Состав для травления арсенида галлия

Состав для травления арсенида галлия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

п11 43903б

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 17.07.72 (21) 1812395/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 05,08.74. Бюллетень ¹ 29

Дата опубликования описания 29.01.75 (51) М. Кл, Н Oll 7/50

Гасударственный комитет

Совета Министров СССР еа делам изобретений и OTKpbITNM (53) УКД 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

E. H. Дорская и В. В. Вейц (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ

Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может быть применено в областях, где предъявляются:высокие требования к качеству поверхности и плоскопараллельности снимаемых слоев полупроводниковых материалов.

Поскольку при изготовлении полупроводниковых приборов и исследовании полупроводниковых материалов требуются очень тонкие пластины, от нескольких микрон до десятых долей микрона, которые, нельзя получить шлифовкой и хим иком еханической полировкой, возникла необходимость доводить пластины до требуемой толщины травлением. Применяемый травитель должен обеспечить зеркально-гладкую поверхность пластины и плоокопараллельность снимаемых слоев.

Основными недостатками известных травителей являются: за висимость полирующих свойств от температуры; отсутствие ллоскопараллельности при травлении, завал тораев.

Цель изобретения — получение заркальногладкой полированной поверхности, предотвращение селективности травления и обеспечение плоскопараллельности поверхностей при стравливании слоев любой толщины.

Поставленная, цель достигается примене нием травителя следующего состава: 30 -ная перекись водорода и 65%-ная азотная кислота, взятые в соотношении 1: 3.

Пластину арсенида галия, которую нужно травить, кладут на дно сосуда с травителем

5 так, чтобы поверхность пластины была параллельна дну сосуда. Скорость травления при температуре 22 С вЂ” 6 мк/мин. Чтобы уменьшить скорость травления, нужно ввести в травитель воду, например, в следующем соотно10 шении 1 ч. Н202+3 ч. HNO>+10 ч. Н,О.

С ко рость травления в этом травителе при температуре 22 C — 0,5 мк/мин. Скорость травления можно уменьшить, увеличив количество азотной кислоты в травителе. Если

15 взять перекись водорода и азотную кислоту в соотношении 1: 10 соответственно, то скорость травления при температуре 22 С равна

2,7 мк/мин.

Предмет изобретения

Состав для травления арсенида галлия на основе азотной .кислоты, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой плоскопараллельной поверхности при

25 стравливании слое в арсенида галлия любой толщины, в состав введены перекись водорода, причем азотная кислота и перекись водорода взяты в соотношении 3: 1 соответствен но.