Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек

Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

сто ю+ь о .кок:е а М

Союз Советских

Социалистинеских

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЮТВЛЬСТВУ (61) Зависимое от авт. свидетельства— (22) Заявлено20. 02. 73 i (21)l884787/2685 (51) М Кл.

Н OIE, 7/68 с присоединением заявки—

Государственный комитет

6оеета Мииистроа СССР по делам изооретений и открытий (32) Приоритет— (3публиковано15. IO. 746толлетень ¹ 38 (53) УИК 627.382 (088. 8) (45) Дата опубликования описания28. 6.74 (72) Авторы изобретения

В.В.Белицкий и Я.И.Точицкий (71) Заявитель (541 УСТРОЙСТВО ДЛЯ ТРАНСПОРТИРОВАНИЯ И ОРИЕНТИРОВАНИЯ

КРУГЛЫХ. ПОДЛОЖЕК

Изобретение относится к области микроэлектроники и может найти применение при производстве полупроводниковых приборов, например, для фотогравировки, Известна автоматическая система для подачи и предварительного ориентирования подложек.

Подложки подаются на воздушной подушке (на линейных воздушных подшипниках) на поворотный столик.

Ориентировка производится по плоскости срезанного сегмента при помощи двух фотоэлектрических головок, управляющих вращением столика. Эта система из-за своей сложности ненадежна в эксплуатации и требует применения средств автоматики и управления.

Известны также устройства для ориентирования и сортировки деталей, принцип действия которых основан на применении вибрации. Однако эти устройства не позволяют ориентировать детали круглой формы, у

2 которых в качестве ключа ориентации служит плоскость срезанного сегмента. ,Нля повышения надежности ори5 ентации подложек со срезанным сегментом в-предлагаемом устройстве ориенгирующий механизм содержит подвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластины с уп10 ругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования, консольно закрепленную на корпусе ориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом, 1б m базовый упор, жестко закрепленный на корпусе ориентирующего механизма,на расстоянии от подвижной базовой опоры, равном I-I,2 радиуса подложки.

20 На чертеже показан общий вид предлагаемого устройства. Устройство содержит основание I; пневмотранспортер 2 с бортами 3; ориентирующии механизм, содержащии кор25 пус 4 с прикреплейными к нему бор44692I том 5 и базовым жестким упором 6, подвижную базовую опору 7, прик-, репленную к корпусу 4 через. пружинный шарнир 8 и вибропривод 9.

Устройство работает слещющим и образом.

При подаче воздуха к пневмотранспортеру 2 и корпусу 4 ориентирующего механизма подложка, подан ная на пневмотранспортер, движется lo на воздушной подушке по йаправлению к ориентирующему механизму. Попадая на ориентирующий механизм, сопла IO которого расположены так, что выходящий из них воздух прижи= мает подложку к подвижной базовой опоре 7, упору 6 и создает вращающий момент, подложка оставливается. Момент сил трения подложки об пор 6 и подвижную базовую опору превышает вращающий момент. При включении вибропривода 9 подвижная базовая опора 7 начинает вибрировать, и момент, вращающий подложку, йревышает момент сил трения во 25 время отрыва ее от подвижной базовой опоры 7. Подложка поворачивается до тех пор, пока плоскость срезанного сегмента не совпадает с вибрирующей базовой опорой 7. Такое зо фиксированное положение подложки позволяет при выключенном приводе вибратора выполнять такие технологические операции, как перенесение изображения фотошаблона на подложку, измерения параметров приборов на неразрезанной подложке и др;

ПРЕДМЕТ ЛЗОБРЕТЕНИЯ

Устройство для транспортирования и ориентирования круглых подложек, например, полупроводниковых, состоящее из йневмотранспортера с соплами и ориентирующего механизма, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности ориейтации подложек со срезанным сегментом, ориентирующий механизм содержит подвижную базовую опору, выполненную в виде плоской пластйны с упругим шарниром, расположенную перпендикулярно оси транспортирования, консольно закрепленную на корпусе ориентирующего механизма и кинематически связанную с виброприводом, и базовый упор, жестко зак-, реплейный на корпусе ориентирующего механизма на расстоянии от подвижной базовой опоры, равном I-I,2 радиуса подложки.

44692I

Составитель Ц ф ур цудцд

PeaaKTopNa ИфбИНЙ Техред Я, ®QPQggg

3„,, 3:йЖ

Изд. Ì 7

Тираж 760 Подписное

ЦН111!11И Pîñóäàðñòâåííîãî комитета Совета Министров СССР но делам изобретений н открытий

Москва, 113035, Раушская наб., 4

11реднриятис «Патент», Москва, Г-59, Бережковская наб., 24