Покрытое изделие с низкоизлучательным покрытием, стеклопакет, содержащий покрытое изделие, и/или способ их изготовления

Покрытое изделие с низкоизлучательным покрытием, стеклопакет, содержащий покрытое изделие, и/или способ их изготовления

Иллюстрации

Показать все

Реферат

[0001] Настоящая заявка испрашивает приоритет заявки на патент США с порядковым № 61/446,411, поданной 24 февраля 2011 г., полное содержание которой настоящим включено сюда по ссылке. В настоящую заявку также включено сюда по ссылке полное содержание заявки на патент США с порядковым № 13/064,065 (№ дела поверенного 3691-2195), озаглавленной "Барьерные слои, содержащие Ni и/или Ti, покрытые изделия, содержащие барьерные слои, и способы их изготовления", а также заявки на патент США с порядковым № 13/064,064 (№ дела поверенного 3691-2315), озаглавленной "Барьерные слои, содержащие трехкомпонентные сплавы, включающие Ni, и способы их изготовления".

[0002] Некоторые примерные варианты осуществления настоящей заявки относятся к покрытому изделию, включающему по меньшей мере один отражающий инфракрасное (ИК) излучение слой из такого материала, как серебро или тому подобное, в низкоизлучательном (low-E) покрытии. В некоторых вариантах осуществления по меньшей мере один слой покрытия состоит из или включает никель и/или титан (например, Ni_xTi_y, Ni_xTi_yO_z и т.д.). В некоторых примерных вариантах осуществления наличие слоя, содержащего никель-титан и/или их оксид, позволяет использовать слой, имеющий хорошую адгезию к отражающему ИК-излучение слою и пониженное поглощение видимого света (что приводит к покрытому изделию с более высоким пропусканием видимого света). Когда слой, содержащий оксид никеля-титана, предусмотрен непосредственно над и/или под отражающим ИК-излучение слоем (например, как барьерный слой), это в некоторых примерных вариантах осуществления приводит к улучшенной химической и механической стойкости (долговечности). Таким образом, в некоторых примерных вариантах осуществления при желании можно улучшить пропускание видимого света при сниженном влиянии на долговечность. При этом покрытые изделия могут использоваться в контексте оконных стеклопакетов (IG), окон транспортных средств или в других подходящих приложениях, таких как монолитные окна, многослойные окна и/или тому подобное.

Предпосылки и сущность примерных вариантов осуществления изобретения

[0003] В уровне техники известно применение покрытых изделий в оконных приспособлениях, таких как оконные стеклопакеты (IG), окна транспортных средств, монолитные окна и/или тому подобные. В некоторых примерных случаях разработчики покрытых изделий часто стремятся к комбинации высокого пропускания видимого света, низкой излучательной способности (или низкой эмиссионной способности) и/или низкого поверхностного сопротивления (R_s). Высокое пропускание видимого света может позволить применять покрытые изделия в тех приложениях, где желательны эти характеристики, например при применениях в архитектурных окнах или окнах транспортных средств, тогда как характеристики низкой эмиссионной способности (low-E) и низкого поверхностного сопротивления позволяют таким покрытым изделиям блокировать значительные количества ИК-излучения, снижая, например, нежелательный нагрев внутренних помещений транспортного средства или здания. Так, у применяющихся на архитектурном стекле покрытий часто желательно иметь высокое пропускание в видимом диапазоне спектра, чтобы блокировать значительные количества ИК-излучения.

[0004] Отражающий(е) ИК-излучение слой(и) в низкоизлучательных покрытиях влияют на все покрытие в целом, и в некоторых случаях отражающий(е) ИК-излучение слой(и) являе(ю)тся наиболее чувствительным слоем в пакете слоев. К сожалению, отражающие ИК-излучение слои, содержащие серебро, иногда могут быть подвержены повреждению из-за процесса осаждения, последующих атмосферных процессов и/или термообработки. В некоторых случаях слой на основе серебра в низкоизлучательном покрытии нужно защищать от присутствия кислорода, когда поверх него осаждают другие слои. Если отражающий(е) ИК-излучение слой(и) в покрытии защищен(ы) недостаточно, могут пострадать долговечность, пропускание видимого света и/или другие оптические характеристики покрытого изделия.

[0005] Следовательно, специалист должен понимать, что имеется потребность в низкоизлучательном покрытии с улучшенной долговечностью и улучшенными или по существу неизменными оптическими свойствами.

