Устройство получения и подвода рабочей смеси

Устройство получения и подвода рабочей смеси

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОПViCAHИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ и 461467

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 28.12.72 (21) 1863484/26-25 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 25.02.75. Бюллетень № 7

Дата опубликования описания 15;04.75 (51) М. Кл. Н OIL 7/68

Государственный комитет

Совета Министров СССР (53) УДК 621.382(088.8) ло делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения Г. Б. Виноградов, P. Б. Окунь, Л. С. Турилина и Н. А. Сенатова (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ПОЛУЧЕНИЯ И ПОДВОДА РАБОЧЕЙ СМЕСИ

Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Известны устройства, которые содержат печь сопротивления, в которую помещена кварцевая труба с держателем подложек. В таких устройствах рабочий газ разделен на два потока, один из которых поступает непосредственно в реакционную камеру, а другой — через термостатированный испаритель, Для предотвращения преждевременного разложения трубопроводы подогреваются.

Однако известное устройство характеризуется плохой воспроизводимостью процесса и низкой производительностью установки, Цель изобретения — обеспечить хорошую воспроизводимость процесса при одновременном повышении производительности устройства и создании максимального удобства в работе.

Это достигается тем, что устройство содержит резервуар-испаритель, окруженный объемом, соединенным с одной стороны через термостат с источником газа-носителя, а с другой стороны, через трубопровод, — с резервуаром испарителя.

На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого устройства.

Испаритель 1 и газовая рубашка 2 соединены между собой трубопроводом 3. В верхней части корпуса испарителя 1 расположено переключающее устройство 4, с помощью плунжера 5 которого переключают поток рабочей смеси: либо по патрубку 6 с реакцион5 ной камерой 7, либо по трубопроводу 8 на сброс в атмосферу. Основание 9 для размещения подложек имеет возможность перемещения и расположено в непосредственной близости от патрубка 6. По трубопроводу 10 газ10 носитель из термостата 11 поступает в газовую рубашку 2, Геометрические размеры патрубка определяются расходом рабочей смеси и проходным сечением соединительных трубопроводов, а

I5 геометрические размеры основания — количеством подложек и их размерами.

Газ-носитель из термостата 11 поступает по трубопроводу 10 в воздушную рубашку 2 и по

20 трубопроводу 3 — в испаритель 1. Из испарителя рабочая смесь через газораспределительный золотник поступает в патрубок 6, а затем на подложки. В начале процесса и по его окончании золотник перемещается вправо, 25 соединяя таким образом испаритель 1 и трубопровод 8 на сброс в атмосферу.

Регулировка концентрации рабочей смеси производится грубо и точно, Грубая регулировка достигается изменением тока в цепи на30 гревателя газа-носителя, а точная — измене461467

Составитель А. Усков

Редактор А. Батыгин

Те. <ред А. Камышникова

Корректоры: Л. Корогод и А. Николаева

Заказ 838/18 Изд. ¹ 433 Тираж 833 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография, пр. Сапунова, 2 нием расхода этого газа через нагреватель с помощью стабилизатора расхода газа.

Предмет изобретения

Устройство получения и подвода рабочей смеси для установок наращивания пленок, содержащее резервуар-испаритель, связанный через распределитель с патрубком подачи смеси, системы подачи газа-носителя и подогрева, отл и ч ающееся тем, что, с целью обеспечения лучшей воспроизводимости процесса и повышения производительности, резер5 вуар-испаритель окружен объемом, соединенным с одной стороны через термостат с источником газа-носителя, а с другой стороны, через трубопровод,— с резервуаром испарителя.