Способ изготовления датчиков импульсной мощности свч

Способ изготовления датчиков импульсной мощности свч

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ ИМПУЛЬСНОЙ МОЩНОСТИ СВЧ, путем вплавления металлического сплава в приконтактную область кремниевой пластины электронного типа проводимости , отличающийся тем, что, с целью уменьшения зависимости показаний датчиков от температуры окружающей среды, в приконтактную область пластины вводят серебро, например, диффузией, затем поверхность пластины травят в сме- . си 33% HF и 67% HNO^, после чего в область пластины, содержащую се- . ребро., вплавляют сплав,%: Sn 65%, Pb 34% и Sb 1%.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) д (59 Н 01 L 21/22

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2313337/26-25 (22) 06.01.76 (46) 23.06.83. Бюл. М 23

OCY4APGTBEHHblA Н0МНТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОЧНРЫТИЙ (72) С.П. Кальвенас,. М.М. Юшкевичене, A.Ï. Версоцкас, В.А. Гавутис, Ю.К. Пожела, К.К. Репшас и С.И. Ге,чяускас ! (71) Институт физики полупроводников AH Литовской CCP (53) 621.382(088.8) (56) 1. Денис В. и др. Горячие электроны. Вильнюс, 1971, с. 245-248..

2 ° "Приборы, техника эксперимента", 1970, 9 3, с. 182 (прототип) . (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКОВ ИМПУЛЬСНОИ МОЩНОСТИ СВЧ, путем вплавления.металлического сплава в приконтактную область кремниевой пластины электронного типа проводимости, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью уменьшения зависимости показаний датчиков от температуры окружаюшей среды, в приконтактную область пластины вводят серебро, например, диффузией, затем поверхность пластины травят в смеси 33% НГ и 67% Н))0, после чего в область пластины,.содержашую серебро, вплавляют сплав,Ъ: Бп 65%, Pb 34% и Sb 1В.

557698

Корректор. В.Макаренко

Редак тор Л. Письм

Техред М. Костик

Ю

Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комйтета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 6482/2 филиал ППП "Патент", r. ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение Относится к техноло- гии изготовления полупроводниковых приборов, в частности датчиков мощности СВЧ.

Известен способ изготовления датчиков импульсной мощности путем вплавления сплава иэ различных металлов в полупроводниковые пластины f1) .

Показания изготовленных этим способом датчиков импульсной мощности 10 в большой степени зависят от температуры окружающей среды.

Известен также способ изготовления датчиков импульсной мощности

СВЧ путем вплавления металлического сплава в приконтактную область кремниевой пластины электронного типа проводимости P2) .

Недостатком изготовленных этим способом датчиков импульсной мощности СВЧ является изменение их показаний в интервале температур Т =—

-(50-60ОC) до 6%. Это объясняется тем, что контакт к кремниевой пластине создается вплавлением сплава золота с примесью сурьмы, а диффузия примеси с глубокими уровнями в запрещенной зоне ведется из спла- .ва. Для получения необходимой концентрации примеси типа золота в крем ниевой пластине сплав золото - сурьма необходимо нагревать до высоких температур, при которых происходит частичное испарение атомов сурьмы иэ сплава, и в результате состав, сплава в процессе изготовления датчи-35 ка становится переменным и концентрация атомов сурьмы в нем — неконтро-. лируемой.

Целью изобретения является умень-. шение зависимости показаний датчиков от температуры окружающей среды.

Цель достигается тем, что в при." контактную область пластины вводят серебро, например, дйффузией, затем поверхность пластины травят в смеси кислот НУ 33% и НМО 67%, после чего в область пластины, содержащую серебро, вплавляют сплав,%:Sn 65 В, РЪ 34% и Sb 1%.

Пример. Полупроводниковый чувствительный элемент выполнен из монокристалла кремния электронного типа проводимости с удельным сопротивлением 200 Ом см при комнатной температуре. На приконтактную область элемента наносят вакуумным испарением слой серебра 0,6 мк, затем .элемент прогревают в течение

7 ч при 1200 С в парах аргона. В результате этого в приконтактную область вводится глубокая примесь серебра концентрацией 5,0 10 " см .

Затем следует обработка в травителе и, наконец, при 750 С вплавляют контакты, содержащие,%: Sn 65%, РЬ 34%, Sb 1%.

Датчики импульсной мощности СВЧ, изготовленные предложенным способом, работают более стабильно, чем известные. Их показывания в интервале температур Т = — (60-60 C) незначительно зависят от температуры окружающей среды.