Рентгеновская приставка к электронному микроскопу

Рентгеновская приставка к электронному микроскопу

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ВСаСОЮЗР1АЯ

ВАЯ1т1 ; (ь и.;pgpg. фебиййаещ ффр„ф!

Соооэ Советских

Социалистимеских

Республик

ОП ИСАНИ Е (1 1) 442399

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСНШтоУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено Ю.05.72 F21)I782328Щ. (б1) щ. кл.

9 (Иф23/2О

Н K ЗУ/26 (я) Удк 627.386 (088.8) с присоединением заявки

Гооудеротоонньй нометет

Совета тенннстроа СССР по деяам нзооретеннй и открытнй (32) Приоритет

Опубликован(0509 74 Бюллетень % 33 дата опубликования описания Х5 ?2,74 (72) Авторы изобретения ВеНеРОЖ&Нокий,ПеlIеБ&рЭИЛОВИЧ В П Б&т&ЯИНо

В.Н.К&пличный, А.М.Климовицкий, В. В Лидер и А.Н.Мартыненко (71) Заявитель (541 РЕНТПНОБСКАЯ ПРИ ТАБИ К МЕКТРОННОМУ

МИКРОСКОПУ

Изобретеиие отиосится к блокам электроико-оптических прибороз, иапример к электроииым микроскопам, з которых для исследозаиия объекто» используется электроииый

Зоид

Иззестиы реитгекозские пристазки к электроикому микроаиализатору,предиазкачеииые для определе- „ иия йараметроз решетки, которые состоят из точечиого источкика. р :;сходящихся реитгвиозских лучей, плоской фотоплекик и системы упразлеиия. Эти устройстза примеияются только для одкого вида иссле- " до»акий: либо ка просзет, либо иа отражение.

С помощью иззестиых устройстз. иезозможко исследо»ать кристаллы кизших сиигоиий и деформирозаииые кристаллы, поскольку при этом иузио знать величину углоз между Определеннымй кристаллографическими капразлекиями исследуемого мокоФ

Гкристалла.

Цель изобрвтейия — позышекие; точиости и ииформатизиоети измерекий. Цель достигается благодаря применекию микрофотокамеры, поззоляющей располагать фотокассеты па обе стороиы от образца и прозодить съемки однозремеиио ка просзет и на отражеиие .

Точечкый источкик реитгеиозских лучей устаиозлеи ка урозке эмульсии фотоплеики при съеме иа отражение, з результате позышается точиость измерений и обеспвчизается зозможкость исследозаиия деформирозаииых кристаллоз и кристаллоз кизших сикгоиий.

На фиг.I показака микрофотокамера; ка фиг.2-предложвккая реитгекозская п стазка к электроикому микроскопу:.

Рвите;еиозская пристазка содержит юстирозочиый экраи ?,предказка чеииый для цеитрозкк и Фодусирозкк

3 электронного пучка зонда)) анод

2 -формирующий расходящийся пучок рентгеновских лучей,верхнюю фотокассету 3 для получения снимков з расходящемся пучке на отражение; нижнюю фотокассету Ф для получения снимков иа просвет, з котором закрепляется исследуемый объект б; РУ МЮЮИВВ СЪ юй размещают микрофотокамеру 8 при замере фотокассет; клапан откачки 9 камеры шлюзованйя 7; направляющие.

I0, по которым движется запи иющее устройство с микрофотокамерой; втулку ХХ для передачи зращвкйя от маховика к резьбовой втулке Х2; механизм центровки ХЗ; винт Х4 для перемещения микрофотокамеры и запирающего ишюзового устроиства; окна, Х5,цля наблюдения за микрофотокамерои.

Анод 2 служит точечным .источником расходящегося пучка рентгеновских лучей, размещается з микрофотокамере на уровне эмульсии фото-. пленки верхней кассеты 3, з котомкой, для этого выполнено отверстие. Устройство для закрепления. анода обеспечивает быстрый подъем его при .: вводе и выводе кассеты.

Внутри микройото еры помещается исследуемый объект. иа держателе 5, с помощью которого можно изменять расстояние между анодом и объектом. Под объектом 6 размещена другая кассета 4, используемая для съемки на просвет.

Иикрофотокамера 8 крепитея торцом к поршню запирающего устройства, который перемещается по направляющим 10 с помощью механизма центровки ХЗ. Направляющие снабжены двумя фиксирующими пазами А и Б для устаю ковки микрофотокамеры откосителько электронного пучка. Фиксация з точке Б осуществляется з режиме центровки, когда на ось пучка выводится юстировочный экран Х, Фиксация в точке А соответствует рабочему положению микрофотокамеры,когда сфокусироваиный пучок попадает ка анод 2 и образуется расходящийся пучок ентгенозских лучей. асходящийся пучок реытгекоз-.- . ских лучей проходит через образец

6, причем лучи, падающие ка криста ллографические плоскости под углом

4 Вульфа:Брагга отраюмся. .. Дифрагированиые таким образом лучи образуют прямой круговой конус, ко. торый при пересечении е фотойлек5- кой дает эллипс. Так как каждой отражающей СиСтеме плоскостей иоследуемого монокристалла соотзетст зует свой эллипс, то ка фотоплен„ ке получают совокупность эллипсов, о которая представляет собой рент..генограыаув расходящемся рентге, новском пучке ка отражение или иа просвет).

Конструкция микрофотокамеры

" позволяет проводить одйозременнйе исследования ка просвет и ка отра. жение, определять не только пара- метры решетки, но и отдельные меж, плоскостные расстояния (благодаря чему можно вычислить параметры

;,решеток монокристаллоз низших сингоний), акизотропные, т.е. кеодкородиые деформации з образце, „ проводить рентгеновскую микроскопию образцов и другие виды исследований.

Эа счет расположения юстиро:зочного экрана в плоскости анода достигается высокая точность фокусировки электронного пучка ка аноде,что увеличивает эффективность йсследований.

Предмет и з о б р ете кия

It. Рентгеновская приставка ,к электронному микроскоп, содержащая микрофотокамеру с точечным

® источником рентгеновских лучей и кассетой е фотопленкой, расположекной под делателем объекта, механизмы шлюзования и цектровкй, о т л и ч а в щ а я с я тем, 1 то, с целью. повышения точности и . ийФормативкости измерений, микрофотокамера устанозлека е воз можностью перемещения по направляющим с двумя фиксирующими пазами

9 и снабжена дополнительной кассетой, расположеккой кад держателем объекта, с отверстием, з котором ка урозкв фотоэмульоии фотопленки .размещен источкик рентгеновских лучей.

2..2жтгеадзскаядристазка по пХ,O тличавщаяоя

442399 б тем,что механизм центровки снабжен встировочным зкраном,расположенным

-на микрофотокамере.

3. Приставка йо пп. I и 2, отличающаясятем что расстояние между источником рентгеновских лучей и центром астировочного зкрана равно расстоянию между фиксиуушдмипазами,