Травитель
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ и АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ!!!> 546043
Союз Советсиих
Социалистических
Республии (бl) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 17.01.75 (21) 2101231/25 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (43) Опубликовано 05.02.77. Бюллетень ¹ 5 (45) Дата опубликования описания 01.03.77 (51) Л Кч Н 01 L 21/461
Государственный комитет
Совета Министров СССР по делам изобретений и отирытни (53) УДК 621.382 (O88.8) (72) Авторы изобретения Г. А. Абдурагимов, К, Р. Курбанов и О. Б. Яценко (71) Заявитель (54) ТРАВИТЕЛЬ
0,1 — 1,0
45 — 69
О,!
Остальнoс
Хлорное железо
Соляная кислота
5Келезосинеродпстьп!
Вода калий
Изобретен Ip. DTносится к технологии получения и контроля монокрпсталлов твердых растворов, содержащих олово.
Известен травитель для монокристаллов твердых растворов, содержащих олово, на основе брома и бромистоводородной кислоты (1). Этот травитель является полиру10щим, что не позволяет,визуа IbHQ контролировать картину распределения олова по образцу.
Известен травитель для выявления компоненто в твердых растворов, содержащих олово, преимущественно SH,.PbI,Òe (2).
Недостатком известного травителя является то, что он Hp, позволяет выявлять цветную картину распределения олова по образцу.
Цель изобретения — полу IeHHe цветной картины распределения олова по образцу.
Поставленная цель достигается тем, что травитель содержит хлорное железо, соляную кислоту и железосинеродистый калий, причем компоненты взяты в следующем соотношении (вес. %):
Хлорное железо FeC!, является окислителем, соля ная кислота — раствор!!Телем, B железосинеродистый калий 14> (Fe (CN) I„) — индикатором,на ион двухвалентного железа.
Для выявления цветной каргины распределени", олова,в твердом растворе
Sn,.Pb, „Те, где х = 0,1 — 0,3, были приготовлены травители следующего состава.
Пример 1. 0,1 г FeCl; 1при комнатной тех!пе ратуре растворяют .в 50 л1л деионпзо анной воды и добавляют 2,4 г Kz(Fe(ClI1)cl, затем добавляют 38,5 л1л концентрированной соляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 30 сек без перемешивания.
В результате травления участки с различной поверхностной концентрацией олова приобре15 тают различные оттенки синего цвета. Большеи концентрации олова соответствуют участки более темной окраски.
П.р им е р 2. 1 г FeC13 при комнатной температуре растворяют в 28,5 л1л деионизованной воды, добавляют 3,5 г 14(Fe(CN) ), а затем добавляют 58 мл концентрированной соляной кислоты. Травят при комнатной температуре в течение 5 — 10 сек без перемешивания. Результат такой же, как и в первом
25 сл, чае, Испо.".bçeçàíèe предлохкенного травителя для выявления цветной картины распределе1II!я 0..0"-а по монокристаллпческом1 Ооразцу твер,ого раствора, содержащего олово, позволяет вы,":вить области с заданным содержа546043
0,1 — 1,0
45 — 69
2,4 — 3,5
Остальное калий
Формула изобретения
Составитель В. Мякиненков
Тех ред В. Рыбакова Корректор И. Симкина
Редактор Т. Орловская
Заказ 83/143 Изд. 1Гв 421 Тирах« 1019 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
Москва, 7К-ЗЗ, Раушская наб., д. 4j5
Тип. Харьк. Фил. пред. «Патент» нием компонента, что обеспечивает увеличение выхода на стадии изготовления соответствующих электронных компонентов.
Травитель для выявления компонентов твердого раствора, преимущественно для
Sn,.PÜl,Те, отл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью получения цветной картины распределения олова по образцу, он содержит хлорное железо, соляную кислоту и железосинеродистый калий, причем компоненты взяты в следующем соотношении (вес. о/о):
Хлорное железо
Соляная кислота Келезосинеродистый
Вода
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:
1. Травление полупроводников. Пер. с англ.
10 С. Н. Горина, М., изд. «Мир», 1965, с. 316-321.
2. Lorentz М. R, Л chemical polish for
lead telluride J. E. S. 112(— ), р. 240, 1965 (прототип) .