Устройство для подвода формовочного потенциала к окисляемому образцу

Устройство для подвода формовочного потенциала к окисляемому образцу

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ пп 437151

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 19.01.73 (21) 1874106/26-9 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 25.07.74. Бюллетень № 27

Дата опубликования описания 24.12.74 (51) М. Кл. Н 011 7/06

Государственный комитет

Совета Министров СССР оо делам изооретений и открытий (53) УДК 621.396.6.002.5 (088.8) (72) Авторы изобретения

В. А. Сычик и А. В. Николаев

Минское производственно-техническое объединение «Горизонт» (7I) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДВОДА ФОРМОВОЧНОГО

ПОТЕНЦИАЛА К ОКИСЛЯЕМОМУ ОБРАЗЦУ

Изобретение относится к тонкопленочной микроэлектронике и может найти применение в радиотехнической, электронной и других отраслях промышленности.

Известны устройства, в которых в качест )е токоввода к окисляемому образцу обычно используют Heîêèñëÿåìûé металлический зонд (из золота, платины), защищенный слоем изоляции.

Однако известные устройства не обеспечивают получение достаточно высокого качества структуры окисных пленок.. Причина состоит в том, что приконтактный участок зонда не защищен диэлектриком, вследствие чего в определенный момент времени наступает переброс тлеющего разряда на зонд, что приводит к прекращению роста окисла, а приконтактный слой окисла из-за сильного разогрева вследствие интенсивной бомбардировки ионов кислорода распыляется.

Поскольку толщина и структура растущего слоя зависят от формовочного потенциала, то получить окисные пленки требуемой для практических целей толщины и однородности структуры в данном случае невозможно.

Целью изобретения является повышение качества структуры окисных пленок.

Для этого остов токоввода подвижно закреплен на оси, расположенной в корпусе, причем зонд со стороны окисляемого образца жестко закреплен в диэлектрической пробке, а другой конец охвачен диэлектрической оплеткой, при этом остов токоввода выполнен из жаростойкого вакуумного диэлектрика.

5 На чертеже приведена конструкция устройства.

Устройство для подвода формовочного потенциала к окисляемому образцу содержит остов 1 токоввода, диэлектрическую пробку 2.

10 пружину 3, токопроводящий зонд 4, прижимное устройство 5, концевое устройство 6, образец 7 — пленки металла или полупроводника, нанесенного на изолирующую подложку 8, корпус 9 устройства, ось 10 и диэлектрическую

15 оболочку 11.

Остов 1 токоввода выполнен из жаростойкого вакуумного диэлектрика с оплавленным концом, в который введена ось 10. Остов 1 подвижно соединен с концевым устройством 6, 20 позволяющим свободно поворачивать и перемещать остов 1 токоввода на оптимальные расстояния в горизонтальной и вертикальной плоскостях. Концевое устройство 6 жестко соединено с корпусом 9 устройства.

25 Второй конец остова 1 токоввода имеет чистую притертую поверхность. Диэлектрическая пробка 2, в которой закреплен токопроводящий зонд 4, свободно плавает внутри остова I токоввода.

30 Устройство работает следующим образом.

437151

Предмет изобретения

Составитель Г. Ткачук

Техред В. Рыбакова

Корректор О. Тюрина

Редактор А. Зиньковский

Заказ 3449/8 Изд Р5 !17 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Требуемое давление токопроводящего зонда

4 на поверхность образца 7 осуществляется пружиной 3. Диэлектрическая пробка 2 притерта по отверстию остова токоввода 1 и обеспечивает надежную его изоляцию и изоляцию пружины 3 от кислородной плазмы. Выводящий из остова 1 токоввода токопроводящий зонд 4 одет в диэлектрическую оболочку 11, которая плотно прилегает к стенкам остова 1 токоввода. Прижимное устройство 5, жестко закрепленное на корпусе 9 устройства, служит для получения нужного давления наконечника остова токоввода 1 на поверхность окисляемого образца 7 и для предотвращения смещения остова токоввода 1 в горизонтальной плоскости.

Для получения окисного слоя на металлическом или полупроводниковом образце 7 последний подводится к окну плазменного генератора (не показан), Выходящая из генератора кислородная плазма омывает поверхность образца 7, подлежащую окислению, в результате чего происходит взаимодействие ионов металла (полупроводника) с кислородом, т. е. образуется и растет слой окисла, причем структура и толщина окисной пленки зависят от формовочного потенциала.

Выбором при помощи прижимного устройства 5 и концевого устройства 6 требуемого прилегания конца остова 1 токоввода к окисляемому образцу 7 можно получить высокую защиту контакта токопроводящего зонда 4 и образца 7 от воздействия кислородной плазмы, что приведет к увеличению формовочного потенциала без переброса тлеющего разряда на остов 1 токоввода, т. е. позволит увеличить толщину растущего окисного слоя и улучшить его структуру.

10 Надежный контакт токопроводящего зонда

4 с образцом 7 обеспечивается в течение всего процесса окисления оптимальным выбором давления пружины 3.

Устройство для подвода формовочного потенциала к окисляемому образцу, содержащее корпус, остов токоввода и зонд, расположен20 ный в полости остова токоввода, отлич ающе е ся тем, что, с целью повышения качества структуры окисных пленок, остов токоввода подвижно закреплен на оси, расположенной в корпусе, причем зонд со стороны окис25 ляемого образца жестко закреплен в диэлектрической пробке, а другой конец охвачен диэлектрической оболочкой, при этом остов токоввода выполнен из жаростойкого вакуумного диэлектрика.