[0006] Некоторые примерные варианты осуществления данного изобретения относятся к улучшенному материалу барьерного слоя, используемому в сочетании с отражающим ИК-излучение слоем, содержащим серебро. В некоторых случаях улучшенный материал барьерного слоя может позволять улучшить долговечность покрытого изделия. Такие барьерные слои могут включать Ni и Ti или их оксид в других вариантах осуществления данного изобретения.

[0007] Некоторые примерные варианты осуществления относятся к способу изготовления покрытого изделия с поддерживаемым стеклянной подложкой покрытием. На подложке размещают по меньшей мере один первый диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном первом диэлектрическом слое размещают первый слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте с первым слоем, содержащим Ag, размещают слой, содержащий Ni и/или Cr. На слое, содержащем Ni и/или Cr, размещают по меньшей мере один второй диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном втором диэлектрическом слое размещают второй слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте со вторым слоем, содержащим Ag, размещают первый слой, содержащий Ni и Ti. На первом слое, содержащем Ni и Ti, размещают по меньшей мере один третий диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном третьем диэлектрическом слое размещают третий слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте с третьим слоем, содержащим Ag, размещают второй слой, содержащий Ni и Ti. На втором слое, содержащем Ni и Ti, размещают по меньшей мере один четвертый диэлектрический слой.

[0008] Некоторые примерные варианты осуществления относятся к способу изготовления покрытого изделия с поддерживаемым стеклянной подложкой покрытием. На подложке размещают по меньшей мере один первый диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном первом диэлектрическом слое размещают первый слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте с первым слоем, содержащим Ag, размещают слой, содержащий Ni и/или Cr. На слое, содержащем Ni и/или Cr, размещают по меньшей мере один второй диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном втором диэлектрическом слое размещают второй слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте со вторым слоем, содержащим Ag, размещают первый слой, содержащий Ni и/или Ti. На первом слое, содержащем Ni и/или Ti, размещают по меньшей мере один третий диэлектрический слой. На этом по меньшей мере одном третьем диэлектрическом слое размещают третий слой, содержащий Ag. Поверх и в контакте с третьим слоем, содержащим Ag, размещают второй слой, содержащий Ni и/или Ti. На втором слое, содержащем Ni и/или Ti, размещают по меньшей мере один четвертый диэлектрический слой. При этом третий слой, содержащий Ag, толще, чем второй слой, содержащий Ag.

[0009] Некоторые примерные варианты осуществления относятся также к покрытым изделиям и/или стеклопакетам, изготовленным одним из вышеописанных и/или другими способами. В вариантах осуществления, относящихся к стеклопакетам, покрытие покрытого изделия может быть предусмотрено, например, на поверхности 2 и/или 3.

Краткое описание чертежей

[0010] Фигура 1 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно одному примерному варианту осуществления данного изобретения.

[0011] Фигура 2 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно другому примерному варианту осуществления данного изобретения.

[0012] Фигура 3 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно следующему варианту осуществления данного изобретения.

[0013] Фигура 4 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно другим примерным вариантам осуществления данного изобретения.

[0014] Фигура 5 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно еще одному примерному варианту осуществления данного изобретения.

[0015] Фигура 6 является детализированным видом в поперечном разрезе примерного покрытого изделия согласно одному примерному варианту осуществления.

[0016] Фигура 7 является другим детализированным видом в поперечном разрезе примерного покрытого изделия согласно одному примерному варианту осуществления.

Подробное описание изобретения

[0017] Обратимся теперь к чертежам, на которых одинаковые цифровые позиции указывают на одинаковые детали на нескольких видах.

[0018] Раскрытые здесь покрытые изделия могут применяться в таких приложениях покрытых изделий, как монолитные окна, оконные стеклопакеты, окна транспортных средств, и/или в любых других подходящих приложениях, которые включают единственную или множественные подложки, такие как стеклянные подложки.

[0019] Как указано выше, в некоторых случаях слой на основе серебра в низкоизлучательном покрытии может нуждаться в защите при последующих процессах. Например, кислород в плазме, используемой для осаждения последующих слоев, может быть сильно ионизирован, и слой на основе серебра может нуждаться в защите от него. Аналогично, в осуществляемых после осаждения "атмосферных процессах" слой на основе серебра может быть подвержен агрессивным воздействиям кислорода, влаги, кислот, оснований и/или тому подобного. Это может иметь место, в частности, если слой, находящийся между слоем на основе серебра и атмосферой, имеет какие-либо дефекты, так что слой на основе серебра не покрыт полностью (например, царапины, поры и т.д.).

