МАКСИМОВА ЛЮДМИЛА ИВАНОВНА

  I ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Реслублик (lli"5ХЗХ 1 (К АВТОРСКОМУ СВИДИПЛЬСТВУ (6)) Дополнительное к авт. свнд-ву (22) Заявлено 09.09.74 (21) 2059784/26-21 с присоединением заявки № (51) M. Кл.а С 23$ 1/02 Гфсударстввннмй комитет Ваавта Минивтроа СССР В делам нваврвтвний н аткрмтнй (23) Приоритет (43) Опубликовано 05.05.76. Бюллетень № 17 (45) Да...

  ОП ИСАНИЙ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик (»)6 304 86 К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву % (22) Заявлено 11.01.74 (21) 1986974/21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.09.76.Бюллетень № 35 (51) М. Кл Н 05 К 3/26 С 23 F 1/02 Государственный комитет Совета Иинистров СССР оо делам изобретений н открыт...

  ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистмческих Республик ю 783891 (61) Дополнительное к авт. свмд-ву— (22) Заявлено 211278 (21) 2709158/18-21 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет Опубликовано 30.1180. Бюллетень № 44 (51)м. к. Н 01 L 21/312 Н 05 К 3/26 Государственный комитет СССР по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.396.6-181...

  СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ПОЗИТИВНЫХ ФОТОРЕЗИСТОВ, основанныйна определении величины, характеризующей время отслаивания в проявителе, и оценке по ее значению качества фоторезиста, нанесенного на подложки. .отличающийся тем, что, с целью расширения области применения , одну из подложек с нанесенным фоторезистом облучают ультрафиолетовым излучением с интенсивностью, превышающей опти...