Способ окисления кремния с p-n-переходом
Патент 376029
Авторы
Классы МПК
Способ окисления кремния с p-n-переходом
Реферат
Способ окисления кремния с р-n-переходами в электролите при подаче на пластину кремния анодного напряжения, отличающийся тем, что, с целью селективного окисления n-области, пластину кремния предварительно обрабатывают в химическом травителе и при окислении анодное напряжение подают на n-область.