Устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов по методу вернейля

Устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов по методу вернейля

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯМОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ ОКИСЛОВПО МЕТОДУ ВЕРНЕЙЛЯ, состоящее Изпитателя порошка-, горелки основной,горелки дополнительной, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства, отличающееся тем, что, с целью достижения уменьшения градиента температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла, основная и дополнительная горелки установлены так, что их факелы направлены В рабочее пространство печи.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) О I) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

AO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ .К ABTGPCHOMV СВИД=ТЕЛЬСТВУ (21) 1214762/23-,26 (22) 05. 02. 68 (46) 15.06.85. Бюл. И 22 (72) А.Г. Носоновский, Ю.М. Либин и В.в. Пищик (53) 548.55(088.8) (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ

МОНОКРИСТАЛЛОВ ТУГОПЛАВКИХ ОКИСЛОВ

Il0 МЕТОДУ ВЕРНЕЙЛЯ, состоящее из питателя порошка; горелки основной, 4рц С 30 В 11/10; В 01, J 29/46 горелки дополнительной, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью достижения уменьшения градиента температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла, основная и дополнительная горелки установлены так, что их факелы направлены в рабочее пространство печи.

248637

Изобретение относится к области производства монокристаллов и предназначено для использования в установках для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов, например S рубинов, по методу Вернейля.

Известно устройство для выращивания монокристаллов тугоплавких окислов по методу Вернейля, состоящее из питателя порошка, основной горелки, дополнительной горелки, расположенной аксиально вокруг основной, печи и вытягивающего устройства.

Предложенное устройство отличает- IS ся от известного тем, что основная и дополнительная горелки расположены так, что их факелы направлены в ра- бочее пространство печи.

Это позволяет уменьшить градиент 26 температур в осевом и радиальном направлениях монокристалла.

На чертеже изображено предложенное устройство. 25

Оно содержит питатель 1 порошка с вводом 2 кислорода и основную горелку, состоящую из центральной трубки 3 с соплом 4,. трубы 5 с соплом 6 и вводом 7 кислорода, трубы 8 с соплом 9 и вводом 10 водорода. Устройство также включает дополнительную горелку, состоящую из трубы 11 с соплом 12 и вводом 13 гаэообразA ного топлива, печь, состоящую из корундового цилиндрического стакана 14, шамотной изоляции 15, легковесной теплоизоляции 16, металлического кожуха 17 и смотрового окна 18, и вытягивающее устройство 19.

Порошок исходного продукта из питателя вместе с порошком и частью кислорода, подводимого через ввод 2, через центральную трубку 3 и сопло 4 поступает в зону сопла 9, Одновременно другая часть кислорода через ввод 7, трубу 5 и сопло 6 поступает в пространство сопла 9, где смешивается с водородом, вводимым через ввод 10 и трубу 8.

В результате горения водорода в кислороде образуется основной факел, который направлен на торец растущего кристалла. Для уменьшения тепловых потерь от кристалла как в осевом, так и.в радиальном направлениях образуют тепловой экран в виде дополнительного факела, получающийся в результате снижения газообразного топлива, вводимого через ввод 13 и сопло 12.

При выращивании монокристалла вытягивающее устройство перемещает кристалл со скоростью, равной скорости образования новых слоев, так, чтобы растущая поверхность находилась на одном и том же уровне смотрового окна.

248637

Составитель О, Николаичева

Редактор Л. Письман Техред Л.Микеш Корректор Л. Бескид

Заказ 4470/1 Тираж 357 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4