Патент ссср 302856
Патент 302856
Авторы
Классы МПК
Патент ссср 302856
Иллюстрации
Реферат
О П
ИЗОБРЕТЕНИЯ
302856
Саюа Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетельства Ке
Заявлено 20.11.1970 (№ 1405979, 26-9) с присоединением заявки гче
Приоритет
Опубликовано 28.IV.1971. Бюллетень М 15
Дата опубликования описания 1Л П.1371
МПК Н 05k 3/00
Комитет по делам иаобретепкй и открытий при Совете Мпиистров
СССР
УДК 621.3.049.75 (088.8) Лвторы изооретения В. A. Григорьев, H. Ф. Карантирсв, А. Б. Невский и И. Д. Зайцева
Заявитель
ФОТО ШЛЬАО Н
Предмет из о бр етения
10,Известен фотошаблон, выполненный в виде прозрачной стеклянной подложки с нанесенным на ее поверхность маскирующим непрозрачным слоем по заданному рисунку схемы.
Цель .изобретения — увеличение срока службы фотошаблонов.
Для этого в качестве материала маскирующего слоя, использована пленка борида металла, например циркония с равномерно распределенными по толщине слоя микрогранулами циркония и бора, 11рименение борида металла определяет высокую адгезию максирующего слоя к подложке, а гранулы чистого металла и бора служат
KBK бы армирующим звеном, снимающим внутренние напряжения и предотвращающим лоявление микротрещин при тепловых ударах.
Существенную роль играют размеры гранул, определяющие разрезашающую способность фотошаблона. Это особенно важно в микроэлектронике, где размеры отдельных элементов весьма малы. Наилучшее разрешение может быть получено при размерах гранул вещества пленки, близких к молекулярным.
Фотошаблон, выполненный в виде прозрачной стеклянной подложки с нанесенным на ее поверхность маскирующим непрозрачным слоем по заданному рисунку схемы, отличаюитийся тем, что, с целью повышения срока службы фотошаолонов, в качестве материала маскирующего слоя использована пленка борида металла, например, циркония с равномерно распределенными,по толщине слоя микрогранулами цирконня и бора.