Устройство для резки полупроводниковых материалов

Устройство для резки полупроводниковых материалов

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

И ..:ЕСОЮЗ1" АЙ

Я И с--: Т..0- ;, . ;=ъ;- А% библиотека МБА

0260 п11 45

ОП КСАН ИЕ

И ОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советскик

Социалистических

Респчблик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 25.10.71 (21) 1708559, 26-25 (51) М, Кл. Н Oll 7, 68 с присоединением заявки №

Государственный комитет

Совета Министров СССР

fI0 делам изобретений (32) Приоритет

Опубликовано 15.11.74. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 07.05.75 (53) УДК 621.382(088.8) и отнрытнЙ (72) Авторы изобретения П. Д. Медведев, Г. А. Доброхотов, 1О. В. Данковский, В. Ф. Бандик, М. P Муравчик, В. А. Дулин и 1О. П. Безсалов (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РЕЗКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЪ|Х

МАТЕРИАЛОВ

Изобретение относится к оборудованию для обработки полупроводниковых материалов, например германия и кремния.

Известны устройства для резки полупроводниковых материалов, в которых подача кристаллических стержней осуществляется вручную при помощи поворотного механизма или путем ручного перемещения подвижной части суппорта, на котором закреплено зажим ное устройство. Однако ручная подача стержня на отрезной круг обуславливает неравномерную скорость его перемещения, в результате чего при дорезании стержня образуются надломы или сколы.

Для повышения качества резки за счет создания монотонно уменьшающегося по величине пажимного усилия в предлагаемом устройстве механизм подачи выполнен в виде двух рычагов, шарнирно связанных друг с другом посредством дроссельного регулятора, один из которых шарнирно установлен на неподвижной стойке, а другой с закрепленным на его конце зажимиым приспособлением шарнирно подвешен на свободном конце первого рычага.

На чертеже показано описываемое устройство.

На столе 1 корпуса устройства закреплены снизу шпиндель отрезного круга 2 с приводом

3, а также неподвижная стойка 4, с которой шарнирно связан рычаг 5 механизма подачи.

Поворот рычага 5 осуществляется вокруг оси

6 при помощи ручки 7 эксцентриконого кулачка 8, сидящей на оси 9. Рычаг 10 установлен на оси 11 рычага 5 и соединен с ним гидрорегулятором 12. На нижнем конце рычага 10 закреплено зажимное приспособление для стержня 13.

Устройство работает следующим образом.

Io Стержень 13 фиксируется в зажимном приспособлении рычага 10. 3а счет поворота ручки 7 кулачка 8 вокруг оси 9 рычаг 10 со стержнем 13 выводится из положения вертикального равновесия и под действием соб15 ственного веса начинает поворачиваться вокруг оси 11, осуществляя подачу стержня на вращающийся отрезной круг 2 с монотонно уменьшающимся нажимным усилием. Длину рычагов выбирают такой, чтобы окончание про2О цесса резки соответствовало во времени перемещению рычага 10 в положение вертикального равновесия, благодаря чему в момент выхода режущего инструмента из тела разрезаемого стержня величина нажимного усилия

25 практически равна нулю. Гидрорегулятор 12, имеющий отверстие с дросселем для перетекания жидкости из одной полости в другую служит для регулировки необходимой величины начальной скорости подачи и демпфирования зо радиальных биений. Возврат разрезанного на

45д260

Предмет изобретения

Составитель Ю. Цветков

Техред Н. Куклина

Редактор А. Пейсоченко

Корректор Л. Царькова

Заказ 1072/11 Изд. № 1205 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, K-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 две части стержня в исходное положение производится при помощи эксцентрикового кулачка 8.

Устройство для резки полупроводниковых материалов, содержащее режущий инструмент, зажимное приспособление и механизм подачи, отличающееся тем, что, с целью повышения качества резки за счет создания монотонно уменьшающегося по величине нажимного усилия, механизм подачи выполнен в виде двух шарнирно связанных друг с дру5 гом посредством дроссельного регулятора ры. чагов, один из которых шарнирно установлен на неподвижной стойке, а другой с закрепленным на его конце зажимным приспособлением шарнирно подвешен на свободном конце пер10 вого рычага.