Бункерное устройство для вакуумных установок

Бункерное устройство для вакуумных установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

281102

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН Ия

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

СоциалистическихРеспублик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 48b, 13/08

Заявлено ЗО.IX.1968 (№ 1272157/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 03,IX.1970. Бюллетень № 28

Дата опубликования описания 19.XI.1970

МПК С 23с 13!00

УДК 621.793.14 (088.8) Комитет па делам изобретений и открытий при Совете министров

СССР

Авторы изобретения

Г. Н. Гаврилов и Л. И. Федотов

Заявитель

ЬУНКЕРНОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНЫХ УСТАНОВОК

Изобретение предназначено для вакуумных устаноB0K и может быть использовано в электронной и радиопромышленности при изгото влении схем методом пленочной технологии.

Известны вакуумные установки, в которых в качестве бункеров применяются диски. Однако производительность таких установок недостаточна.

Целью изобретения является повышение производительности вакуумных установок и осуществление непрерывности процесса напыления как однослойного, так и многослойного.

Эта цель достигается тем, что бункерное устройство |выполнено iB виде д вух заполняемых подложкодержателями кассет, соединенных между собой ве рхникт и нииним трактами.

На чертеже схематически изображено описываемое устройство в д|вух проекциях.

Бунке рное устройство состоит из кассет 1, 2, соединенных между собой верхним 8 и нижним 4 трактами для перемещения подложкодержателей с подложками из одной кассеты в другую. Каждая кассета имеет механизм 5 горизонтального перемещения и механизм б вертикального перемещения подложкодержателей. В кассетах установлены отсекатели 7, на которых, находится стопа подложкодержателей в момент их горизонтального перемещения. Разхте ры кассет зависят от объема ва-, куумного колпака, а длина трактов — от количества и конструкции испарителей 8. Устройство снабжено нагревателями 9, расположенными по пути движения подложек.

Бункерное устройство работает следующим образом.

Кассеты, верхний и нижний тракт заполняют подложкодержателями с закрепленными на них подложками за исключением нижнего

10 места в кассете 2 и верхнего в кассете 1, при необходимости прогревают, а затем производят напыление на подложки, находящиеся на нижневт тракте. Механизмы горизонтального перемещения, двигаясь одновременно, произ15 водят смену подложек. При этом нижнее место в кассете 2 заполняется, а верхнее освобождается, а в кассете 1 наоборот освобождается нижнее и заполняется верхнее. Во время напыления механизм б вертикального пе20 ремещения, двигаясь вверх в кассете 2, захватывает подложкодержатель и укладывает его на отсекатели, а при движении вверх в кассете 1 проходит освободившееся место и снимает подложкодержатель с отсекателей. При

25 движении вниз 8 кассете 1 этот механизм укладывает снятую подложку на тракт, а вся стопа подложкодержателей задерживается отсекателями. В кассете 2 механизм б, опускаясь, занимает исходное положение. Затем

30 цикл работы устройства повто|ряется.

281102

Предмет изобретения

Составитель Е. Хво!цева

Техред А, А. Камышникова 1(орректор О. С. Зайцева

Редактор В. П. Борисова

Заказ 3395 2 Тираж 480 Подпис!!ое

ЦИИИПИ 1(омитета ио делам изобретеипй и открыт!й при Сопсге Мииистров СССР

Москва, Ж-35, Рау!пская паб., д. 4, 5

Типография, пр. Сапунова, 2

Бу!«керное устройство для вакуумных установок, содержащее кассеты с механизмами перемещения подложкодержателей, отличаю иееоя тем, что, с целью повышения производ1!Телы!ост!! Вакуумных уcTBHQBOK и Oc) ществления непрерывности процесса напыления как однослойного, так и многослойного, бункерное устройство выполнено в виде двух заполняемых подложкодержателях!и кассет, соединенных между собой посредством верхнего и нижнего трактов.