Травитель
Иллюстрации
Реферат
ОПИСАНИЕ
ИЗОЬЕЕтЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (!!) 570936
cows Советскаа социалистических
Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 29.12.75 (21) 2304681/25 (51) М. Кл а Н 01Ь21/461 с присоединением заявки ¹ (23) Приоритет
Опубликовано 30.08.77. Бюллетень № 32
Дата опубликования описания 27.09.77
Государственный комитет
Совета Министров 1..."Р по делам изобретений н открытий (53) УДК 621.382(088.8) (72) Авторы изобретения
А. Л, Самородов и С. М. Котлярова (71) Заявитель (54) ПРАВИТЕЛЬ
30,36 — 50,00
15
Изобретение относится к области электронной техники, а именно к химической обработке неорганических диэлектриков типа двуокиси кремния, используемых в качестве защиты алюминиевой металлизации, для анализа дефектов алюминиевой металлизации, лежащей под защитным покрытием.
В электронных приборах для создания системы проводников и многослойных систем типа M-Д-M-Д в качестве металла, в основном, используют алюминий. Поэтому для создания контактных площадок необходимо использовать травители, которые хорошо травят неорганические диэлектрики без подтравливания поверхности алюминия.
Известен травитель, содержа ций смесь плавиковой кислоты, фтористого аммония и фосфорной кислоты.
Недостатком этого травителя является то, что одновременно с диэлектриком травится и алюминий.
Наиболее близким к изобретению техническим решением является травитель, содержащий смесь фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и водорастворимого спирта.
Недостатком его является невысокая скорость травления диэлектрика и селективное подтравливание алюминия.
Цель изобретения — устранение селективного подтравлива HH поверхности алюминия.
Для достижения указанной цели травитель дополнительно содержит водорастворимую одноосновную карбоновую кислоту, например уксусную, при следующем содержании компоí нтОВ, об. %:
Фтористоводородная кислота 4,55 — 6,00
Водорастворимый спирт
Водорастворимая одноосновная карбоповая кислота 18,18 — 27,27
30%-ный раствор фтор истого аммония Остальное.
П р и м с р 1. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об. %:
44%-ный водный раствор плавиковой кислоты 4,55
Изопропиловый спирт 36,36
Уксусная кислота 18,18
30 — 40%-ный водный раствор фтористого аммония Остальное.
25 Пример 2. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об. :
44%-ный водный раствор плавиковои кислоты 6,0
30 Изопроппловый спирт 36,36
570936
27,27
Таблица 1
Скорость травления
МСБ, А/сек
Скорость травления
ПХО, А/сек
Скорость травления
МСО, А/сек
Травители
27
43
41
44
61
103
110
Травитель 1
Травитель 2
Травитель 3
Травитель 4
Таблица 2
Скорость травления
МСБ, А/сек
Скорость травления
МСО, А1 сек
Скорость травления
ПХО, A/ñåê
Кислота
52
24
188
61
56
71
41
32
Муравьиная
Уксусная
Пропионовая
Масляная
Остальное, Уксусная кислота
30 — 40 /а -ный водный ра-. створ фтористого аммония Остальное.
Пример 3. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об. а/а.
44а/, -ный водный раствор плавиковой кислоты 4,55
Изопропиловый спирт 36,36
Муравьиная кислота 18,18
30 — 40о/о-ный водный раствор фтористого аммония 40,91
Пример 4. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингредиенты, об. в/в..
44o -ный водный раствор плавиковой кислоты 4,55
30 — 40 /о -ный раствор фтористого аммония 40,91
Из табл. 1 видно, что скорость травления окислов в травитслях, состоящих из одинаковых ингредиентов с разным содержанием ингредиентов, и в травителях, состоящих из разных ингредиентов достаточно высока.
После полного удаления окисла поверхность алюминия не подвергается селективному травлению по крайней мере в течение 5 мин.
Поэтому данные травители могут быть эффективно применены для вскрытия контактных площадок в защитном неорганическом диэлектрике, лежащем на алюминии.
Применение предлагаемого травителя позволяет получить воспроизводимые результаты, и обеспечивает хорошее качество поверхности.
Изопропиловый спирт 36,36
Пропионовая кислота 18,18
Пример 5. Для получения травителя приготавливают смесь, содержащую ингре5 диенты об в/о .
44 /в-пый водный раствор плавиковой кислоты 4,55
30 — 40 /е-ный водный раствор фтористого аммония 40,91
Изопроппловый спирт 36,36
Масляная кислота 18,18.
Действию каждого травителя подвергались окислы, лежащие на алюминии, полученные плазменно-химическим осаждением (ПХО), 15 окислением моносилана (МСО) и окислением моносилана в присутствии триизопропилбората (МСБ). Температура травления поддерживалась в интервале 22 — 25 С. Полученные данные приведены в табл. 1 и 2.
20 Формула изобретения
Травитель, содержащий смесь фтористоводородной кислоты, фтористого аммония и водорастворимого спирта, отличающийся
25 тем, что, с целью устранения селективного подтравливания поверхности алюминия, он дополнительно содержит водорастворимую одноосновную карбоновую кислоту, например уксусную, при слсдующем соотношении ком30 понентов, об. :
Фтористоводородная кислота 4,55 — 6,0
Водорастворимый спирт 30,36 — 50,0
Водорастворимая одно35 основная карбоновая кислота 18,18 — 27,27
30 -ный раствор фтористого аммония