.

Как показано на фиг.3, участки пленок 211 проводящего материала, образованные на межслойной изолирующей пленке 209, которые находятся вблизи тонких участков межслойной изолирующей пленки 209, имеют меньшую ширину, чем ширина других участков. На стороне, близкой к области 11 отображения, ширина пленок 211 проводящего материала является по существу такой же, как ширина выводящих шин 122, а на стороне, близкой к выводам 121 электродов (близкой к тонким участкам межслойной изолирующей пленки 209), ширина пленок 211 проводящего материала меньше, чем ширина выводящих шин 122. В этой конфигурации сделан более значительным интервал между соседними пленками 211 проводящего материала на периферийном участке межслойной изолирующей пленке 209, и этим исключается цепь короткого замыкания между соседними выводящими шинами 122, обусловленная пленками 211 проводящего материала.

Далее будет дано описание способа формирования выводов 121 электродов, выводящих шин 122, межслойной изолирующей пленки 209 и других компонентов в описанной выше конфигурации. На фиг.5А-13С представлены поперечные сечения, схематично показывающие этапы способа формирования выводов 121 электродов, выводящих шин 122, межслойной изолирующей пленки 209 и других компонентов. Чертежи, обозначенные А, из числа фиг.5А-13С соответствуют поперечным сечениям по линии А-А на фиг.3, чертежи, обозначенные В, из числа фиг.5А-13С соответствуют поперечным сечениям по линии В-В на фиг.3, и чертежи, обозначенные С, из числа фиг.5А-13С соответствуют поперечным сечениям по линии С-С на ф