Устройство для ориентирования кристаллографической плоскости монокристалла

Устройство для ориентирования кристаллографической плоскости монокристалла

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

О П И С А"Н И Е

ИЗОБРЕТЕН Ия (11) 44È31

Сотоз Советских i

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлеио03. 03.72 (2i) 1754745/

/26-25 с присоединением заявки(S1) М Кл.

Н 01 8 7/68

Государственный комитет

Совета Иинистроа СССР ео делам изооретений и открытий (32) Приоритет—

Опубликовано " О9 74 Бюллетень № @ (45 дата опубликования описания 15Л274 (53) УДК

621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

В.З.Балан, М.Л.Поляченко, E.È.Ñîñíèíà и С.Ф.Ткаченко

Опытно-конструкторское бюро института иеталлофизики

АН Украинскои ССР (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОРИЕНТИРОВАНИЯ

КРИСТАЛЛ ОГРАФИЧЕСКОИ ПЛОСКОСТИ

МОНОКР

Устройство относится к оборудо ванию полупроводникового производства и служит для оривнтированноИ резки монокристаллов. Ориентация осуществляется рентгеновским мотодом по какой-либо выбранноИ кристалдографичвскоИ плоскости.

Известны устройства для ориентации монокристаллов,например рвнтгеновскиИ гониомвтр с приставкоЙ, которая состоит из обоИмы и патрона для закрепления монокристалла. Приставка устанавливается на стол гониометра с помощью базовых шрифтов.

Для опрвдвлвния положейия кристаллографичвской плсскости относи-, тельно базовых штифтов (базовой плоскости) монокристалл поворачивается вокруг двух взаимнопврпвндикулярных освИ: вертикальной оси стола гониомвтра и горизонтальноИ оси приставки,. После достижения максимума отражвйия рентгеновских лучей в счетчик монокристалл фиксируется. Считываю си показания гониомвтра и вычисляется угол между баИСТАЛЛА

2 зовой и орентируемоИ кристаллографическоИ плоскостие

Приставка с монокристаллом пере5 носится и устанавливается с помощью базовых штифтов на поворотный стол станка для ориентированной резки.

Для совмещения плоскости реза инструмента с найдвнноИ плоскостью моно10 кристалла стол станка поворачивается на расчитанныИ угол.

Цель изобретения является повышение точности ориентированного реза монокристалла и упрощение проце,5 сса оивнтирования кристаллографической плоскости относительно базовых штифтов. Это достигается исключением операция считывания показаниИ по лимбу гониометра и воспроизведения расчетного угла на столе станка для ориентированной р заки.

На фиг. I схематически изображено предлагаемое устройство; на иг. Z - то же, вид сверху; на фиг. — сзчвние по базовому штифту.

Для крепления монокриоталла Х служит патрон 2, помещенный в обойму 3. Патрон может свободно вращаться вокруг горизонтальной оси. Привод патрона осуществляется посрэд- ь ством двигателя 4 через редуктор 5.

Обойма связана с пластиной 6 шарнирно с помощью оси 7. Пласт на, ..обойма, патрон, двигатель и редуктор составляют съемную часть прис« 1о пособлвния, предназначенную для установки на станок ориентированной резни>

Основание 8 продольные салаз- 15 ки 9, жестко связанные с ниии попврвчныв салазки ХО с винтом подачи ХХ и поперечная направляющая IP представляют собоИ механизм, позволяющиИ только плоско-параллельное о перемещение поперечной направляющей. Пластина зафиксирована на по-. первчноИ направляющей базовыми штифтами I5 входящими в ев .базовые отверстия, и закреплена с помощью откидных винтов Х4.

На основанХи 8 имеется штырь Х5, ось которого совпадает с ввртикальноИ осью вращения монокристалла относительно рентгеновского счетчика

Х6, куда попадает пучок рэнтгэновскйх лучэИ от монохроматора I7, Штырь с помощью жесткой т ти Х8, длина которой регулируется гайками

I9, связан с обоймой 5. Тяга IB npu перемещении нопврэчно направляющей

I2 сообща"- т поворот обойме с монокристаллом относительно базовых отверстий пластины и одновременно gäÎ æиваэт выбранную точку монокрис- 40 талла на вэртикалнои оси вращения.

Для ориентации какоИ-либо кристаллической плоскости монокристалла относительно базовых штифтов Х5 рэнтгэновский счетчик I6 устанавливается под углом 2.9 для данноИ плоскости {9 - Брэггозский угол) и монокристаллу сообщается два вращения: от двигатзля Ф через рвдкутор 5 вокруг горизонтальнор оси и от пвдемещэния поперечной направляющвИ ?2 посредством винта Ii и тяги ХВ вокруг вертикальной оси.

После достижения максимальной интенсивности отражения рентгеновских лучей в счетчик I6 монокристалл фиксируется. Для этого патрон 2 стопорится в обойме 3, а обойма фиксируется относительно пластины б.

Так как базовые штифты Х3 и пластина 6 сохраняют свою ориентацию во время поворота монокристалла вокруг ввртикальноИ оси, искомая плоскость монокристалла устанавливается параллельно плоскости базовых штифтов (базовой плоскости}.

Пластина освобождается от откидных винтов I4, съемная часть приспособлещя переносится на станок для ориентированной розки и устанавливается на базовые штифты стола, плоскость расположения которых всегда параллельна плоскости реза инструмента. При этом искомая кристаллографичвская плоскость монокристалла совмещается с плоскостью реза.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ устройство для ориентирования кристаллографичвской плоскости монокристалла относительно базовых элементов с помощью источника и счетчика рентгеновского излучения, содержащее основание и съемную часть, включающую обоЙму с патроном для закрепления монокристалла и базовые элементы, например штифты, оыичающэеся тэм, что, с целью повышения точности ориейтирования кристаллографичэской плоскости, между обоймой и основанием помещена пластина, шарнирно соединенная с обоймой и зафиксированная с помощью базовых элементов на механизме плоскопараллвльного движения, например перекрещивающихся направляющих, при этом обойма связана с закрепленным на основании штырем, ось которого совпадает с ввртикальноИ осью вращения монокриоталла.