Устройство контроля контактирования зондовых установок

Устройство контроля контактирования зондовых установок

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СФФЗ Cc**iя етскмж

СФщйапнстичьеыих

Ре<п бпин

ОЛ КСАНЙЕ

ИЗСБРЕТЕГ ИЯ и АВХОРСИОМУ "ВМДИЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. вид-ву Х 472346 (22) ЗаявлЕно 09.01.75 (21) 2100073/21 с присоединением заявки №вЂ” (23) Г»риоритет (51) М. Кл.

@01â 3170

6 01 Н 31/28

Н О К13»08

Гасударственный аонтот

Совета Мннастроа СССР го дала@ изооретовий я открытей (43) Опубликовано 05.10.76. Бюллетень ¹ 37 (53) УДК э 96 664

6 1.3 (088.8), (45) Дата опубликования оп> (72) Авторы изобретения

Л. И. Ажоткин и M. C. Ky (71) Заявитель (54) УСТГОЙСТВО КО11ТРО.-»Л КОНТА1.-ТИГОВАНИЯ

ЗОНДОВЫХ УСТАНОВОК

Изобретен"". опгосится к вы гислительной техниК0 может б, ь использовано в автоматизированных устройств;- . контроля интегральных схем для обна- ружения э.:мыкания зондов зондовых установок.

Изв -"-;ны устройства контроля ко тактирования, х..дящие в конструкцию зондов эондовых установок, в которых при касании зонда кремниевой пластины разрывается специальный кон гакт.

Известно также устройство контроля контактирования зондовых установок (авт.св. Г1 472346), содержащее головки с зондами, соединенные с подвижными контактами электромагнитных реле, измерительный блок, элемент НŠ— И31И, триггер, источник напряжения, блок управления и резисторы, соединенные с нормально разомкнутыми контактами электромагнитных реле.

В известных устройствах невозможен контроль отсутствия замыкания между соседними зондами.

Однакоуказанная неисправность часто встречается при контроле интегральных схем (ИС) на неразре:миных пластинах., что приводит к браковке годных .ИС.

Цель изобретения — расширение функциональ.,»ных возможностей устройства контроля.

11редпагаемое устройство отличается тем, что в него введены два элемен"а ИЛИ, два ключа и реле, причем в;оды эпеменгов ИЛИ ;оедшены с соответствуюгцпми нормально разомкнутыми контактами электромаьчщгных реле, а выходы — со входами, элемент,l НŠ— И31И, блок управления соединен с. управляняцпмн н..одами ключей и с обмоткой управления реле, подвижный контакт которого связан с земляной шиной устройства, а нормально, 1О замкнутьш контакт подключается к земляной шине контролируемой интегральной схемы, вход первого ключа подсоеещ1 яется к источнику напряжения, а; ! выходы клю сей связаны соответственно с одним из входов элемента НŠ— ИЛИ и с резисторами.

На чертеже гредставлена структурная схем устройства.

Контакппае площадки контролируемой интегральной схемы 1 с помощью зондов 2 — 7 соеди. я{) няются с подвижными контактами электромагнит ных реле 8 — 13. Нормально замкнутые контакты этих реле соединены со входами измерительного блока 14.

Нормально разомкнутые контакты реле с четны25 ми номерами — 8,10.12 — соединены с элемен531104 том ИЛИ 15 и через соответствующие резисторы

16,17,18 — с источником напряжения 19.

Нормально разомкнутые контакты реле с ie«eTными номерами — 9,11,13 — соединены с элементом ИЛИ 20 и через соответствующие резисторь(21,22,23 и ключ 24 также подсоединены к источни. ку напряжения 19. Выходы элементов ИЛИ 15 и 20 соединены с элементом НŠ— ИЛИ 25, который подключен к триггеру 26, а выход элемента ИЛИ 15 дополн(ггельно связан с выходом ключа 27, вход которого соединен с блоком управления 28. 110движпый контакт реле 29 соединен с земляной (IIHной устройства, через его нормально замкнутый ,контакт зонд 30 соединен с земляной шиной контролируемой схемы 1, а управляющая ,обмотка реле 2) связана с выходом блока управления 28.

1jpll (lj30I3apKC K0IiT Ii<3!!pOB3((H5l Злсктро in(liHTHblc реле 8-13 подсоединяют зонды 2-7 чср 3 резисторы 16, 17, 18, 21 — 23 к источнику напряжс(>ня 19.

Ключ 24, предсгавляинций собой рслс лиоо полупроводниковый ключ, оп<рыт. Нри отсутствии контакта между любым из зондов с одной из Kola! акп(ых (Мощадок и псгральной схемы ток через соответствующий резистор и(. Ilp0T cKiicт, -1 го приводит к появлению высокого потенциала на одно(1 из входов Зле((с!(TB

НЕ--ИЛИ 25 и низког0 потснциа>га на его выходе.