[0020] Кроме того, в некоторых примерных вариантах осуществления проблемы могут возникнуть при термообработке. В этих случаях кислород может диффундировать в слой на основе серебра. В некоторых примерных вариантах осуществления достигающий слоя на основе серебра кислород может повлиять на его свойства, например снизить поверхностное сопротивление, воздействовать на излучательную способность и/или создавать мутность и т.д., и может вызвать сниженные характеристики пакета слоев.

[0021] Поэтому в некоторых примерных вариантах осуществления со слоями на основе серебра (и/или другими отражающими ИК-излучение слоями) в низкоизлучательных покрытиях могут использоваться барьерные слои, чтобы снизить проявление некоторых из этих или всех вышеописанных и/или других проблем.

[0022] Раньше материалы барьерного слоя содержали тонкие металлические слои, такие как Al, которые в некоторых типичных случаях окислялись в последующих окислительных процессах. В других случаях использовались также слои на основе оксида индия-олова (ITO). Однако в некоторых из таких случаев эти материалы могут ухудшать оптические свойства и/или долговечность всего пакета слоев.

[0023] В некоторых случаях в барьерных слоях могут использоваться такие материалы, как хром, в частности в покрытых изделиях с низкоизлучательными покрытиями, применяющихся на архитектурном рынке. Однако в некоторых примерных вариантах осуществления хром может поглощать значительные количества видимого света. Коэффициент поглощения k оксида хрома на 550 нм составляет 0,033942. Соответственно, пропускание видимого света покрытым изделием может снижаться, если хромсодержащий слой будет слишком толстым и/или недостаточно окисленным. Однако, если толщина барьера будет недостаточной, слой, содержащий серебро, может оказаться недостаточно защищенным.

[0024] Другим подходящим для применения материалом барьерного слоя является титан (например, TiO_x). Однако адгезия титана к отражающим ИК-излучение слоям, в частности содержащим серебро, недостаточна. Поэтому, когда в качестве барьерного слоя для защиты слоя, содержащего серебро, используется материал, состоящий или по существу состоящий из Ti и/или его оксидов, может ухудшиться и/или снизиться долговечность покрытого изделия.

[0025] Учитывая вышесказанное, было бы выгодным разработать барьерный слой, содержащий материал(ы), имеющие достаточную адгезию на границе раздела между серебром (и/или отражающим ИК-излучение слоем) и барьерным материалом, где оксид барьерного(ых) материала(ов) имеет более низкое поглощение в видимом диапазоне спектра.

[0026] Некоторые варианты осуществления данного изобретения относятся к покрытому изделию, которое включает в себя по меньшей мере одну стеклянную подложку, поддерживающую покрытие. Покрытие типично имеет по меньшей мере один отражающий инфракрасное (ИК) излучение слой, который отражает и/или блокирует по меньшей мере некую часть ИК-излучения. В разных вариантах осуществления данного изобретения отражающий(е) ИК-излучение слой(и) может(могут) состоять из или включать такой материал, как серебро, золото, NiCr или тому подобное. Часто отражающий ИК-излучение слой проложен между по меньшей мере первым и вторым контактными слоями покрытия.

[0027] В некоторых примерных вариантах осуществления данного изобретения было неожиданно обнаружено, что наличие слоя, состоящего по существу из или содержащего оксид никеля и/или титана (например, Ni_xTi_y или Ni_xTi_yO_z и т.д.) в качестве контактного(ых) слоя(ев) (например, в контакте с отражающим ИК-излучение слоем), в таком покрытии неожиданно улучшает механическую и химическую стойкость покрытия таким образом, что при этом значительно не ухудшаются другие оптические свойства покрытого изделия, такие как пропускание видимого света и/или цвет. В неком данном покрытии в различных вариантах осуществления данного изобретения можно предусмотреть один или более таких содержащих никель и/или титан слоев (которые в некоторых примерных вариантах осуществления могут быть окислены). Кроме того, в других вариантах осуществления данного изобретения такие содержащие никель и/или титан слои могут быть предусмотрены в любом типе солнцезащитных или низкоизлучательных (низкоэмиссионных, или с низким коэффициентом излучения) покрытий (например, в качестве контактного слоя), и описанные здесь конкретные низкоизлучательное покрытия приведены только в качестве примеров, если они не указаны в пункте(ах) формулы изобретения. Когда слой, содержащий оксид никеля-титана, предусмотрен в качестве верхнего контактного слоя покрытого изделия (например, поверх отражающего ИК-излучение слоя на основе серебра), в некоторых примерных вариантах осуществления это приводит к улучшенной химической и механической стойкости (долговечности). Использование в этой связи слоя оксида никеля-титана (например, как контактного слоя) неожиданно оказалось улучшающим химическую и механическую стойкость покрытого изделия, а также оказалось улучшающим (или по меньшей мере не ухудшающим значительно) пропускание видимого света покрытым изделием.

