Интерферометр радиального сдвига

Интерферометр радиального сдвига

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

Своз Советских

Социалистицеских

Республик

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 10.08,73(21) 1952459/28 с присоединением заявки № (23) Приоритет (43) Опубликовано 05,11.76Бюллетень № 41 (45) Дата опубликования опнсания17.01.77 (11) gg@gg@ (51) М. Кл,з

6 01 В 9/02 б 01 В ll/24

Государстаенный камнтет

Сонета Миннстраа СССР па делам изобретений н аткрытий (53) УДК 531 (088,8) (72) Лвторы изобретения

Н. П, Ларионов, А, В. Лукин, К. С. Мустафин и P. А, Рафиков (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР РАДИАЛЬНОГО СДВИГА

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля качества изготовления асферических поверхностей и может быть использовано при производстве оптических деталей. 5

Известен интерферометр для контроля качества изготовления асферических поверхностей, содержащий источник света, светоделительный элемент, искусственную голограмму, эталонное сферическое зеркало, IO установленное за голограммой, блок регист рации интерференционной картины (1) .

Недостатком известного интерферометра является неустойчивость интерференционной картины к внешним воздействиям, например вибрациям, обусловленная тем, что эталонные и рабочие ветви разделены.

Наиболее близким по технической сущности к предложенному изобретению является интерферометр радиального сдвига, содержащий установленные последовательно иеточник света, оптическую систему, осуществляющую деление исследуемого волнового фронта на два и их относительный радиальный сдвиг и регистрирующий блок. Оптическая система такого интерферометра выполнена в виде системы зеркал, полупрозрачных пластин и линзовых элементов(2).

Однако оптическая система производит преобразование волны только в радиальном направлении и не производит других преобразований, например, асферической волны в сферическую или плоскую.

Целью изобретения является исследование асферических волновых фронтов.

Эта цель достигается тем, что оптическая система интерферометра выполнена в виде искусственной голограммы.

На чертеже изображена схема интерферометра радиального сдвига.

Интерферометр содержит источник когерентного света 1 и установленные последовательно за ним линзу 2, светоделитель 3, линзу 4, зеркало 5, искусственную голограмму 6 и блок наблюдения 7 (регистрирук щий блок).

Работает интерферометр следующим образом.

Свет от источника 1 проходит через линзы 2, 4 и сходится в точку Г близи зеркала

534644

Составитель В. Горшков

Редактор Н. Вирко Техред М. Левицкая Корректор C. Шекмар

Заказ 5548/233 Тираж 864 Подписное

0НИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

5, от которого направляется на голограмму 6, отражается (дифрагирует) от нее и от контролируемой поверхности 8, снова направляется на голограмму 6, дифрагируя (отражаясь) на ней, сходится в точку и зеркалом 5 направляется на линзу 4, отражается от светоделителя 3 и направляется в блок наблюдения. Если поверхность не имеет заметных отступлений от заданной формы, то дифрагированные на голограмме (отраженные от нее) волны сходятся в точку Р и на экране наблюдается равномерный фон. При наличии у контролируемой поверхности дефектов эти волны не cxogm ся в одной точке. В этом случае наблюдается картина интерференции радиального сдвига, по которой можно судить о степени отступления контролируемой поверхнос ти от заданной формы.

Ввиду того, что обе волны проходят один и тот же путь, картина интерференции радиального сдвига малочувствительна к внешним воздействиям, например вибрациям и тепловым потокам воздуха.

Формула изобретения

Интерферометр радиального сдвига, содержащий установленные последовательно источник света, оптическую систему, осуществляющую деление исследуемого волнового фронта на два и их относительный радиальный сдвиг, и регистрирующий блок, отличающийся тем, что, с целью исследования асферических волновых фронтов, оптическая система выполнена в виде искусственной голограммы, Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1.АррЬед ОрИсВ, 1972, т. 11, М 11, стр. 2597-2602

2. P.йа йагаи and Э.8en.j.8ei,диФк

38, 428, 1961 (прототип).