Устройство для ориентации

Устройство для ориентации

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (!!) 450 26l

Союз Советских

Социалистических

Республик (61) Зависимое от авт. свидетельства (22) Заявлено 13.06.72 (21) 1795954/26-25 с присоединением заявки № (32) Приоритет

Опубликовано 15.11.74. Бюллетень № 42

Дата опубликования описания 28.03.75 (51) М. Кл. Н Oll 7/68! осударстаенный комитет

Соаета Министров СССР оо делам изобретений и Откоытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения

В. В. Дедов, В. Н. Кузнецов и Б. Б. Новиков (71) Заявитель (54) УСТРОИСТВО ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ

Изобретение относится к промышленному производству полупроводниковых приборов и может быть использовано для ориентации пластин на операции совмещения ее с фотошаблоном в процессе фотолитографии.

Известна проекционная установка совмещения и экспонирования, которая включает в себя узел ориентации полупроводниковых пластин по фаске, определяющей положение кристаллографических плоскостей. Этот узел содержит стол, на котором размещен корпус с двумя рабочими рычагами, приводимыми в возвратно-поступательное движение стержнем. При этом один из рычагов имеет базовую и ориентирующую плоскости, расположенные под углом одна к другой, а другой рычаг — одну ориентирующую плоскость, направленную в сторону угла первого рычага.

Пластину фаской устанавливают против базовой плоскости рычага и с помощью стержня, сообщающего перемещение рычагам, ее выравнивают. Однако этот узел позволяет ориентировать пластины только вручную и поштучно. Процесс загрузки требует внимательного отношения оператора, так как необходима точная предварительная установка фаски пластин относительно базовой плоскости рычага. Сами же пластины в момент загрузки или разгрузки могут быть подвергнуты повреждению (сколы, царапины и т. п.). В результате этого узел характеризуется малой производительностью и его невозможно применять на установках для комплексной обработки пластин.

5 Цель изобретения — автоматизация процесса ориентации и повышение его качества. Это достигается тем, что ориентирующие рычаги выполнены каждый из двух шарнирно соединенных на концах и связанных пружинами

10 звеньев, причем ось вращения одного из звеньев установлена на регулируемой направляющей, а конец другого звена контактирует с управляющим кулачком.

На чертеже схематически показано описы15 ваемое устройство, план.

Оно содержит плиту 1, на которой укреплена направляющая 2. В направляющей 2 размещен базовый упор 3, который поджат через ролик 4 к профильному кулачку 5 двумя пру20 жинами 6. На плите 1 укреплены две направляющие 7, в которых размещены планки 8.

Последние могут перемещаться от регулировочных винтов 9, что необходимо для работы с пластинами различного диаметра. На осях

25 10, размещенных на планках 8, укреплены рычаги 11, на которых расположены оси 12, упорные штифты 13 и ролики 14. На осях 12 установлены короткие по отношению к рычагам 11 рычаги 15 с роликами 16. Рычаги 11 и

30 15 соединены между собой пружинами 17.

45026I

Ролики 16 поджаты к кулачку 18 пружинами 19.

Пластины 20, расположенные в гнездах дискообразной кассеты (на чертеже не показана), поочередно поступают на позицию ориентации их по фаскам, определяющим положение кристаллографических плоскостей, относительно базовой плоскости упора, скоординированной с фотошаблоном.

В исходном положении угол наклона фаски к базовой плоскости упора 3 может быть в пределах 15 в ту или другую сторону. Так как установка совмещения работает в автоматическом цикле, то во время выстоя пластины на позиции ориентации включается привод кулачков 5 и 18. От кулачка 5 через ролик 4 базовый упор 3 перемещается в направлении пластины 20 и останавливается в заданном положении. Затем от кулачка 18 через ролики 16, рычаги 15 и пружины 19 рычагам 11 сообщается по одному колебательному движению, которые происходят последовательно одно за другим. Сначала приводится в движение правый (левый) рычаг 11, который, поджимая плоскость фаски пластины

20 к базовой плоскости упора 3, предварительно выравнивает ее, а затем то же самое происходит с левым (правым) рычагом 11, но в этом случае ориентирование будет точным. После этого оба рычага 11 работают в одном цикле, плотно поджимая пластину 20 к базовому упору 3 и надежно фиксируя ее.

Затем рычаги 11 и базовый упор 3 одновременно асхолятся. ппиво кулачков 5 и 18

10 отключается и пластина 20 поступает на следующую технологическую операцию.

Предмет изобретения

Устройство для ориентации полупроводни15 ковых пластин, содержащее корпус, ориентирующие рычаги, подводимый упор и управляющие кулачки, отличающееся тем, что, с целью автоматизации процесса ориентации и повышения его качества, ориентирующие ры20 чаги выполнены каждый из двух шарнирно соединенных на концах и связанных пружинами звеньев, причем ось вращения одного из звеньев размещена на регулируемой направляющей, а конец другого звена контак25 тирует с управляющим кулачком.

450261

Составитель Ю. Цветков

Текред Г. Дворина

Корректор А. Степанова

Редактор Л. Тюрина

Типография, пр. Сапунова, 2

Заказ 688/16 Изд. № 1117 Тираж 760 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5