[0028] В некоторых примерных вариантах осуществления можно предусмотреть барьерный слой, содержащий никель-титан и/или их оксид. Эта комбинация Ni и Ti может обеспечить хорошую адгезию при более низком поглощении, причем обе эти характеристики в некоторых примерных вариантах осуществления являются желательными для низкоизлучательных покрытий. Предпочтительно наличие барьерного слоя, содержащего никель-титан и/или их оксид (например, Ni_xTi_y, Ni_xTi_yO_z и т.д.), может позволить применять долговечное, монолитное покрытое изделие с единственным отражающим ИК-излучение слоем (например, серебра), без ухудшения свойств покрытия из-за недостаточной защиты отражающего ИК излучение слоя.

[0029] Фиг. 1 является видом в поперечном разрезе покрытого изделия согласно одному примерному варианту осуществления данного изобретения. В некоторых примерных вариантах осуществления покрытое изделие, показанное на фигуре 1, может применяться как монолитное окно с низкоизлучательным покрытием на поверхности 1 и/или 2, причем низкоизлучательное покрытие включает в себя только один отражающий ИК-излучение слой. Однако в других примерных вариантах осуществления покрытое изделие на фигуре 1 может содержать дополнительные слои. Кроме того, покрытое изделие, выполненное согласно описанным здесь примерным вариантам осуществления, может применяться в стеклопакете (IGU) с покрытием(ями) на поверхности 1, 2, 3 и/или 4; в многослойном облегченном монолите с покрытием, заделанным напротив промежуточного слоя на поверхностях 2 и/или 3 или открытым на поверхности 4; в многослойном стеклопакете с обращенным наружу слоем стекла с покрытием, заделанным напротив промежуточного слоя на поверхностях 2 и/или 3 или открытым на поверхности 4; в многослойном стеклопакете с обращенным внутрь слоем стекла с покрытием, открытым на поверхностях 3 и/или 6 или заделанным на поверхностях 4 и/или 5, согласно другим примерным вариантам осуществления и приложениям. Другими словами, это покрытие может использоваться монолитно или в стеклопакетах с двумя или более подложками или же более одного раза в стеклопакете и в различных примерных вариантах осуществления может быть предусмотрено на любой поверхности стеклопакета.

[0030] Покрытое изделие включает в себя стеклянную подложку 1 (например, бесцветную, зеленую, бронзовую или сине-зеленую стеклянную подложку толщиной от примерно 1,0 до 10,0 мм, более предпочтительно толщиной от примерно 1,0 мм до 6,0 мм) и многослойное покрытие 35 (или систему слоев), предусмотренное(ую) непосредственно или опосредованно на подложке.

[0031] Как показано на фиг. 1, покрытие 35 содержит необязательный(е) диэлектрический(е) слой(и) 3 и/или 5, нижний контактный слой 7, который может состоять из или включать никель, и/или титан, и/или их оксид (например, Ni_xTi_y, Ni_xTi_yO_z и т.д.) или который может быть другим подходящим материалом контактного слоя, таким как оксиды и/или нитриды Zn, Ni, Cr, их комбинации и/или тому подобное, отражающий ИК-излучение слой 9, включающий одно или более из серебра, золота или тому подобного, верхний контактный слой 11, состоящий из или включающий никель, и/или титан, и/или их оксид (например, Ni_xTi_y, Ni_xTi_yO_z и т.д.), или другой подходящий материал контактного слоя, необязательный(е) диэлектрический(е) слой(и) 13 и/или 15, а также диэлектрический слой 16, состоящий из или включающий такой материал, как оксид кремния, нитрид кремния, оксинитрид кремния, оксид циркония, оксинитрид циркония или оксинитрид циркония-кремния, который в некоторых примерных случаях может быть защитным наружным слоем. В некоторых примерных вариантах осуществления данного изобретения могут иметься также и другие слои и/или материалы, и возможно также, чтобы некоторые слои были удалены или, в некоторых примерных случаях, расщеплены. Согласно другим примерным вариантам осуществления слой 16 может быть предусмотрен или нет.