Тp(ll r(p 26 ilpH этом (ге псрсорас((васII 5(> свицстельствуег об О гсутс(впи контакта зонда с контакт((ОЙ плО(цад(<ой H(ric(j>, JI(((OE(cxa(v(((. (1(.M(. p зонда, нс имея>щего ко((T;»ох(((илн гагра; (ь ноЙ cx(J ((.b! 1, o(((. c. (">inc i 51

QTcyTcTBH(0 T0(<., через;Qo(-.>сi(i raJ(o(>,ни рез(:с(0(>.

Ijj>l(1l,>Ов j)Kc 0(с(г(стви((Заь";ыкаlll(5 а(ежду сосед(в(ми зондами по си(налу блока управлс(>ия 28 реле 29 отсосдиняс г зонд 30 от зсь(5(5(но(1 шины, закрывается кл(оч . 4 H открывас>ся <51((>ч 27, н(унтируя выход Злемеi(TQ ИЛИ 15. (111>и 3((>м напряххсние с источника 19 поступает только на зонды

ИО;.(c;>a (a. Ток >(cpc3 >сзи,"(0>р ь(i 6 j 18 не ilporaKa;i так Kal< цепь, азор(нала рслс 29. 11а выход1 элемента ИЛИ 15 появляется с(н":гал "с((((н((.

Ы ца (высокого нотснпиа>(а7, так как (la все aхолы элемента ИЛИ 15 посту((ают си(на((ы "единица" ((>г источника напряжения 19 чсрез резисторы 16,17,18) . На входы элемента ИЛИ 20 5-осту,пают с((гна>(ь(нуль" (низкого потс(лв(аilа), >ак как входы этого элемента QTcoc,,((нснь(or источни м ка напряжения 19 ключом 4. Сигна>1 "единица с элемента ИЛN 15 шунгирустся оп<рьпым к(почем 27. С элемента ИЛИ О снимается сгн нал

"нуль".

Сигнал высокого ногснциала на один из входов элемента ИЛИ 20 поступает голько в TOM случае, если один из нечетных .Ондоц> 3,5,7 замьп<аегся с

Н) ...-> одним из соседних четных зондов,4,6. Например, если замыкаются между собой зонды 2 и 3, уровень высокого потенциала От и точника напряжения 19 через резистор 16 и замкнутые зонды 2 и

3 попадает на вход элемента ИЛИ 20. На его выходе

)I(o5IaJI5IeTc5I сигнал "единица", который через эле- мент HE — ИЛИ 25 устанавливает триггер 26 в исходное состои((не... что свидетельсгвуст 0 замыкании между зондамг(. 11р(1 отсутствии 3aM(>11тс>1 кон(акты зондов 2-7 сконтактнымн площадками контролируемой и «e(paJ(bnoji схемы 1 и нет зам((ка(п(я между 30(IJiauH 2 — 7, электромаг(пг(нь(е реле 8.-13 подсосдипя(от контролируемую схему 1 через свои (;oj>.(I(>1ü((o замкнутые коlггакты к выводам измеC рип:лы(ого блока 4, контролируюп(его электрические параметры ш тегральной схемы 1.

Формула изобретения

У с (1>он с(В О K (и l (Р о J(5i к oi (Ta K (1!Р ОБ а ни Я зОНДОвых уста((»вок но авт. св. И" 472346, (>1 ли ч а н>Щ C (> С Я тем, 1 i 0, i ЦС>IЫО РЯСШ1(РСН1155 .(Ч > lli ЦИОв" >(b(lых возvi >ix(loс> сй !5 !(с> О ввс ((:ны два эхгемснTB 1(ЛИ, два к>исча и реле, причем входы элементов И1И соединены с соответствующими нормаль}0 разомкнутыми конга лами электромагнитных реле,:«»lxonbi -- со входами элемента НЕ--ИЛИ, блок управления соединен с унравляюпц1ми входа40 ми ключей и с обмоткой управле(гия реле, подвижный KÎ(li = . < r KOTopо: 0 связан с земляной 111HHQEI устройства, а (юрмально замкнутый контакт под".,-,Иочается к Земляной шине контролируемой инте. гральной схемы, вход первого ключа подсоединяет4Ь ся к источнику напряж. пня, а выходы кл(очей связаны соотвст твснно с одним 53 входов элемента Н1 .— ИЛИ и с резисторами.

Сосг а ви > ел ь А. Рассмо гров

Те вред М. Левицкая Корректор Н. Золотов ская

Редактор Б. Федотов

Заказ 5406/149

Тираж 1029 - Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул, Проектная, 4