Источник галлия для газотранспортной эпитаксии арсенида галлия

Источник галлия для газотранспортной эпитаксии арсенида галлия

Реферат

 

1. Источник галлия для газотранспортной эпитаксии арсенида галлия, представляющий собой кварцевую лодочку закрытого типа, отличающийся тем, что, с целью повышения стабильности работы и уменьшения времени насыщения источника, в отверстие источника опущен капилляр, имеющий на другом конце развитую поверхность контакта с газовой фазой.

2. Источник по п.1, отличающийся тем, что капилляр образован близкорасположенными пластинами из материала, смачиваемого галлием, например вольфрама, имеющего отверстия в верхнем конце пластины.

3. Источник по п.1, отличающийся тем, что капилляр образован спиралью, намотанной на пластину.