[0032] Согласно различным примерным вариантам осуществления необязательные диэлектрические слои 3 и/или 5 могут содержать нитрид кремния, оксид титана, оксид олова, оксид кремния, оксинитрид кремния и/или другие диэлектрические материалы.

[0033] Отражающий инфракрасное (ИК) излучение слой 9 предпочтительно является по существу или полностью металлическим и/или проводящим и может содержать или состоять по существу из серебра (Ag), золота или любого другого подходящего материала, отражающего ИК-излучение. Отражающий ИК-излучение слой 9 способствует приданию покрытию низкоизлучательных и/или хороших солнцезащитных характеристик, таких как низкий коэффициент излучения, низкое поверхностное сопротивление и т.д. Однако отражающий ИК-излучение слой 9 может быть чуть окисленным в некоторых вариантах осуществления данного изобретения.

[0034] Отражающие ИК-излучение слои, показанные на фигуре 1 и описанные здесь, могут содержать серебро или по существу состоять из серебра в различных примерных вариантах осуществления. Таким образом, следует понимать, что некоторые примерные варианты осуществления могут включать серебряные сплавы. В таких случаях Ag может быть легировано подходящим количеством Zr, Ti, Ni, Cr, Pd и/или их комбинаций. В некоторых примерных вариантах осуществления Ag может быть легировано и Pd, и Cu, с содержанием приблизительно 0,5-2% (в весовых или атомных %) каждого из Pd и Cu. Другие потенциальные сплавы включают Ag и один или более из Co, C, Mg, Ta, W, NiMg, PdGa, CoW, Si, Ge, Au, Pt, Ru, Sn, Al, Mn, V, In, Zn, Ir, Rh и/или Mo. Вообще говоря, концентрации легирующих добавок могут лежать в диапазоне 0,2-5% (в весовых или атомных %), более предпочтительно - 0,2-2,5%. Работая в таких диапазонах, можно помочь серебру сохранять желательные оптические характеристики слоя на основе Ag, которые иначе могли бы быть потеряны из-за легирования, тем самым способствуя сохранению общих оптических характеристик пакета слоев в целом при одновременном повышении химической, коррозионной и/или механической стойкости. Типичные материалы мишени из сплава Ag, идентифицированные здесь, могут распыляться с использованием единственной мишени, осаждены совместным распылением с использованием двух (или более) мишеней и т.д. Помимо обеспечения улучшенной коррозионной стойкости, применение сплавов Ag может в некоторых случаях помочь снизить коэффициент диффузии серебра при повышенных температурах, одновременно помогая также снизить или заблокировать степень миграции кислорода в пакетах слоев. Это может дополнительно повысить коэффициент диффузии серебра и может изменить те ростовые и структурные свойства Ag, которые потенциально могут привести к плохой долговечности.

[0035] Верхний и нижний контактные слои 7 и 11 могут состоять из или включать Ni и/или Ti и/или их оксиды и/или нитриды. В некоторых примерных вариантах осуществления верхний и нижний контактные слои 7, 11 могут состоять из или включать никель (Ni), титан (Ti), хром (Cr), никелевый сплав, такой как никель-титан (NiTi) и/или никель-хром, (например, NiCr), сплав Хейнса (Haynes), цинк, оксид, нитрид или оксинитрид любого из них (например, Ni_xTi_yO_z), или другой(ие) подходящий(е) материал(ы). Например, один из этих слоев может состоять из или включать оксид цинка вместо NiTi (и/или вместо их оксида).

[0036] Применение, например, NiTi и/или Ni_xTi_yO_z в этих слоях позволяет в некоторых примерных случаях улучшить долговечность и/или пропускание видимого света у покрытого изделия. В некоторых примерных вариантах осуществления даже полностью окисленный слой NiCrO_x может иметь относительно высокое остаточное поглощение из-за коэффициента поглощения CrO_x, составляющего k(550 нм)=0,033942. Однако, к счастью, было найдено, что так как TiO_x имеет значительно меньший коэффициент поглощения, чем CrO_x, то в некоторых примерных вариантах осуществления включение TiO_x в состав барьерного слоя может привести к повышенному пропусканию видимого света покрытым изделием. Например, коэффициент поглощения TiO_x k на 550 нм составляет 0,004806, что равно почти 1/10-й коэффициента поглощения CrO_x. Таким образом, когда в барьерном слое используется металл или оксид металла с меньшим коэффициентом поглощения, чем у CrO_x, можно улучшить пропускание видимого света покрытым изделием.

[0037] Однако в некоторых примерных вариантах осуществления барьерный слой, содержащий TiO_x, может не иметь достаточной адгезии к отражающему ИК-излучение слою. Таким образом, если используется барьерный слой, состоящий только из TiO_x, может пострадать долговечность покрытого изделия. К счастью, было найдено, что хотя при использовании сплава, включая материал, который хорошо сцепляется с отражающими ИК-излучение слоями, с Ti и/или TiO_x, долговечность покрытого изделия не будет ухудшаться при замене Cr и/или CrO_x на Ti и/или TiO_x (или любой материал с относительно низким коэффициентом поглощения). Выгодным образом, считается, что Ni имеет хорошую адгезию к отражающим ИК-излучение слоям. Таким образом, использование барьерного слоя, включающего Ni и Ti, а также их оксиды и/или нитриды, может выгодным образом привести к покрытому изделию, имеющему улучшенное пропускание видимого света и адекватную долговечность.

[0038] Контактные слои 7 и 11 (например, состоящие из или включающие Ni и/или Ti) в разных вариантах осуществления данного изобретения могут быть или не быть сплошными по всему отражающему ИК-излучение слою. В некоторых примерных вариантах осуществления один или оба NiTi-х слоя 7, 11 содержат примерно 1-50% Ni и примерно 50-99% Ti. Одним примером является 80% Ti и 20% Ni. В некоторых примерных вариантах осуществления слой, содержащий Ni_xTi_y, может быть полностью и/или частично окислен. Это окисление может происходить при осаждении слоя или может быть результатом процессов, проводимых после осаждения контактного слоя; например из-за осаждения последующих слоев в присутствии кислорода, из-за термообработки и т.д.

[0039] Однако Ni и Ti могут все еще присутствовать в тех же соотношениях, какие обсуждены выше, несмотря на присутствие кислорода. Например, даже в слое, содержащем оксид никеля-титана, отношение Ni к Ti все еще может составлять от примерно 1:99 до 50:50 (проценты и соотношения Ni_xTi_y даны по весу).

[0040] Как упоминалось выше, слой(и) 7 и/или 11 Ni_xTi_y и/или Ni_xTi_yO_z могут быть полностью окислены в некоторых вариантах осуществления данного изобретения (например, полностью стехиометрически) или, альтернативно, они могут быть окислены только частично (например, субстехиометрически) (до и/или после необязательной термообработки (HT)). В других случаях слои 7 и/или 11 могут быть осаждены как металлические слои и могут быть полностью или частично окислены во время процессов после осаждения, таких как осаждение последующих слоев в присутствии кислорода, термообработка и т.п. В некоторых случаях слой 7 и/или 11 Ni_xTi_y и/или Ni_xTi_yO_z может быть окислен по меньшей мере на примерно 50%.

[0041] Контактный(е) слой(и) 7 и/или 11 (например, состоящий из или включающий оксид Ni и/или Ti) в разных вариантах осуществления данного изобретения может быть или не быть градиентно окисленным. Как известно в данной области, градиентное окисление влечет изменение степени окисления слоя по его толщине, так что, например, контактный слой может быть градиентным, будучи менее окисленным на контактной поверхности раздела с непосредственно соседним отражающим ИК-излучение слоем 9, чем в части контактного слоя, дальше отстоящей или больше/наиболее удаленной от непосредственно соседнего отражающего ИК-излучение слоя. Описания различных типов градиентно окисленных контактных слоев изложены в патенте США № 6576349, раскрытие которого настоящим включено сюда по ссылке. Контактный(е) слой(и) 7, 11 (например, состоящие из или включающие оксид Ni и/или Ti) в разных вариантах осуществления данного изобретения могут быть или не быть сплошными по всему отражающему ИК-излучение слою 9.

[0042] В других примерных вариантах осуществления контактный слой под отражающим ИК-излучение слоем (например, нижний контактный слой 7) может состоять из или включать цинк и/или его оксид.

[0043] Необязательные диэлектрические слои 13 и/или 15 могут в некоторых примерных вариантах осуществления данного изобретения состоять из или включать нитрид кремния (например, Si_xN_y) или любой другой подходящий материал, такой как оксид титана, оксид олова, оксинитрид кремния и/или оксид кремния. Эти слои могут помочь решить проблемы долговечности и/или могут также защитить нижележащие слои и в некоторых случаях могут необязательно использоваться в целях просветления.

