Способ изготовления оптического покрытия

Способ изготовления оптического покрытия

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОЬЕЕтЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 1п 461398

Союв Соватских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 21.05.73 (21) 1921338/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7 (51) М. Кл. G 02Ь 5/28

Гасударственный камитет-.

Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий (53) УДК 535.345.67 (088.8) Дата опубликования описания 23.07.75 (71) Авторы изобретения

Л. Б. Кацнельсон и Ш. А. Фурман (71) Заявитель (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ОПТИЧЕСКОГО

ПОКРЫТИЯ

Изобретение относится к оптическому приборостроению и может найти применение в приборах, предназначенных для работы в заданном спектральном интервале, используемых в спектроскопии, космических исследованиях, цветном телевидении и т. и.

Известны способы изготовления оптического покрытия, например, спектроделителя, заключающиеся в последовательном нанесении на подложку чередующихся слоев с большим и меньшим показателями преломления с одновременным контролем при фиксированной длине волны пропускания подложки с системой слоев, включающей наносимый, и регистрации экстремальных значений величины отсчета, пропорциональной пропусканию.

Цель изобретения — уменьшение отклонения спектральных характеристик от заданных.

Для этого по предлагаемому способу при напылении предпоследнего слоя фиксируют экстремальные значения отсчета, а напыление последнего слоя прекращают при достижении величиной, пропорциональной пропусканию, расчетного значения, функционально связанного с фиксированными отсчетами.

Способ осуществляется при получении оптического покрытия путем термического испарения в глубоком вакууме веществ, образующих слои покрытия. В процессе нанесения слоев контролируют их толщину фотоэлектрическим методом, основанным на измерении светового потока, пропущенного образцом, на который осаждают вещества. При

5 этом о толщине пленки судят по известной зависимости коэффициента пропускания оп оптической толщины. Контроль производится при нанесении слоя на уже готовые слои.

Непосредственно на подложку наносят че10 редующиеся слои с высоким (n„) и низким (и„) показателями преломления. Слои образуют покрытие, спектральные характеристики которого в области низкого пропускания сформированы. Контроль этих слоев ведут при

15 фиксированной длине волны, расположенной в середине зоны низкого пропускания. О достижении слоем требуемой толщины судят по эстремумам пропускания, регистрируемым, когда оптическая толщина слоя становится

20 кратной четверти длины волны, на которой ведется контроль.

Таким образом, наносят все слои, кроме последнего, который напыляют до достижения расчетного значения отсчета, вычисляемого по

25 результатам, полученным на предпоследнем слое. При нанесении предпоследнего слоя регистрируют максимальное $ и минимальное cp„„„„» значения величины ср, пропорциональной пропусканию подложки с покрытием, 30 включающим наносимый слой. Разность

461398

Составитель В. Ванторин

Редактор Т. Иванова Техред Е. Борисова Корректоры: Л. Корогод и О. Данишева

Заказ 1261/18 Изд. № 409 Тираж 593 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Я-35, Раушская наб., д, 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2

Лгр = грмаис армии зависит от показателей преломления и, и п„ошибок в толщинах слоев и от чувствительности и темпового тока фотометра, с помощью которого ведется контроль. Функциональная связь между этими величинами довольно громоздка. Можно показать, что для покрытий, содержащих более

6 — 7 слоев, зависимость значительно упрощается. (Обычные интерференционные спектроделители имеют не менее 11 — 15 слоев).

Зная разность Ау, можно вычислить вызванное ростом последнего слоя изменение отсчета рЛо, при котором следует закончить напыление этого слоя, чтобы получить требуемую его толщину.

Величину уА< вычисляют по следующим выражениям: — (л — 1) (1 — cos ал)

Ь(г

Н (n — 1) ((n„— I) (1 — cos а-,.) — 2n„) — для последнего слоя с низким показателем преломления; п„(л — 1) (1 — сова )

2 и . О— Ае (и „вЂ” 1) ((n„— 1) (1 — cos z ) + 2 — для последнего слоя с высоким показателем преломления. где а — величина, показывающая, во сколько раз оптическая толщина последнего слоя от5 личается от четверти длины волны света, при которой производится контроль.

Предмет изобретения

Способ изготовления оптического покрытия, 10 например, спектроделителя, заключающийся в последовательном нанесении на подложку чередующихся слоев с ббльшим и меньшим показателями преломлен ия с одновременным ко нтролем при фиксированной длине волны

15 пропускания подложки с системой слоев, включающей íàноси мый, и регистрации экстремальных значений, величины отсчета, пропорциональной пропусканию, отличающийся тем, что, с целью уменьшения отклонения спект20 ральных характеристик от зада нных, при напылении предпоследнего слоя фиксируют экстремальные значения отсчета, а напыление последнего слоя прекращают при достижении величиной, пропорциональной пропуска нию, 25 расчетного значенпя, функционально связанного с фиксированными отсчетами.