Аппарат для получения эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов

Аппарат для получения эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИИ

H3OSPETK Н ИЯ

К АЬТОУСКОМУ СЬИ ВТИЛОСТЬУ

Союз Советских

Социалистимесних

Республин (11) 392857 (61) Дополнительное к авт. свнд.ву (22) I Заявлено 03.11.70(21) 1489621/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 26,08,77, Бюллетеяь № 31 (61) М. Кл.

H 01 L; 21/20

Н 01 1, 21/36

Гооударотавнный номнтет

Совета Мнннотроа СССР но делам наооретеннй н отнрмтнй (53) УДК 621.328.002 (088.8) (4б) Дата опубликования описания 20.09.77.

А, Л. Гофштейн-Гардт, Ю. М. Деготь, M. Л. Дененбера, А. Г. Дмитриев, С. A. Дохман, Л. М. Коган, Б. В. Царвкков, П. П. Шкарцутин и Ю. П. Яковлев . (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54) АППАРАТ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ

ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к технологическому оборудованию для проьзводства полупроводниковых приборов, в частности для получения эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов из .раствора-расплава. 6

Известны конструкции аппаратов для получения эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов из раствора-расплава.

Так, известен аппарат, представляющий собой цилиндрическую рабочую камеру с от- )9 верстиями для продувания рабочего газа, Снаружи цилиндрической рабочей камеры находится нагреватель. Контейнер с исходными полупроводниковыми подложками расположен внутри рабочей камеры. l5

Конструкция такого аппарата предусматривает получение эпитаксиальных слоев полупроводниковых материалов в гоке водорода и не позволяет проводить процесс в 20 замкнутом объеме. При этом летучие комцоненты раствора уносятся потоком. водорода, в результате чего изменяется состав исходного раствора, что сказывается на качестве получаемых слоев. 25

Цель изобретения - разработка такого аппарата для получения эпитаксиальных слоев, который ноэволил бы получать в одном аппарате эпитаксиальиые < слои как в условиях отсутствия фазового равновесия между компонентами раствора-расплава (открытый объем), так и в условиях фазового равновесия, (закрытый, объем).

Это достигается тем, что внутренняя

Мамера аппарата снабжена подвижными герметиэируахцими пробками и расположена в температурной зоне нагревателя.

На чертеже показан. предлагаемый аппарат.

Аппарат содержит камеру 1 с отверстиями для продувания рабочего газа, нагре ватель 2, кварцевую трубу 3 с конически ми шлифами и пробками 4 из кварца, asкрепленными на штоках 5. Каждый шток состоит иэ двух частей, соединенных между собой . полусферическим шарниром 6 и имеет ручной привод, сосгояший иэ маховика 7 и пружины 8, которая поджимает шток к трубе Э. В месте выхода из рабочей камеры

392857

3 шток имеет уплогнение 9, которое препятствует утечке рабочего гвэа из камеры.

Внутри кварцевой грубы размещен грвфиговый конгейнер 10, в котором находится монокриствлпическая подложка с растворите. пем.

Аппарат работает следующим образом.

В трубу 3 помешают графитовый контейнер с образцом. Для э гого открывают крыш ку 11, удаляют пробки и загружают asapцевую трубу. Кварцевая труба при загрузке открыта с обеих концов. После проведения загрузки рабочий объем камеры закрывают крышкой и через отверстия s KaMepe проду- .Ig ввют рабояий гаэ. Затем включают нагрева.тель и при достижении требуемой температуры кварцевая труба герметязируегся.

Трубу гермегизируют следующим образом.

При вращении маховика пружина перемешает рО шток в направлении трубы, -и пробки герметично звкумввюг трубу. Полусферический шарнир обеспечивает герметичное эвкрывание трубы при некоторой несоосносги ивар цевой трубы и штока. Разгерметизацию груфы осуществляют вращением маховика в обратную сгоронуФормула изобре rения

Аппарат для получения эпигвксиапьных слоев полупроводниковых материалов из раствора-расплава, содержащий внешнюю камеру с отверстиями для продувания рабочего газа, внутреннюю камеру для размещения подпожкодержатепя, нагреватель, î гпичаюшийся тем, что,сцепью получения в одном armapare эпитаксиапьных слоев квк s условиях отсутствия фазе вого равновесия между компонентами раствора-расплава, так и в условиях их фазового равновесия, внутренняя камера снабжена подвижными гермегизируюшими пробками и расположена в температурной зоне нагревателя.