[0044] Может также иметься необязательный наружный слой 16, содержащий, например, оксид циркония. В заявке на патент США с порядковым № 12/213,879, которая настоящим включена сюда по ссылке, обсуждаются преимущества, связанные с использованием оксида циркония в качестве наружного слоя. В других примерных вариантах осуществления необязательный наружный слой 16 может состоять из или включать нитрид кремния, оксид кремния и/или оксинитрид кремния. В других примерных вариантах осуществления необязательный наружный слой 16 может также включать другие цирконийсодержащие соединения.

[0045] В некоторых примерных вариантах осуществления покрытое изделие, показанное на фиг. 1, может применяться в качестве монолитного окна с низкоизлучательным покрытием с единственным отражающим ИК-излучение слоем. Однако в других примерных вариантах осуществления описанное здесь покрытое изделие может использоваться с любым числом отражающих ИК-излучение слоев и может комбинироваться с любым числом других стеклянных подложек для создания многослойного и/или изоляционного стеклопакета. Покрытия могут также применяться в связи со стеклопакетами (IGU), стеклопакетами с вакуумной изоляцией (VIG), автомобильными стеклами и во многих других приложениях, в соответствии с различными примерными вариантами осуществления.

[0046] Фиг. 2 представляет другой примерный вариант осуществления низкоизлучательного покрытия 35' с единственным отражающим ИК-излучение слоем. В варианте осуществления по фиг. 2 слой на основе Ni_xTi_yO_z используется в качестве верхнего и нижнего контактных слоев. Далее, на фиг. 2 слой на основе нитрида кремния используется в качестве диэлектрического слоя 3, а диэлектрический слой 5 исключен. Диэлектрический слой 13 содержит нитрид кремния, а наружный слой 16 исключен, поскольку в варианте осуществления по фиг. 2 диэлектрический слой 13 также может помочь служить целям наружного слоя (например, защищая нижележащие слои). В некоторых типичных вариантах осуществления покрытое изделие по фиг. 2 может иметь улучшенное пропускание видимого света и может также иметь улучшенные и/или практически неизменные химическую и механическую стойкость.

Таблица 1Примеры материалов/толщин; вариант осуществления по фиг. 2
Слой	Предпочтительный диапазон (Å)	Наиболее предпочтительный диапазон (Å)	Пример (Å)
Стекло (толщиной 1-10 мм)
SixNy (слой 3)	70-1200 Å	250-400 Å	382 Å
NixTiyOz (слой 7)	5-200 Å	10-50 Å	15 Å
Ag (слой 9)	20-700 Å	30-300 Å	120 Å
NixTiyOz (слой 11)	5-200 Å	10-45 Å	15 Å
SixNy (слой 14)	40-1200 Å	250-400 Å	330 Å

Таблица 2Примерные характеристики; вариант осуществления по фиг. 2
Описание	Y	L*	a*	b*
В состоянии после покрытия (на пропускание)	66,16	85,08	-1,59	-3,44
В состоянии после покрытия (со стороны стекла)	6,79	31,32	3,53	6,71
В состоянии после покрытия (со стороны пленки)	5,62	28,43	3,73	-7,18
После HT (на пропускание)	69,18	86,59	-2,6	-3,89
После HT (со стороны стекла)	6,44	30,5	7,25	8,14
После HT (со стороны пленки)	5,74	28,74	5,92	-4,9

[0047] Примерный вариант осуществления по фиг. 2 может в некоторых примерных реализациях иметь поверхностное сопротивление приблизительно 11,15 Ом/квадрат. Однако, как известно специалистам в данной области, поверхностное сопротивление и/или коэффициент излучения можно регулировать, наряду с прочим, подбирая толщину слоя на основе Ag.

[0048] Другими словами, в некоторых вариантах осуществления монолитное покрытое изделие, имеющее один отражающий ИК-излучение слой, может в состоянии после осаждения иметь пропускание видимого света по меньшей мере примерно 55%, предпочтительно по меньшей мере примерно 60%, а еще более предпочтительно по меньшей мере примерно 65%, а иногда по меньшей мере примерно 67%. После термообработки монолитное покрытое изделие может иметь более высокое пропускание видимого света, например по меньшей мере примерно 60%, более предпочтительно примерно 65%, с примерным пропусканием примерно 70%.

