Состав для изготовления холодных катодов
Иллюстрации
Показать всеРеферат
1 т
О П И СА-НЙ Й
ИЗОБРЕТЕНИЯ йц Ь53695
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву Ха,383107 (22) Заявлено 22.01.76 (21) 2316689/25 с присоединением заявки М (23) Приоритет
Опубликовано 05.04,77. Бюллстет ь Ме 13
Дата опубликования описания 12.07.77 (51) М. Кл.- Н 01J 9/02
Н 01J 1/30
Государственный комитет
Совета Министров СССР (53) УДК 621.3.032 (088.8) па делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения
В. В. Никулов,, А. А. Иванова и Л. Д. Фарафонова (71) Заявитель (54) СОСТАВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ХОЛОДНЫХ КАТОДОВ
Изобретение относится к катодной технике.
По основному авт. св. Ме 383107 известен состав для приготовления холодных катодов путем пирогидролитического осаждения пленок окиси олова на основе четыреххлористого олова и этилового спирта. Этот состав обеспечивает термоустойчивость катодов при температурах не выше 250 С.
Целью изобретения является увеличение термической устойчивости катодов. Поставленная цель достигается введением в исходный раствор 3 — 4 вес. /0 SbClg 2НеО.
Для изготовления катодов на основе пленок
SnO2 в качестве легирующей присадки предлагается сурьма, которая обеспечивает наибольшую по сравнению с другими легирующими примесями устойчивость электрофизических параметров (вплоть до 800 С). Сурьма также обеспечивает наивысшую удельную проводимость пленок, что важно для воспроизводимости процесса формовки активной эмиссионной области на пленке и получения эмиттеров, работающих при низких напряжениях, прикладываемых вдоль пленки.
Количество вводимой сурьмы влияет на проводимость пленок SnO>-. чем больше сурьмы, тем резче возрастает проводимость $пОе.
При введении сурьмы в количествах выше
1,5 вес. /о происходит медленное падение проводимости. При уменьшении содержания
SbCl3 2Н20 в исходном растворе с 4 до
1 вес. /о проводимость SnOg увеличивается в
1,4 раза, в то время как при снижении содержания SbC13 2НеО с 1 до 0,25 вес. о/о удельная проводимость SnO уменьшается в б раз.
При использовании растворов, содержащих более 4/о с1ЬС1з.2НеО, дальнейшего увеличения срока службы катодов не наблюдается, а
10 процесс формовки эмиттеров вследствие больших начальных сопротивлений пленок SnO> и изменения их структуры затрудняется.
Выявленная закономерность была использована для улучшения эксплуатационных ха15 рактеристик катодов из окиси олова, Для уменьшения влияния обеднения пленки SnO легирующей сурьмой в результате ионного дрейфа при работе катода используют исходный состав с высоким содержанием SbClq.
20 .2Н20. Получаемые из этого состава пленки слабо изменяют удельную проводимость даже при уменьшении содержания сурьмы вплоть до 1 вес. .
При осаждении пленок SnOq, легированных
25 сурьмой, были исследованы исходные составы, в которых варьировалось соотношение ингредиентов раствора (SbC13 2Н20, SnCI<. .5Н20 и С Н50Н).
Испытания катодов, полученных с исполь30 зованием предлагаемого состава, удовлетво553695
Формула изобретения
Составитель С. Шитов
Корректор О. Данишева
Техред И. Карандашова
Редактор С. Меньшова
Заказ 1898/13 Изд. № 28 Тираж 995 Подписное
ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, 7К-35, Раушская наб., д. 4/5
Типография, пр. Сапунова, 2 ряют требованиям высокой термической устойчивости.
Использование предлагаемого состава при осаждении пленок позволило увеличить термическую устойчивость катодов на их основе с 250 до 450 С, уменьшить нестабильность эмиссии до + 5% и увеличить срок службы катодов в два раза.
Состав для изготовления холодных катодов по авт. св. № 383107, отл ич а ю щи и с я
5 тем, что, с целью увеличения термической устойчивости катодов, состав содержит 3—
4 вес. % ЯЬС1з 2НзО.