Датчик толщины напыляемых диэлектрических

Датчик толщины напыляемых диэлектрических

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено ОЗ.XI.1971 (№ 1711645/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 27.1Х.1973. Бюллетень ¹ 38

Дата опубликования описания 19.II.1974

М. Кл. G 01Ь 7/08

С 23с 13/00

Государственна и комитет

Совета Министров СССР оо делам изобретении и откшатий

УДК 621.396.6-181.5 (088.8) Авторы изобретения

В. М. Гудков, В. С. Борисов и В. А. Бессольцев

Заявитель

ДАТЧИК ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМЫХ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

ПЛЕНОК

Предмет изобретения

Предлагаемое изобретение относится к области радиотехники, к устройствам для измерения толщины тонких диэлектрических пленок в процессе их изготовления.

Известны датчики толщины напыляемых диэлектрических пленок, содержащие плоский гребенчатый конденсатор, выполненный в виде диэлектрического основания с нанесенными на одной из его сторон электродами.

Основным недостатком известного датчика является большая ошибка измерений из-за нагрева диэлектрического основания в процессе осаждения пленки.

С целью уменьшения влияния температурных колебаний датчика на точность измерения в предлагаемом датчике на противоположной стороне диэлектрического основания нанесены дополнительные электроды, выполненные по форме идентично имеющимся электродам.

На фиг. 1 показан предлагаемый датчик; на фиг. 2 — зависимость величины емкости двух гребенчатых конденсаторов, расположенных на противоположных сторонах ситалл оной подложки от температуры.

Датчик состоит из изолирующей подложки 1, на противоположных сторонах которой расположены два идентичных гребенчатых конденсатора 2 и 3 с проводящими дорожками 4 и 5. Любой из конденсаторов может быть измерительным и опорным. Измерительным условно называем тот конденсатор, который подвергается запылению.

Датчик толщины устанавливается вблизи от подложки с изготовляемыми элементами, а его конденсаторы включены в противоположные плечи измерительной дифференциальной схемы (например, мостовой).

В процессе осаждения пленки на измерительном конденсаторе (в результате нагрева)

10 происходит изменение его емкости как под действием осаждаемой пленки, так и под влиянием изменения диэлектрических свойств подложки. Емкость другого (опорного) конденсатора изменяется лишь под действием нагрева

15 подложки. Следовательно, разностньш сигнал с измерительного моста зависит только от напыляемой пленки.

В связи с тем, что подложка обладает определенным тепловым сопротивлением, компен20 сация не будет полной, причем чем выше теплопроводность и чем тоньше подложка, тем меньше степень нескомпенспрованности.

На фиг. 2 кривые показывают, что емкость обоих конденсаторов от температуры изме25 няется в равной степени.

Датчик толщины напыляемых диэлектриче30 ских пленок, содержащий плоский гребенча398814 фиг 7 тый конденсатор, выполненный в виде диэлектрического основания с нанесенными на одной из его сторон электродами, отличающийся тем, что, с целью уменьшения влияния температурных колебаний на точность измерения, на противоположной стороне диэлектрического основания нанесены дополнительные электроды, выполненные по форме идентично имеющимся электродам.

398814

00,5

И,З50

0 т с

100

150

Фиг я

Составитель Е. Жучкова

Текред Л. Грачева

Редактор T. Морозова

Корректор В. Жолудева

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 102519 Изд. № 1012 Тираж 825 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4, 5