[0049] В состоянии после нанесения покрытия изделие может иметь со стороны стекла значение a* от примерно 0 до 5, более предпочтительно от примерно 1 до 4, например около 3,5 в некоторых примерных вариантах осуществления. В состоянии после нанесения покрытия изделие может иметь значение b* со стороны стекла от примерно 0 до 10, более предпочтительно от примерно 1 до 7, например около 6,7 в некоторых примерных вариантах осуществления. В некоторых случаях изделие может иметь значение a* со стороны пленки от примерно 0 до 5, более предпочтительно от примерно 1 до 4, например около 3,7, в состоянии после нанесения покрытия. В других примерных вариантах осуществления изделие может иметь значение b* со стороны пленки от примерно -10 до 1, более предпочтительно от примерно -8 до -2, например около -7,18.

[0050] После термообработки (обозначенной как "HT" в таблице 2) изделие может иметь значение a* со стороны стекла от примерно 0 до 10, более предпочтительно от примерно 1 до 8, например около 7,25 в некоторых примерных вариантах осуществления. В состоянии после нанесения покрытия изделие может иметь значение b* со стороны стекла от примерно 0 до 10, более предпочтительно от примерно 1 до 9, например около 8,14 в некоторых примерных вариантах осуществления. В некоторых случаях изделие может иметь значение a* со стороны пленки от примерно 0 до 8, более предпочтительно от примерно 1 до 6, например около 5,92, в состоянии после нанесения покрытия. В других примерных вариантах осуществления изделие может иметь значение b* со стороны пленки от примерно -8 до 1, более предпочтительно от примерно -6 до -2, например около -4,9.

[0051] Фиг. 3 показывает другой примерный вариант осуществления низкоизлучательного покрытия 35" с единственным отражающим ИК-излучение слоем. Фиг. 3 похожа на варианты осуществления по фиг. 1 и фиг. 2, но в варианте осуществления по фиг. 3 в качестве верхнего контактного слоя 11 используется слой на основе Ni_xTi_yO_z, а в качестве нижнего контактного слоя 7 - слой на основе оксида цинка. Кроме того, на фиг. 3 слой на основе нитрида кремния используется в качестве диэлектрического слоя 3, а диэлектрический слой 5 исключен. В варианте осуществления по фиг. 3 диэлектрический слой 13 содержит нитрид кремния. В некоторых примерных вариантах осуществления покрытое изделие по фиг. 3 может иметь улучшенную и/или неизменную химическую и механическую стойкость, а также может иметь повышенное пропускание видимого света.

[0052] Фиг. 4 показывает вид в поперечном разрезе покрытого изделия согласно одному примерному варианту осуществления данного изобретения. В некоторых примерных вариантах осуществления покрытое изделие, показанное на фиг. 4, может применяться как монолитное окно с низкоизлучательным покрытием с двумя отражающими ИК-излучение слоями. Покрытое изделие включает в себя стеклянную подложку 1 (например, бесцветную, зеленую, бронзовую или сине-зеленую стеклянную подложку толщиной от примерно 1,0 до 10,0 мм, более предпочтительно от примерно 1,0 мм до 6,0 мм) и многослойное покрытие (или систему слоев), предусмотренное(ую) непосредственно или опосредованно на подложке. Аналогично фиг. 1, покрытие 45 по фиг. 4 содержит необязательный(е) диэлектрический(е) слой(и) 3 и/или 5, первый нижний контактный слой 7, первый отражающий ИК-излучение слой 9, содержащий или состоящий из серебра, золота или тому подобного, первый верхний контактный слой 11, состоящий из или включающий оксид никеля-титана (например, Ni_xTi_yO_z), необязательный(е) диэлектрический(е) слой(и) 13 и/или 15 (например, состоящий(е) из или включающий(е) нитрид кремния), второй нижний контактный слой 17, второй отражающий ИК-излучение слой 19, второй верхний контактный слой 21, необязательные диэлектрические слои 23 и/или 25 и необязательный диэлектрический слой 16, состоящий из или включающий такой материал, как нитрид кремния, оксинитрид кремния, оксид циркония, оксинитрид циркония или оксинитрид циркония-кремния, который в некоторых примерных случаях может быть защитным наружным слоем. В некоторых примерных вариантах осуществления данного изобретения могут предусматриваться и другие слои и/или материалы, а также возможно, чтобы в некоторых примерных случаях некоторые слои были удалены или расщеплены.

[0053] В некоторых вариантах осуществления только один из контактных слоев 7, 11, 17 и 21 может содержать никель-титан и/или их оксид и/или нитрид. В следующих примерных вариантах осуществления верхние контактные слои могут состоять из или включать Ni_xTi_y и/или Ni_xTi_yO_z, тогда как нижние контактные слои могут состоять из или включать оксиды и/или нитриды цинка, никеля, хрома, тита