Способ размерного травления меди

Способ размерного травления меди

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

ОП ИСАНИЙ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

Союз Советских

Социалистических

Республик (»)6 304 86

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву % (22) Заявлено 11.01.74 (21) 1986974/21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.09.76.Бюллетень № 35 (51) М. Кл

Н 05 К 3/26

С 23 F 1/02

Государственный комитет

Совета Иинистров СССР оо делам изобретений н открытий (53) УДК 621.396. .049.75.002 (088.8) (45) Дата опубликования описания 14.12.76 (72) Авторы изобретения

Л.И..Максимова и 83.И. Федоров (71) Заявитель (54) СПОСОБ РАЗМЕРНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ

Е21.

Изобретение относится к получению травленых рельефов с заданными размерами на мельсодержащих материалах, нанесенных методом вакуумного распыления или из паровой фазы на изолирующие подложки или системы с соответствующими подслойными IIDoводящими материалами.

Изобретение может быть использовано при получении линий в акустических преобра- 1О зователях, изготовлении пассивных интеграль. ных схем на полупроводниках, элементов интегральных схем на изолирующих подложках и т.д., (в микроэлектронике, оптике, точном машиностроении) .

Известен способ травления меди на основе раствора хлорной меди Ñè С6 с добавлением НС, МаСС или NH C6 t 15

Однако при травлении меди на участках, не закрытых слоем фоторезиста, происхо-. 2О дит растравливание боковых границ меди.

Известен также способ травления медной пленки на основе раствора хлорного железа РеСа з с небольшим количеством НСЕ, 2

Однако при этом получается недостаточная точность воспроизведения рисунка.

Цель изобретения — повышение точности воспроизведения рисунка, например пленочных схем.

Для достижения цели в способе размерного травления меди, например при изготовлении пленочных схем, в одном растворе галоидсодержащих веществ используют водный раствор иодистого калия и иода при следующем соотношении компонентов (в вес.ч.):

Иод 0,9- 1,1

Иодистыи калий 3,5 — 4,5

Вода 19 — 21 после чего производят обработку в 10-25%ном растворе аммиака.

Сущность способа заключается в следующем.

Первоначально нанесенную медь (вакуумным напылением, из паровой фазы и т.д.) в открытых участках (не закрытых слоем ф торезиста) переводят в соединение иодистой меди (белый налет), используя состав на основе >: К "zo =1:4:20 (весовое со530486

Составитель В. Лякишев

Редактор Н. Коляда Техред М. Левйцкая Корректор С. Болдижар

Заказ 5228/644 Тираж 1029 Подписное

UHMHIIN Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, -35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 отношение), после чего иодистую медь удаляют 10%-ным раствором аммиака в виде растворимого иодно-аммиачного комплекса

C C u (N H ) 1 3, не затрагивая меди, находящейся под слоем Фоторезиста, 5

Такое решение поставленной задачи позволяет получить отклонение размеров элементов (линий, диаметров отверстий и т.д.) на меди, полученных после травления, не более, чем на 1 мкм на сторону по сравне- р нию с размером, заданным на фотошаблоне.

Пример . Подложка из полупроводника или изолирующего материала (ситалла, поликора) или другого материала, обработанная по 13-14 классам чистоты ГОСТа пос- 1к ледовательно обезжиривается в растворителях типа четыреххлористого углерода, толуола, спирта, после чего покрывается слоем стандартного фоторезиста на центрифуге толщиной 0,6-0,7 мкм, экспонируется и про-gp является в 0 5 н. растворе КОН, сушится при 85оС в течение 20 мин, задубливается при 125оС в течение 30 мин, после чего погружается в состав на основе : К3: Н О =

= 1:4:20 (весовое соотношение). Образую — 25 щийся в открытых участках белый налет иодистой меди удаляется затем в 10%-ном растворе аммиака. При этом образуется иодноаммичвый комплекс.

При травлении меди для получения линий 30 с исходными размером 6 и 50 мкм получа— ют размеры 4,0; 4,1; 4,3; 1,4 „25 ... и

48,3; 48,15; 48,2;, 48,0; 48,2 ... мкм соответственно.

При использовании обычных травителей для меди эти участки оказались полностью стравленными.

С использованием обычных травителей, например,на основе хлорного железа, получают размеры 36,7; 38,2; 37,7; 37,0 ... мкм. !

Формула изобретения

Способ размерного травления меди, напI ример при изготовлении пленочных схем, в водном растворе галоидсодержащих веществ, отличающийся тем,что сцелью повышения точности воспроизведения рисунка, например пленочных схем, используют водный раствор иодистого калия и иода при следующем соотношении компонентов (в вес.ч.):

Иод 0,9-1, 1

Иодистый калий 3, 5-4, 5

Вода 19- 21, после которого производят обработку в 1025%-ном растворе аммиака.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1. L.Н.Sharpe сей 7.D &агп. зпд.1пд;Chem,voL 51, р. 293-298, 1953, 2. Аренков A.Á. Печатные и пленочные элементы радиоэлектронной аппаратуры. М., "Энергия", 197 1., с. 127 (прототип) .