НИКУЛОВ ВИКТОР ВАСИЛЬЕВИЧ

  1 т О П И СА-НЙ Й ИЗОБРЕТЕНИЯ йц Ь53695 Союз Советских Социалистических Республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву Ха,383107 (22) Заявлено 22.01.76 (21) 2316689/25 с присоединением заявки М (23) Приоритет Опубликовано 05.04,77. Бюллстет ь Ме 13 Дата опубликования описания 12.07.77 (51) М. Кл.- Н 01J 9/02 Н 01J 1/30 Государственный комитет Совет...

  Изобретение может быть использовано для выращивания сверхтонких структур кремния, арсенида галлия и гетероструктур А<SP POS="POST">3</SP> в<SP POS="POST">5</SP>. Обеспечивает повышение надежности и безопасности работы. Установка включает систему подачи газовых реагентов в реактор. Выходной патрубок реактора соединен со средствами очистки отходящих газов, вы...

  Сущность изобретения: локэльнозлектролитически сравнивают эпитаксигльпые слои до буферного р слоя. Окрашивают все слои в электролите. Электролит представляет собой водный раствор плавиковой кислоты . Пластину выдерживают в электролите 1 - 3 с. Затем подают на пластину положительный потенциал в пределах 0,5 - 5,0 В в течение 10-40 с. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК...