Способ химического травления пленок хрома

Способ химического травления пленок хрома

Иллюстрации

Показать все

Реферат

 

> иа i .: . - :.:: с. сияя биби нот-„-;ñ;1 БА

Oll . Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

С©ез Соеетекнх

Со ниалясти наса

Реслубеа (11) 571939

К А®УОИЗОМУ СВИ ВТВЛЬСТВУ (6l) Дополнительное к авт, саид ву(51) М У 2

Н 05 К 3/00 "С 23F 1/00

/ (Я2} Заявлеио 2З.Д3. 6 (ЯЦ,ЙЙ36031И1 с присоединением заявки 34

ГкрдарстаееФ юптет

Верта Мюнетра ВЮ

В 49NN хзаар1тВММВ в еткритхй (ЯЗ) приоритет. (43) Опубликоввио05.09.77фвллетеиь. Ю ЗЗ (53) gÄ@ 621,396. .6 .623..784. ,422.4 (ОЗ8.8) (45} Дата опубликования описания 25.10.77 (72) Авторы изобретеиия

А. l0. Тянгннский, Ю, Г, Обичкиы и Ь. A.iÁóõòåíêî (T l) Заявитель, Моск овский авиационный технологический институт им. К,,Э. Циолковского (54) СПОСОБ ХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ

ПЛЕНОК ХРОМА нуюкиспоту предварительно помещают металлический хром, который присутствует в peer» воре B течение всего процесса травления.

Изобретение иллюстрируется примерами.

П р и i4 g p 1 Пленки хрома толщиной

250-300 А, служащие в качестве подсчоя для пленок меди,, стравливают в указанном растворе за 2-3 сек. Подтравпивание пленок меди толщиной 5-6 мк не превышает 11, 5 hfKM.

"Пример. 2. Пленки луома толщиной

1500-2000 A используемые для фотошабпонов, стравливают за 3-4 сек

Способ химического травления пленок хрома, рисунок которых формируют методом фоторО литографии, в растворе подсп ретой соляной кислоты с активирующей добавкой, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью интенсификации процесса травления, повышения точности рисунка пленки хрома, в соляную д кислоту предварительно помещают металл Изобретение относится к технологии изготовления Микросхем, в частности к процес

Ьам создания рисунка микросхем метод@ми фотолитографии.

Известен способ травления пленок хрома, в котором для активации процесса травления пленок хрома в растворе серной кислоты с добавками фосфорной кислоты осуществляют кон такт металлического стержня из металлов второй и третьей групп с пленкой хрома Я .

Недостатком этого способа является вопользование серной кислоты, в которой позитивные фоторезистооы разрушаются, Известен также способ химического траи пения пленок, хрома, рисунок которых формируютметодомфотопитографии врастворе, содержащем с опяную кислоту и добавки, с использованием металлического активатора (2). Недостаток такого способа заключается в недостаточно высокой интенсификации процесса травления и недостаточно высокой точности рисунка пленки хрома.

По предлагаемому способу, с целью интенсификации процесса травления и повышения точности рисунка пленки хрома, в соля.Ф ор мула изобрвтвния

571939

Состави пель В, Лякишев

Техред И. Гоксич Корректор П. Макаревич

Редактор 8. Фельдман

Заказ 3292 41 Тирюк 1003 Подписное

ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб, д 4/5

4 ялкап ППП Патент, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

3 ческий хром, который;присутствует в .расТ воре в течение всего процесса травления.

Источники информации, прииитые во Янимание при експертизе1

1. Патент СССР, кл, В 41 С 1/16, Ж 319124, заявл. в 1968 г.

2 Авторское свидетельство СССР, кп. С 23 F 1/00, М 366227, заявп.

10,95,71.