Манипулятор

Манипулятор

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

(!!) 433024

Союз Соеетсжих

Социалистических

Реслублик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.02.73 (21) 1877693/25-8 (51) И. Кл. В 25) 15/00 с присоединением з",явки X

Государственный комитет

Ссввтв Министров СССР ва делам изоСретеиии

;32) Приоритет

I Опубликовано 25.06.74. Б!ол.!сто!!! ."е 23

I Дата опубликования описания 18.11.74 (53) УДК 621.229.126 (088.8) ! и открытий (72) Авторы изобретения (71) Заявитель

В. H. Таиров и А. Ф. Хомылев

Ленинградский электротехнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина) (54) МАНИПУЛЯТОР

Изобретение относится к манипулятора.;; и может найти прихтенение в микроэлек-,ронной технологии для манипулирования диэлектрическими пластинами. Оно может быть также использовано в других областях техники, где необходимо осуществлять захват, переноску и оперирование с мелкими плоскими диэлектрическими объектами, например при производстве слюдяных конденсаторов.

Для этого наиболее широко используются вакуумные манипуляторы. Основу их конструкции составляет полый корпус, обычно в виде трубки. К одной стороне корпуса присоединен наконечник с одним или несколькими отверстиями. Отверстия через полость корпуса и штуцер на другом конце корпуса соединены с откачной системой. На корпусе имеется коммутатор, который в простейшем случае представляет собой отверстие, соединяющее внутреннюю полость корпуса с атмосферой.

Для закрепления объекта отверстие коммутатора перекрывается, и наконечник прикладывается к объекту. Объект при этом присасывается к наконечнику и удерживается на нем за счет разности давлений внутри корпуса и атмосферного. При открывании отверстия (коммутатора) давление снаружи и внугри корпуса выравнивается, и объект перестает удерживаться на наконечнике манипулятора.

Однако применение вакуумных манипуляторов связано с необходимостью использования дорогого и громоздкого оборудования; работа с вакуумными манипуляторами требует создания вакуумных коммуникаций, то есть подвода вакуумных шлангов ко всем местам, где предусматривается работа с манипулятором.

Это усложняет и удорожаег устройство. деласт возможным его использование только на конкре;ных рабочих местах;,при работе с ва10 куумными манипуляторами неизбежны прососы воздуха, что создает движение воздуха ц увеличивает возможность осаждения пыли на объекте манипулирования; кроме того, манипуляторы неприменимы в условиях вакуума, 15 так как принцип их действия основан на перепаде давления внутри манипулятора и г окружающей среде.

Цель предлагаемого изобретения — создание дешевого переносного манипулятора и

20 обеспечение возможности его работы в вакууме.

Для 3TGI Q H=!! . He H! K снабжен gB) 5!я электродами, присоединенными через коммутатор и источнику напряжения.

25 Неоднородное электростатическое поле создается системой электродов, расположенных на наконечнике манипулятора. Поле, возникающее вблизи рабочей поверхности наконс ника, при приложении к электродам разности

30 потенциалов, по существу, является полем

433024

30 рассеяния. Его напряженность имеет максимальное значение у поверхности электродов и быстро убывает с расстоянием, Таким образом, при приложении наконечника с электродами к обьекту манипулирования, последний будет удерживаться на наконечнике до тех пор, пока на электроды подано питающее напряжение.

На фиг. 1 изображен предлагаемый манипулятор в разрезе; на фиг. 2 — схема включения манипулятора.

Основным элементом манипулятора являются два плоских электрода 1. Они расположены в одной плоскости на наконечнике 2.

Электроды могут быть выполнены в различных вариантах, например в виде монолигчых проводников, закрепленных на наконечнике или запрессованных в него, а также в виде пленочных проводников, сформированных методами вакуумного испарения или толсто:iëåночной технологии. Возможны различные конфигурации электродов, например в виде полос, расположенных таким образом, что проводники с одним потенциалом чередуются с проводниками, имеющими другой потенциал; в виде сдвоенной спирали. Электроды могут быть также расположены коаксиально, как показано на фиг. 2. Размеры электродов различны и определяются размерами объекта манипуляции. Выводы электродов пропущены в отверстие наконечника и закреплены на контактных винтах 3. Наконечник присоединен к корпусу 4 манипулятора. Корпус манипулятора содержит лепестки 5, соединяющиеся с контактными винтами 3 при закреплении наконечника в корпусе. Лепестки 5 в свою очередь соединены с источником питания б через коммутатор (тумблер) 7, которым осущест5

25 вляется подача и снятие с электродов напряжения. Корпус манипулятора и наконечник изготавливаются из диэлектрического материала, например из эбонита. Для обеспечения безопасности работы электроды покрыты слоем нитроэмали. Безопасность устройства наряду с диэлектрическим покрытием обеспечивается балластными сопротивлениями 8, включенными в оба выхода источника питания 6.

Манипулятор работает следующим образом

Источник питания б включают в сеть. Затем манипулятор подносят к объекту так, чтобы плоскость электродов 1 прилегала к поверхности объекта. После включения коммутатора

7 на электроды 1 подается напряжение, и за счет сил, возникающих в неоднородном электростатическом поле, объект закрепляется на электродах. При этом можно выполнять .нюбые операции, например переноску, визуальный контроль, маркировку объекта, нанесение паст и покрытий на него и т. д. Отпусканием кнопки коммутатора электроды отключаются от источника питания, закорачиваются, и объект перестает удерживаться м анипулятором.

Предмет изобретения

Манипулятор, содержащий корпус с паконечником и коммутатор, отличающийся тем, что, с целью удешевления, а также обеспечения транспортабельности и возможности работы в вакууме, наконечник снабжен двумя электродами, присоединенными через коммутатор к источнику напряжения.

433024 Pu z. 2

Составитель В. Сверчков

Техред Г. Васильева

Корректоры: В. Петрова и М. Коробова

Редактор Н. Козлова

11одппснос

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 3118/2 Изд. № 996 Тираж 837

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5