Устройство для бесконтактного контроля цифровых интегральных схем
ОПИСАНИЕ 1 ИЗОБРЕТЕНИЯ Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) дополнительное к авт. саид-ву (51) М. Кл.. 2 Ст 01 Я 31/28Щ Заявлено 06Д 276 (Я } 24 26190/18-21 с присоединением заявки И (23) Приоритет (43) Опубликовано2503,78, Бюллетень Эй 11 Гоцдиротвониый комитет Вовота Миииетрви ИОР оо долов ииооротеиий и открытий (53) УДК 621.317.79 (088...